SiC Coated Graphite Half Moon Part ug Assembly Para sa SiC Epitaxy

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama ug supplier sa mga kinauyokan nga sangkap sa silicon carbide epitaxial furnaces. Ang among half moon assembly naggamit ug high-purity graphite inubanan sa advanced CVD coating technology. Gidisenyo kini alang sa taas nga temperatura ug labi ka makadaot nga epitaxial nga palibot. Ang high-purity graphite naghatag sa component nga maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol (> 1600 ℃) ug kalig-on sa kainit, pagsiguro sa pagkaparehas sa thermal field; ang CVD coating nagporma sa usa ka dasok nga protective layer sa ibabaw pinaagi sa CVD nga teknolohiya, kamahinungdanon sa pagpalambo sa anti-oxidation ug anti-etching kabtangan, ug extend sa serbisyo sa kinabuhi sa labaw pa kay sa 3 ka beses.

Materyal nga:Taas nga kaputli graphite

Pagtambal:CVD-SiC o CVD-TaC coating

Pagpahiangay:Anaa

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

SiC Coated Graphite Halfmoon Partusa ka hinungdanon nga sangkap nga gigamit sa mga proseso sa paghimo sa semiconductor, labi na alang sa kagamitan sa epitaxial sa SiC. Ang disenyo sa istruktura ug materyal nga mga kabtangan direkta nga nagtino sa kalidad ug kahusayan sa produksiyon sa mga epitaxial wafer.

Pagtukod sa reaction chamber:
Ang tunga nga bahin sa bulan gilangkoban sa duha ka bahin, ang ibabaw ug ubos nga mga bahin, nga gihugpong aron maporma ang usa ka sirado nga lawak sa pagtubo, nga nag-accommodate sa silicon carbide substrate (kasagaran 4H-SiC o 6H-SiC) ug nakakab-ot sa pagtubo sa epitaxial layer pinaagi sa tukma nga pagkontrol sa gas flow field (sama sa sinagol nga SiH₃₄₄, H₄).
Regulasyon sa natad sa temperatura:
Ang high-purity graphite base inubanan sa induction heating coil makapadayon sa pagkaparehas sa temperatura sa lawak (sulod sa ± 5 ° C) sa taas nga temperatura nga 1500-1700 ° C aron maseguro ang pagkamakanunayon sa epitaxial layer nga gibag-on.
Giya sa pag-agos sa hangin:
Pinaagi sa pagdesinyo sa posisyon sa air inlet ug outlet (sama sa side air inlet ug top air outlet sa horizontal furnace body), ang reaction gas laminar flow gigiyahan pinaagi sa substrate surface aron makunhuran ang mga depekto sa pagtubo tungod sa turbulence.

Base nga materyal: high-purity graphite
Mga kinahanglanon sa kaputli:carbon content ≥99.99%, ash content ≤5ppm, aron maseguro nga walay mga hugaw nga ma-precipitate nga makahugaw sa epitaxial layer sa taas nga temperatura.
Mga bentaha sa performance:
Taas nga thermal conductivity:Ang thermal conductivity sa temperatura sa kwarto moabot sa 150W/(m・K), nga duol sa lebel sa tumbaga ug dali nga makabalhin sa kainit.
Ubos nga expansion coefficient:5×10^-6/ ℃ (25-1000 ℃), pagpares sa silicon carbide substrate (4.2 × 10^-6/ ℃), pagkunhod sa cracking sa taklap tungod sa thermal stress.
Pagproseso sa katukma:Ang usa ka dimensional nga pagtugot sa ± 0.05mm makab-ot pinaagi sa CNC machining aron masiguro ang pag-seal sa chamber.

Nagkalainlain nga mga aplikasyon sa CVD SiC ug CVD TaC

Pagtabon	Proseso	Pagtandi	Kasagaran nga aplikasyon
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200 ℃ Presyon: 10-100 Torr	Katig-a HV2500, gibag-on 50-100um, maayo kaayo nga pagsukol sa oksihenasyon (stable ubos sa 1600 ℃)	Ang unibersal nga epitaxial furnaces, angay alang sa naandan nga mga atmospera sama sa hydrogen ug silane
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800 ℃ Presyon: 1-10 Torr	Katig-a HV3000, gibag-on 20-50um, hilabihan ka corrosion-resistant (makasugakod sa corrosive gas sama sa HCl, NH₃, etc.)	Makadaot kaayo nga mga palibot (sama sa GaN epitaxy ug etching equipment), o mga espesyal nga proseso nga nagkinahanglan ug ultra-high temperature nga 2600°C

Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug paghimo sa mga high-end nga advanced nga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang materyal nga pagtambal sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa.

Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.

Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Ang nanguna sa industriya sa kaputli ug kalidad;
• Competitive nga presyo & Fast delivery nga panahon;
• Daghang pakigtambayayong sa industriya sa tibuok kalibotan;

Giabiabi ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!