SiC эпитаксиясына арналған SiC жабыны бар графит жарты ай бөлігі және құрастырмасы

Қысқаша сипаттама:

VET Energy - кремний карбидті эпитаксиалды пештердің негізгі компоненттерін кәсіби өндіруші және жеткізуші. Біздің жарты айлық құрастыруымыз жоғары тазалықтағы графитті озық CVD жабын технологиясымен біріктіріп пайдаланады. Ол жоғары температуралы және жоғары коррозиялық эпитаксиалды орталарға арналған. Жоғары тазалықтағы графит компонентке тамаша жоғары температураға төзімділік (>1600℃) және термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, жылу өрісінің біркелкілігін қамтамасыз етеді; CVD жабыны CVD технологиясы арқылы бетінде тығыз қорғаныс қабатын түзеді, антиоксиданттық және өңдеуге қарсы қасиеттерін айтарлықтай жақсартады және қызмет ету мерзімін 3 еседен астамға ұзартады.

Материал:Жоғары тазалықтағы графит

Емдеу:CVD-SiC немесе CVD-TaC жабыны

Теңшеу:Қолжетімді

Бізге электрондық пошта жіберіңіз PDF форматында жүктеп алу

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

SiC жабыны бар графит жарты ай бөлігіжартылай өткізгіш өндіріс процестерінде, әсіресе SiC эпитаксиалды жабдықтарында қолданылатын негізгі компонент болып табылады. Оның құрылымдық дизайны мен материалдық қасиеттері эпитаксиалды пластиналардың сапасы мен өндіріс тиімділігін тікелей анықтайды.

Реакция камерасының құрылысы:
Жарты ай бөлігі екі бөліктен, жоғарғы және төменгі бөліктерден тұрады, олар бір-біріне бекітіліп, кремний карбидінің субстратын (әдетте 4H-SiC немесе 6H-SiC) орналастыратын және газ ағыны өрісін дәл басқару арқылы (мысалы, SiH₄, C₃H₈ және H₂ қоспасы) эпитаксиалды қабаттың өсуіне қол жеткізетін жабық өсу камерасын құрайды.
Температура өрісін реттеу:
Индукциялық қыздыру катушкасымен біріктірілген жоғары тазалықтағы графит негізі эпитаксиалды қабат қалыңдығының консистенциясын қамтамасыз ету үшін камера температурасының біркелкілігін (±5°C шегінде) 1500-1700°C жоғары температурада сақтай алады.
Ауа ағынын басқару:
Ауа кірісі мен шығысының орналасуын жобалау арқылы (мысалы, көлденең пеш корпусының бүйірлік ауа кірісі және жоғарғы ауа шығысы), реакциялық газдың ламинарлық ағыны турбуленттіліктен туындаған өсу ақауларын азайту үшін субстрат беті арқылы бағытталады.

Негізгі материал: жоғары тазалықтағы графит
Тазалық талаптары:көміртегі мөлшері ≥99,99%, күл мөлшері ≤5ppm, бұл жоғары температурада эпитаксиалды қабатты ластайтын қоспалардың тұнбаға түсуіне жол бермейді.
Өнімділік артықшылықтары:
Жоғары жылу өткізгіштік:Бөлме температурасындағы жылу өткізгіштік 150 Вт/(м・К) жетеді, бұл мыс деңгейіне жақын және жылуды тез өткізе алады.
Төмен кеңею коэффициенті:5×10^-6/℃ (25-1000℃), кремний карбидінің негізіне сәйкес келеді (4.2×10^-6/℃), термиялық кернеуден туындаған жабынның жарылуын азайтады.
Өңдеу дәлдігі:Камераның тығыздалуын қамтамасыз ету үшін CNC өңдеу арқылы ±0,05 мм өлшемді төзімділікке қол жеткізіледі.

CVD SiC және CVD TaC дифференциалданған қолданылуы

Қаптау	Процесс	Салыстыру	Әдеттегі қолданылуы
CVD-SiC	Температура: 1000-1200℃ Қысым: 10-100 Торр	Қаттылығы HV2500, қалыңдығы 50-100 мкм, тотығуға төзімділігі тамаша (1600℃ төмен тұрақты)	Сутегі және силан сияқты дәстүрлі атмосфераларға жарамды әмбебап эпитаксиалды пештер
CVD-TaC	Температура: 1600-1800℃ Қысым: 1-10 Торр	Қаттылығы HV3000, қалыңдығы 20-50 мкм, коррозияға өте төзімді (HCl, NH₃ және т.б. сияқты коррозиялық газдарға төтеп бере алады)	Жоғары коррозиялық орталар (мысалы, GaN эпитаксисі және өңдеу жабдықтары) немесе 2600°C аса жоғары температураны қажет ететін арнайы процестер

VET Energy - графит, кремний карбиді, кварц сияқты жоғары сапалы озық материалдарды зерттеу және әзірлеу, сондай-ақ SiC жабыны, TaC жабыны, шыны көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты материалдарды өңдеуге маманданған кәсіби өндіруші. Өнімдер фотоэлектрлік, жартылай өткізгіштік, жаңа энергетика, металлургия және т.б. салаларда кеңінен қолданылады.

Біздің техникалық командамыз отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сіз үшін кәсіби материалдық шешімдер ұсына алады.

VET Energy артықшылықтары мыналарды қамтиды:
• Жеке зауыт және кәсіби зертхана;
• Саладағы жетекші тазалық деңгейі мен сапасы;
• Бәсекеге қабілетті баға және жылдам жеткізу уақыты;
• Әлем бойынша көптеген салалық серіктестіктер;

Сізді кез келген уақытта біздің зауыт пен зертханаға келуге шақырамыз!