SiC капланган графит ярты айярымүткәргеч җитештерү процессларында кулланыла торган төп компонент, аеруча SiC эпитаксиаль җиһаз өчен. Аның структур дизайны һәм материаль үзенчәлекләре эпитаксиаль ваферларның сыйфатын һәм җитештерү эффективлыгын турыдан-туры билгели.
Реакция палатасы төзелеше:
Ярты ай өлеше ике өлештән тора, өске һәм аскы өлешләр, алар кремний карбид субстратын (гадәттә 4H-SiC яки 6H-SiC) урнаштырган һәм газ агымы кырын төгәл контрольдә тотып эпитаксиаль катлам үсешенә ирешәләр (мәсәлән, SiH₄, C₃H₈, H₂).
Температура кырын көйләү:
Epгары чисталыклы графит базасы индукция җылыту кәтүге белән берлектә, эпитаксиаль катлам калынлыгының эзлеклелеген тәэмин итү өчен, 1500-1700 ° C югары температурада камера температурасының бердәмлеген саклый ала (± 5 ° C эчендә).
Airава агымы белән идарә итү:
Airава кертү һәм чыгу урынын проектлау белән (горизонталь мич тәненең иң югары һава чыгу урыны), реакция газ ламинар агымы турбулентлык аркасында үскән кимчелекләрне киметү өчен субстрат өслеге аша алып барыла.
Төп материал: югары чисталыклы графит
Чисталык таләпләре:углерод күләме ≥99.99%, көл күләме ≤5ppm, югары температурада эпитаксиаль катламны пычрату өчен бернинди пычраклар да яумасын өчен.
Эшчәнлек өстенлекләре:
Highгары җылылык үткәрүчәнлеге:Бүлмә температурасында җылылык үткәрүчәнлеге 150W / (m ・ K) җитә, ул бакыр дәрәҗәсенә якын һәм җылылыкны тиз күчерә ала.
Түбән киңәю коэффициенты:5 × 10-6/ ℃ (25-1000 ℃), кремний карбид субстратына туры килә (4.2 × 10-6/ ℃), җылылык стрессы аркасында капланган капламның ярылуын киметү.
Эшкәртү төгәллеге:5 0.05 мм үлчәмле толерантлык палатаның мөһерен тәэмин итү өчен CNC эшкәртү ярдәмендә ирешелә.
CVD SiC һәм CVD TaC дифференциацияләнгән кушымталары
| Катлам | Процесс | Чагыштыру | Типик куллану |
| CVD-SiC | Темпераут: 1000-1200 ure басым: 10-100 Торр | Каты HV2500, калынлыгы 50-100ум, искиткеч оксидлашуга каршы тору (1600 below астыннан тотрыклы) | Водород һәм силан кебек гадәти атмосфера өчен универсаль эпитаксиаль мичләр |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800 ure басым: 1-10 Торр | Каты HV3000, калынлыгы 20-50ум, бик коррозиягә чыдам (HCl, NH₃ һ.б. кебек коррозив газларга каршы тора ала). | Corrгары коррозив мохит (GaN эпитаксы һәм эфир җиһазлары кебек), яки 2600 ° C температурасын таләп итүче махсус процесслар. |
VET Energy - фәнни-тикшеренү эшенә һәм графит, кремний карбид, кварц кебек югары дәрәҗәдәге алдынгы материаллар җитештерүгә, шулай ук SiC каплау, TaC каплау, пыяла углерод каплау, пиролитик углерод каплау һ.б. продуктлар фотоволтаик, ярымүткәргеч, яңа энергия, металлургия һ.б.
Безнең техник коллектив иң яхшы эчке тикшеренү институтларыннан килә, сезнең өчен профессиональ материаль чишелешләр тәкъдим итә ала.
ВЭТ энергия өстенлекләренә түбәндәгеләр керә:
• Завод һәм профессиональ лаборатория;
• Сәнәгатьтә алдынгы чисталык дәрәҗәсе һәм сыйфаты;
• Конкуренцияле бәя & Тиз китерү вакыты;
• Бөтен дөнья буенча берничә тармак партнерлыгы;
Сезне заводка һәм лабораториягә теләсә кайсы вакытта карарга чакырабыз!
