SiC Epitaksiýasy üçin SiC bilen örtülen grafit ýarym aý bölegi we ýygnamagy

Gysgaça düşündiriş:

"VET Energy" kremniý karbid epitaksial peçleriniň esasy bölekleriniň professional öndürijisi we üpjün edijisidir. Biziň ýarym aýlyk gurluşymyz ösen CVD örtük tehnologiýasy bilen utgaşdyrylan ýokary arassa grafiti ulanýar. Ol ýokary temperatura we ýokary derejede poslama epitaksial gurşawlar üçin niýetlenendir. Ýokary arassa grafit komponente ajaýyp ýokary temperatura garşylyk (>1600℃) we termal durnuklylygy berýär, termal meýdanyň birmeňzeşligini üpjün edýär; CVD örtügi CVD tehnologiýasy arkaly ýüzde dykyz gorag gatlagyny emele getirýär, antioksidasiýa we aşynma garşy häsiýetlerini ep-esli gowulandyrýar we hyzmat möhletini 3 esseden gowrak uzaldýar.

Material:Ýokary arassa grafit

Bejergi:CVD-SiC ýa-da CVD-TaC örtügi

Özleşdirme:Elýeterli

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jiklikleri

Önümiň tegleri

SiC bilen örtülen grafit ýarym aý bölegiýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde, esasanam SiC epitaksial enjamlary üçin ulanylýan esasy bölekdir. Onuň gurluş dizaýny we material häsiýetleri epitaksial plastinkalaryň hilini we önümçilik netijeliligini gönüden-göni kesgitleýär.

Reaksiýa kamerasynyň gurluşy:
Ýarym aý bölegi iki bölekden, ýokarky we aşaky böleklerden ybarat bolup, olar bir-birine berkidilen ýapyk ösüş kamerasyny emele getirýär, bu kamera kremniý karbid substratyny (adatça 4H-SiC ýa-da 6H-SiC) ýerleşdirýär we gaz akymynyň meýdanyny (SiH₄, C₃H₈ we H₂ garyndysy ýaly) takyk dolandyrmak arkaly epitaksial gatlak ösüşini gazanýar.
Temperatura meýdanynyň düzgünleşdirilmegi:
Ýokary arassa grafit esasy induksiýa gyzdyryjy spiral bilen utgaşdyrylyp, epitaksial gatlagyň galyňlygynyň yzygiderliligini üpjün etmek üçin kameranyň temperaturasynyň deňligini (±5°C aralygynda) 1500-1700°C ýokary temperaturada saklap bilýär.
Howa akymynyň görkezmesi:
Howa giriş we çykyş ýerleriniň (meselem, gorizontal peç göwdesiniň gapdal howa giriş we ýokarky howa çykyş ýeri) ýerleşişini dizaýn etmek arkaly reaksiýa gazynyň laminar akymy turbulentlik sebäpli ýüze çykýan ösüş kemçiliklerini azaltmak üçin substrat ýüzünden geçirilýär.

Esasy material: ýokary arassa grafit
Arassalyk talaplary:uglerodyň mukdary ≥99.99%, külüň mukdary ≤5ppm, ýokary temperaturada epitaksial gatlagy hapalamak üçin hiç hili hapaçylygyň çökmezligini üpjün etmek üçin.
Öndürijilik artykmaçlyklary:
Ýokary ýylylyk geçirijiligi:Otag temperaturasyndaky ýylylyk geçirijiligi 150W/(m・K) ýetýär, bu bolsa misiň derejesine golaý we ýylylygy çalt geçirip bilýär.
Pes giňelme koeffisiýenti:5×10^-6/℃ (25-1000℃), kremniý karbid substratyna (4.2×10) laýyk gelýär^-6/℃), termal stres sebäpli örtügiň çatlamagyny azaltmak.
Işläp çykarmagyň takyklygy:Kameranyň möhürlenmegini üpjün etmek üçin CNC işläp bejermek arkaly ±0,05 mm ölçegli çydamlylyk gazanylýar.

CVD SiC we CVD TaC-niň tapawutlandyrylan ulanylyşlary

Örtük	Proses	Deňeşdirme	Adaty ulanylyş
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃ Basyş: 10-100 Torr	Gatylygy HV2500, galyňlygy 50-100um, ajaýyp oksidlenme garşylygy (1600℃-den aşak durnukly)	Wodorod we silan ýaly adaty atmosfera üçin amatly bolan uniwersal epitaksial peçler
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃ Basym: 1-10 Torr	Gatylygy HV3000, galyňlygy 20-50 um, korroziýa garşy örän çydamly (HCl, NH₃ we ş.m. ýaly korroziýa gazlaryna çydap bilýär)	Ýokary derejede aşyndyryjy gurşawlar (meselem, GaN epitaksiýasy we aşyndyryjy enjamlar) ýa-da 2600°C örän ýokary temperatura talap edýän ýörite prosesler

"VET Energy" grafit, kremniý karbidi, kwars ýaly ýokary derejeli öňdebaryjy materiallaryň ylmy-barlag işlerine we önümçiligine, şeýle hem SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi we ş.m. ýaly materiallary gaýtadan işlemäge gönükdirilen hünärmen önüm öndürijidir. Önümler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. pudaklarda giňden ulanylýar.

Biziň tehniki toparymyz ýerli ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar, size has professional material çözgütlerini hödürläp biler.

VET Energy-niň artykmaçlyklary aşakdakylary öz içine alýar:
• Öz zawodyňyz we hünärmen laboratoriýasyňyz;
• Pudagyň öňdebaryjy arassalyk derejeleri we hili;
• Bäsdeşlikli baha we çalt eltip berme wagty;
• Dünýä boýunça köp sanly senagat hyzmatdaşlygy;

Islendik wagt fabrikamyza we laboratoriýamyza baryp görmegiňizi hoş gördük!