SiC örtülen grafit ýarym aýyýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde, esasanam SiC epitaksial enjamlar üçin ulanylýan esasy komponentdir. Onuň gurluş dizaýny we maddy aýratynlyklary epitaksial wafli hilini we önümçilik netijeliligini gönüden-göni kesgitleýär.
Reaksiýa kamerasynyň gurluşygy:
Moonarym aý bölegi, kremniý karbid substratyny (adatça 4H-SiC ýa-da 6H-SiC) ýerleşdirýän we gaz akymynyň meýdanyna (SiH₄, C₃H₈ we H₂ garyndysy ýaly) ýapyk ösüş kamerasyny emele getirmek üçin birleşdirilen ýokarky we aşaky böleklerden durýar.
Temperatura meýdany kadalaşdyrmak:
Epokarky arassa grafit bazasy induksiýa ýyladyş rulony bilen birleşdirilip, epitaksial gatlagyň galyňlygynyň yzygiderliligini üpjün etmek üçin 1500-1700 ° C ýokary temperaturada kameranyň temperaturasynyň birmeňzeşligini (± 5 ° C) saklap biler.
Howa akymynyň görkezmesi:
Howa girelgesiniň we rozetkasynyň ýagdaýyny taslamak bilen (gorizontal peç korpusynyň gapdal howa girelgesi we ýokarky howa rozetkasy), reaksiýa gaz laminar akymy turbulentlik sebäpli ýüze çykýan ösüş kemçiliklerini azaltmak üçin substratyň üstünden ugrukdyrylýar.
Esasy material: ýokary arassa grafit
Arassalyk talaplary:uglerodyň mukdary ≥99.99%, kül düzümi ≤5ppm, ýokary temperaturada epitaksial gatlagy hapalamak üçin hiç hili hapalanmanyň döremezligini üpjün etmek üçin.
Öndürijilik artykmaçlyklary:
Termokary ýylylyk geçirijiligi:Otag otagynyň ýylylyk geçirijiligi mis derejesine ýakyn we ýylylygy çalt geçirip bilýän 150W / (m ・ K) ýetýär.
Pes giňelme koeffisiýenti:5 × 10-6/ ℃ (25-1000 ℃), kremniniň karbid substratyna gabat gelýär (4.2 × 10-6/ ℃), termiki stres sebäpli döreýän örtügiň ýarylmagyny azaltmak.
Gaýtadan işlemegiň takyklygy:Kameranyň möhürlenmegini üpjün etmek üçin CNC işleýşi arkaly ± 0.05mm ölçegli çydamlylyk gazanylýar.
CVD SiC we CVD TaC-nyň tapawutly programmalary
| Örtük | Amal | Deňeşdirme | Adaty programma |
| CVD-SiC | Temperaute: 1000-1200 ure Basyş: 10-100 Torr | Gatylygy HV2500, galyňlygy 50-100um, ajaýyp okislenme garşylygy (1600 below-dan aşak durnukly) | Wodorod we silan ýaly adaty atmosfera üçin amatly uniwersal epitaksial peçler |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800 ℃ Basyş: 1-10 Torr | Gatylygy HV3000, galyňlygy 20-50um, aşa poslama garşy (HCl, NH₃ we ş.m. poslaýjy gazlara çydap biler). | Corrokary poslaýjy gurşawlar (GaN epitaksiýasy we eriş enjamlary ýaly) ýa-da 2600 ° C-den aşa ýokary temperaturany talap edýän ýörite amallar. |
VET Energy, grafit, kremniý karbid, kwars ýaly ýokary derejeli ösen materiallary öndürmäge, şeýle hem SiC örtügi, TaC örtügi, aýna uglerod örtügi, pirolitiki uglerod örtügi we ş.m. önüm öndürijiler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. önümçilige gönükdirilen hünärmen öndüriji.
Tehniki toparymyz içerki gözleg institutlaryndan gelýär, size has professional material çözgütleri berip biler.
HTB energiýa artykmaçlyklary şulary öz içine alýar:
• Öz zawody we hünär barlaghanasy;
• Senagatda öňdebaryjy arassalyk derejesi we hili;
• Bäsdeşlik bahasy we çalt eltiş wagty;
• Bütin dünýäde köp pudaklaýyn hyzmatdaşlyk;
Zawodymyzy we laboratoriýamyzy islän wagtyňyz görmegiňizi hoşal edýäris!
