Wāhanga Halfmoon kua whakakikoruatia a SiChe waahanga matua e whakamahia ana i roto i nga mahi hangahanga semiconductor, ina koa mo nga taputapu epitaxial SiC. Ko tana hoahoa hanganga me nga taonga rawa e whakatau tika ana i te kounga me te pai o te hanga o nga wafers epitaxial.
Hanganga ruma tauhohenga:
Ko te haurua o te marama e rua nga waahanga, ko nga waahanga o runga me raro, he mea hono ki te hanga i tetahi ruuma tipu kati, e uru ana ki te taputapu carbide silicon (te nuinga o te 4H-SiC, 6H-SiC ranei) ka tutuki i te tipu o te paparanga epitaxial ma te whakahaere tika i te waahi rere hau (penei i te ranunga o te SiH₃H₄, H₄).
Te whakaritenga o te mara pāmahana:
Ka taea e te turanga kauwhata parakore teitei te whakakotahi me te whakawera whakawera whakaurunga ki te pupuri i te riterite o te pāmahana o te ruma (i roto i te ± 5 ° C) i te pāmahana teitei o 1500-1700 ° C hei whakarite i te rite o te matotoru paparanga epitaxial.
Arataki Rererangi:
Ma te hoahoa i te tuunga o te urunga o te hau me te putanga (penei i te kokoru hau taha me te putanga hau o runga o te tinana oumu whakapae), ka arahina te rere o te hau tauhohenga i roto i te mata tïpako ki te whakaiti i nga hapa o te tipu i puta mai i te ngangau.
Rauemi turanga: kauwhata parakore teitei
Nga whakaritenga parakore:te ihirangi waro ≥99.99%, te ihirangi pungarehu ≤5ppm, kia kore ai nga poke e paheke ki te whakapoke i te paparanga epitaxial i te wera nui.
Nga painga mahi:
Te kawe werawera teitei:Ko te kaha o te waiariki i te pāmahana rūma ka eke ki te 150W/(m・K), he tata ki te taumata parahi, ka tere te whakawhiti wera.
He iti whakarea roha:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), e taurite ana ki te taputapu carbide silicon (4.2×10-6/ ℃), ka whakaiti i te pakaru o te paninga na te ahotea waiariki.
Tukatuka tika:Ko te ahua o te ± 0.05mm ka tutuki ma te miihini CNC hei whakarite i te hiri o te ruma.
Nga tono rereke o CVD SiC me CVD TaC
| paninga | Tukanga | Whakatauritenga | Tono angamaheni |
| CVD-SiC | Temperaute: 1000-1200 ℃ Pēhanga: 10-100 Torr | Te pakeke HV2500, te matotoru 50-100um, te tino pai o te aukati i te waikura (i raro iho i te 1600 ℃) | Ko nga oumu epitaxial mo te ao, e tika ana mo nga hau rite te hauwai me te silane |
| CVD-TaC | Te Maamaa: 1600-1800 ℃ Te pehanga: 1-10 Torr | Te pakeke HV3000, te matotoru 20-50um, tino atete ki te waikura (ka taea te tu atu i nga hau pirau penei i te HCl, NH₃, etc.) | Ko nga taiao tino kino (pēnei i te GaN epitaxy me nga taputapu etching), he tukanga motuhake ranei e hiahia ana kia 2600°C te pāmahana tino teitei. |
Ko te VET Energy he kaihanga ngaio e arotahi ana ki te R&D me te hanga o nga rauemi matatau teitei penei i te graphite, te carbide silicon, te quartz, me te maimoatanga rauemi penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaihe, te paninga waro pyrolytic, me era atu.
Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.
Ko nga painga o te VET Energy ko:
• He wheketere ake me te taiwhanga ngaio;
• Ahumahi-arahi taumata ma me te kounga;
• Te utu whakataetae & te wa tuku tere;
• Nga hononga ahumahi maha puta noa i te ao;
Ka mihi matou ki a koe ki te toro ki to maatau wheketere me te taiwhanga i nga wa katoa!
