SiC Coated Graphite Half Moon Part ug Assembly Para sa SiC Epitaxy

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama ug tigsuplay sa mga kinauyokan nga sangkap sa silicon carbide epitaxial furnaces. Ang among half moon assembly naggamit ug high-purity graphite nga giubanan sa abante nga teknolohiya sa CVD coating. Gidisenyo kini alang sa mga palibot nga epitaxial nga taas ang temperatura ug taas nga corrosive. Ang high-purity graphite naghatag sa sangkap og maayo kaayong resistensya sa taas nga temperatura (>1600℃) ug thermal stability, nga nagsiguro sa pagkaparehas sa thermal field; ang CVD coating nagporma og dasok nga protective layer sa ibabaw pinaagi sa teknolohiya sa CVD, nga nagpauswag pag-ayo sa mga kabtangan nga anti-oxidation ug anti-etching, ug nagpalugway sa kinabuhi sa serbisyo og sobra sa 3 ka pilo.

Materyal:Taas nga kaputli nga grapayt

Pagtambal:CVD-SiC o CVD-TaC nga patong

Pag-customize:Anaa

Padad-i kami og email I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Bahin sa Halfmoon nga Giputos sa SiC Graphiteusa ka importanteng sangkap nga gigamit sa mga proseso sa paggama sa semiconductor, labi na sa mga kagamitan nga epitaxial sa SiC. Ang disenyo sa istruktura ug mga kabtangan sa materyal niini direktang nagtino sa kalidad ug kahusayan sa produksiyon sa mga epitaxial wafer.

Konstruksyon sa lawak sa reaksyon:
Ang bahin sa half moon gilangkoban sa duha ka bahin, ang ibabaw ug ubos nga mga bahin, nga gihiusa aron maporma ang usa ka sirado nga growth chamber, nga mohaom sa silicon carbide substrate (kasagaran 4H-SiC o 6H-SiC) ug makab-ot ang pagtubo sa epitaxial layer pinaagi sa tukmang pagkontrol sa gas flow field (sama sa sagol nga SiH₄, C₃H₈, ug H₂).
Regulasyon sa temperatura sa natad:
Ang high-purity graphite base nga gihiusa sa induction heating coil makapadayon sa pagkaparehas sa temperatura sa chamber (sulod sa ±5°C) sa taas nga temperatura nga 1500-1700°C aron masiguro ang pagkamakanunayon sa gibag-on sa epitaxial layer.
Giya sa pag-agos sa hangin:
Pinaagi sa pagdisenyo sa posisyon sa agianan ug gawas sa hangin (sama sa agianan sa hangin sa kilid ug sa ibabaw nga agianan sa hangin sa pinahigda nga lawas sa hurno), ang laminar nga pag-agos sa reaction gas gigiyahan agi sa nawong sa substrate aron makunhuran ang mga depekto sa pagtubo nga gipahinabo sa turbulence.

Base nga materyal: taas nga kaputli nga grapayt
Mga kinahanglanon sa kaputli:sulod sa carbon ≥99.99%, sulod sa abo ≤5ppm, aron masiguro nga walay mga hugaw nga mogawas nga makahugaw sa epitaxial layer sa taas nga temperatura.
Mga bentaha sa performance:
Taas nga konduktibidad sa kainit:Ang thermal conductivity sa temperatura sa kwarto moabot sa 150W/(m・K), nga hapit sa lebel sa tumbaga ug dali nga makabalhin sa kainit.
Ubos nga koepisyent sa pagpalapad:5×10^-6/℃ (25-1000℃), nga mohaom sa silicon carbide substrate (4.2×10^-6/℃), nga nagpamenos sa pagliki sa coating nga gipahinabo sa thermal stress.
Katukma sa pagproseso:Ang dimensional tolerance nga ±0.05mm nakab-ot pinaagi sa CNC machining aron masiguro ang pagsilyo sa chamber.

Nagkalainlaing aplikasyon sa CVD SiC ug CVD TaC

Pagtabon	Proseso	Pagtandi	Kasagaran nga aplikasyon
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Presyo: 10-100 Torr	Katig-a HV2500, gibag-on 50-100um, maayo kaayong resistensya sa oksihenasyon (lig-on ubos sa 1600℃)	Mga universal epitaxial furnace, nga angay alang sa naandan nga mga atmospera sama sa hydrogen ug silane
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Presyo: 1-10 Torr	Katig-a HV3000, gibag-on 20-50um, hilabihan ka dili madaot sa taya (makasugakod sa mga makadaot nga gas sama sa HCl, NH₃, ug uban pa)	Mga palibot nga kusog mokadunot (sama sa GaN epitaxy ug etching equipment), o espesyal nga mga proseso nga nanginahanglan og taas kaayo nga temperatura nga 2600°C

Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug produksiyon sa mga high-end advanced nga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang material treatment sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa. Ang mga produkto kaylap nga gigamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ug uban pa.

Ang among teknikal nga grupo gikan sa mga nanguna nga institusyon sa panukiduki sa nasud, makahatag ug mas propesyonal nga mga solusyon sa materyal para kanimo.

Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Nanguna sa industriya nga lebel sa kaputli ug kalidad;
• Kompetitibong presyo ug paspas nga oras sa paghatud;
• Daghang mga panag-uban sa industriya sa tibuok kalibutan;

Gidawat ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!