Parti u Assemblea ta' Nofs Qamar tal-Grafita Miksija bis-SiC għall-Epitassija tas-SiC

Deskrizzjoni Qasira:

VET Energy huwa manifattur u fornitur professjonali ta' komponenti ewlenin ta' fran epitassjali tal-karbur tas-silikon. L-assemblaġġ ta' nofs qamar tagħna juża grafit ta' purità għolja flimkien ma' teknoloġija avvanzata ta' kisi CVD. Huwa ddisinjat għal ambjenti epitassjali b'temperatura għolja u korrużivi ħafna. Il-grafita ta' purità għolja tagħti lill-komponent reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja (>1600℃) u stabbiltà termali, u tiżgura uniformità tal-kamp termali; il-kisi CVD jifforma saff protettiv dens fuq il-wiċċ permezz tat-teknoloġija CVD, u jtejjeb b'mod sinifikanti l-proprjetajiet anti-ossidazzjoni u anti-inċiżjoni, u jestendi l-ħajja tas-servizz b'aktar minn 3 darbiet.

Materjal:Grafita ta' purità għolja

Kura:Kisi CVD-SiC jew CVD-TaC

Personalizzazzjoni:Disponibbli

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Parti ta' Nofs Qamar tal-Grafita Miksija bis-SiChuwa komponent ewlieni użat fil-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi, speċjalment għat-tagħmir epitassjali tas-SiC. Id-disinn strutturali u l-proprjetajiet tal-materjal tiegħu jiddeterminaw direttament il-kwalità u l-effiċjenza tal-produzzjoni tal-wejfers epitassjali.

Kostruzzjoni tal-kamra tar-reazzjoni:
Il-parti ta' nofs qamar hija magħmula minn żewġ partijiet, il-partijiet ta' fuq u ta' isfel, li huma mwaħħlin flimkien biex jiffurmaw kamra tat-tkabbir magħluqa, li takkomoda s-sottostrat tal-karbur tas-silikon (ġeneralment 4H-SiC jew 6H-SiC) u tikseb tkabbir tas-saff epitassjali billi tikkontrolla preċiżament il-kamp tal-fluss tal-gass (bħal taħlita ta' SiH₄, C₃H₈, u H₂).
Regolazzjoni tal-kamp tat-temperatura:
Il-bażi tal-grafita ta' purità għolja flimkien mal-kolja tat-tisħin tal-induzzjoni jistgħu jżommu l-uniformità tat-temperatura tal-kamra (fi ħdan ±5°C) f'temperatura għolja ta' 1500-1700°C biex jiżguraw il-konsistenza tal-ħxuna tas-saff epitassjali.
Gwida tal-fluss tal-arja:
Billi tiddisinja l-pożizzjoni tad-daħla u l-ħruġ tal-arja (bħad-daħla tal-arja tal-ġenb u l-ħruġ tal-arja ta' fuq tal-korp orizzontali tal-forn), il-fluss laminari tal-gass tar-reazzjoni jiġi ggwidat mill-wiċċ tas-sottostrat biex jitnaqqsu d-difetti tat-tkabbir ikkawżati mit-turbolenza.

Materjal bażi: grafita ta' purità għolja
Rekwiżiti ta' purità:Kontenut ta' karbonju ≥99.99%, kontenut ta' rmied ≤5ppm, biex jiġi żgurat li l-ebda impurità ma tiġi preċipitat biex tikkontamina s-saff epitassjali f'temperaturi għoljin.
Vantaġġi tal-prestazzjoni:
Konduttività termali għolja:Il-konduttività termali f'temperatura tal-kamra tilħaq il-150W/(m・K), li hija qrib il-livell tar-ram u tista' tittrasferixxi s-sħana malajr.
Koeffiċjent ta' espansjoni baxx:5×10^-6/℃ (25-1000℃), li jaqbel mas-sottostrat tal-karbur tas-silikon (4.2 × 10^-6/℃), tnaqqas il-qsim tal-kisi kkawżat minn stress termali.
Preċiżjoni tal-ipproċessar:Tolleranza dimensjonali ta' ±0.05mm tinkiseb permezz tal-magni CNC biex jiġi żgurat is-siġillar tal-kompartiment.

Applikazzjonijiet differenzjati ta' CVD SiC u CVD TaC

Kisi	Proċess	Paragun	Applikazzjoni tipika
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Pressjoni: 10-100 Torr	Ebusija HV2500, ħxuna 50-100um, reżistenza eċċellenti għall-ossidazzjoni (stabbli taħt is-1600 ℃)	Fran epitassjali universali, adattati għal atmosferi konvenzjonali bħall-idroġenu u s-silan
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Pressjoni: 1-10 Torr	Ebusija HV3000, ħxuna 20-50um, reżistenti ħafna għall-korrużjoni (tista' tiflaħ gassijiet korrużivi bħal HCl, NH₃, eċċ.)	Ambjenti korrużivi ħafna (bħal tagħmir tal-epitassija u l-inċiżjoni tal-GaN), jew proċessi speċjali li jeħtieġu temperaturi ultra-għoljin ta' 2600°C

VET Energy huwa manifattur professjonali li jiffoka fuq l-R&Ż u l-produzzjoni ta' materjali avvanzati ta' kwalità għolja bħal grafit, karbur tas-silikon, kwarz, kif ukoll it-trattament tal-materjali bħal kisi SiC, kisi TaC, kisi tal-karbonju tal-ħġieġ, kisi tal-karbonju pirolitiku, eċċ. Il-prodotti jintużaw ħafna fil-fotovoltajka, semikondutturi, enerġija ġdida, metallurġija, eċċ.

It-tim tekniku tagħna ġej minn istituzzjonijiet ta' riċerka domestiċi ewlenin, jista' jipprovdilek soluzzjonijiet materjali aktar professjonali.

Il-vantaġġi tal-Enerġija tal-VET jinkludu:
• Fabbrika proprja u laboratorju professjonali;
• Livelli ta' purità u kwalità li huma l-aqwa fl-industrija;
• Prezz kompetittiv & Ħin ta' kunsinna veloċi;
• Sħubijiet multipli tal-industrija madwar id-dinja;

Nilqgħuk iżżur il-fabbrika u l-laboratorju tagħna fi kwalunkwe ħin!