Cuid Leathghealach Grafít Brataithe SiCIs comhpháirt ríthábhachtach í a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe le haghaidh trealaimh eipitacsaigh SiC. Cinneann a dhearadh struchtúrach agus a airíonna ábhartha go díreach cáilíocht agus éifeachtúlacht táirgthe na sceallóga eipitacsacha.
Tógáil seomra imoibrithe:
Tá an chuid leathghealach comhdhéanta de dhá chuid, an chuid uachtarach agus an chuid íochtarach, atá ceangailte le chéile chun seomra fáis dúnta a fhoirmiú, ina bhfuil an tsubstráit sileacain charbaíde (4H-SiC nó 6H-SiC de ghnáth) agus a bhaineann fás ciseal eipitacsach amach trí réimse sreafa an gháis a rialú go beacht (amhail meascán de SiH₄, C₃H₈, agus H₂).
Rialáil réimse teochta:
Is féidir leis an mbonn graifíte ard-íonachta in éineacht leis an gcorna téimh ionduchtaithe aonfhoirmeacht teocht an tseomra (laistigh de ±5°C) a choinneáil ag teocht ard 1500-1700°C chun comhsheasmhacht thiús an tsraith eipitacsaigh a chinntiú.
Treoir sreabhadh aeir:
Trí shuíomh an ionraoin agus an asraon aeir a dhearadh (amhail an t-ionraon aeir taobh agus an t-asraon aeir uachtarach de chorp na foirnéise cothrománach), treoraítear sreabhadh laminar an gháis imoibrithe trí dhromchla an tsubstráit chun lochtanna fáis de bharr suaiteachta a laghdú.
Ábhar bonn: graifít ard-íonachta
Ceanglais íonachta:cion carbóin ≥99.99%, cion fuinseog ≤5ppm, chun a chinntiú nach ndéantar aon eisíontais a dhé-thruailliú chun an ciseal eipitacsach a éilliú ag teochtaí arda.
Buntáistí feidhmíochta:
Seoltacht theirmeach ard:Sroicheann an seoltacht theirmeach ag teocht an tseomra 150W/(m・K), atá gar do leibhéal an chopair agus is féidir leis teas a aistriú go tapa.
Comhéifeacht leathnú íseal:5×10-6/℃ (25-1000℃), ag teacht leis an tsubstráit sileacain charbíde (4.2 × 10-6/℃), ag laghdú scoilteadh an sciath de bharr struis theirmigh.
Cruinneas próiseála:Baintear amach lamháltas tríthoiseach de ±0.05mm trí mheaisínithe CNC chun séalú an tseomra a chinntiú.
Feidhmeanna difreáilte CVD SiC agus CVD TaC
| Sciath | Próiseas | Comparáid | Feidhmchlár tipiciúil |
| CVD-SiC | Teocht: 1000-1200 ℃ Brú: 10-100 Torr | Cruas HV2500, tiús 50-100um, friotaíocht ocsaídiúcháin den scoth (cobhsaí faoi bhun 1600 ℃) | Foirnéisí eipitacsacha uilíocha, oiriúnach d'atmaisféir thraidisiúnta amhail hidrigin agus silán |
| CVD-TaC | Teocht: 1600-1800 ℃ Brú: 1-10 Torr | Cruas HV3000, tiús 20-50um, thar a bheith frithsheasmhach in aghaidh creimeadh (is féidir leis gáis chreimneacha amhail HCl, NH₃, srl. a sheasamh) | Timpeallachtaí an-chreimneacha (amhail trealamh eipitacsála agus greanta GaN), nó próisis speisialta a éilíonn teochtaí thar a bheith ard de 2600°C |
Is monaróir gairmiúil é VET Energy a dhíríonn ar T&F agus táirgeadh ábhar ardleibhéil ar nós graifít, cairbíd sileacain, grianchloch, chomh maith le cóireáil ábhair ar nós sciath SiC, sciath TaC, sciath carbóin gloiní, sciath carbóin pirilíteach, etc. Úsáidtear na táirgí go forleathan i bhfótavoltach, leathsheoltóirí, fuinneamh nua, miotalóireacht, etc.
Tagann ár bhfoireann theicniúil ó na hinstitiúidí taighde intíre is fearr, agus is féidir leo réitigh ábhartha níos gairmiúla a sholáthar duit.
Áirítear leis na buntáistí a bhaineann le VET Energy:
• Monarcha féin agus saotharlann ghairmiúil;
• Leibhéil íonachta agus cáilíochta den scoth sa tionscal;
• Praghas iomaíoch & am seachadta tapa;
• Comhpháirtíochtaí tionscail iomadúla ar fud an domhain;
Cuirimid fáilte romhat cuairt a thabhairt ar ár monarcha agus ar ár saotharlann ag am ar bith!
-
Carbóin Gloiní Ardchaighdeáin atá frithsheasmhach in aghaidh creimeadh ...
-
Gabhdóir vaiféir le sciath TaC do G5 G10
-
Cuid sciath tantalum carbide saincheaptha sa mhonarcha
-
Gabhdóir Grafíte Brataithe le Carbaíd Sileacain do...
-
Cuid leathghealach le sciath Tantalum Carbide
-
Bairille Brataithe Carbíde Tantalum Póiriúil