Sehemu ya Grafiti Iliyofunikwa na SiC Nusu Mwezi na Mkutano wa SiC Epitaxy

Sehemu ya Grafiti Iliyofunikwa na SiC Nusu Mwezi na Mkusanyiko kwa SiC Epitaxy Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

VET Energy ni mtengenezaji na muuzaji wa kitaalamu wa vipengele vya msingi vya tanuru za epitaxial za silicon carbide. Kiunganishi chetu cha nusu mwezi hutumia grafiti ya usafi wa hali ya juu pamoja na teknolojia ya hali ya juu ya mipako ya CVD. Imeundwa kwa ajili ya mazingira ya epitaxial yenye hali ya juu na babuzi sana. Grafiti ya usafi wa hali ya juu huipa sehemu hiyo upinzani bora wa hali ya juu (>1600℃) na uthabiti wa joto, kuhakikisha usawa wa uwanja wa joto; mipako ya CVD huunda safu mnene ya kinga juu ya uso kupitia teknolojia ya CVD, ikiboresha kwa kiasi kikubwa sifa za kuzuia oksidi na kuzuia kung'aa, na kuongeza muda wa huduma kwa zaidi ya mara 3.

Nyenzo:Grafiti yenye usafi wa hali ya juu

Matibabu:Mipako ya CVD-SiC au CVD-TaC

Ubinafsishaji:Inapatikana

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Sehemu ya Grafiti Iliyofunikwa na SiCni sehemu muhimu inayotumika katika michakato ya utengenezaji wa nusu-semiconductor, haswa kwa vifaa vya epitaxial vya SiC. Muundo wake wa kimuundo na sifa za nyenzo huamua moja kwa moja ubora na ufanisi wa uzalishaji wa wafers za epitaxial.

Ujenzi wa chumba cha mmenyuko:
Sehemu ya nusu mwezi imeundwa na sehemu mbili, sehemu za juu na za chini, ambazo zimeunganishwa pamoja ili kuunda chumba cha ukuaji kilichofungwa, ambacho hushughulikia substrate ya kabidi ya silikoni (kawaida 4H-SiC au 6H-SiC) na kufikia ukuaji wa safu ya epitaxial kwa kudhibiti kwa usahihi uwanja wa mtiririko wa gesi (kama vile mchanganyiko wa SiH₄, C₃H₈, na H₂).
Udhibiti wa halijoto ya uwanja:
Msingi wa grafiti yenye usafi wa hali ya juu pamoja na koili ya kupasha joto ya induction inaweza kudumisha usawa wa halijoto ya chumba (ndani ya ± 5°C) kwa halijoto ya juu ya 1500-1700°C ili kuhakikisha uthabiti wa unene wa safu ya epitaxial.
Mwongozo wa mtiririko wa hewa:
Kwa kubuni nafasi ya njia ya kuingilia na kutoa hewa (kama vile njia ya kuingilia hewa ya pembeni na njia ya kutolea hewa ya juu ya mwili wa tanuru mlalo), mtiririko wa gesi ya mmenyuko huongozwa kupitia uso wa substrate ili kupunguza kasoro za ukuaji zinazosababishwa na msukosuko.

Nyenzo ya msingi: grafiti ya usafi wa hali ya juu
Mahitaji ya usafi:Kiwango cha kaboni ≥99.99%, kiwango cha majivu ≤5ppm, ili kuhakikisha kwamba hakuna uchafu unaosababishwa na uchafu ili kuchafua safu ya epitaxial kwenye halijoto ya juu.
Faida za utendaji:
Upitishaji joto wa juu:Upitishaji joto kwenye joto la kawaida hufikia 150W/(m・K), ambayo iko karibu na kiwango cha shaba na inaweza kuhamisha joto haraka.
Mgawo mdogo wa upanuzi:5×10^-6/℃ (25-1000℃), inayolingana na substrate ya kabidi ya silikoni (4.2×10^-6/℃), kupunguza kupasuka kwa mipako inayosababishwa na msongo wa joto.
Usahihi wa usindikaji:Uvumilivu wa vipimo vya ±0.05mm hupatikana kupitia usindikaji wa CNC ili kuhakikisha kufungwa kwa chumba.

Matumizi tofauti ya CVD SiC na CVD TaC

Mipako	Mchakato	Ulinganisho	Matumizi ya kawaida
CVD-SiC	Halijoto: 1000-1200℃ Shinikizo: 10-100 Torr	Ugumu HV2500, unene 50-100um, upinzani bora wa oksidi (imara chini ya 1600℃)	Tanuri za epitaxial za ulimwengu wote, zinazofaa kwa angahewa za kawaida kama vile hidrojeni na silane
CVD-TaC	Halijoto: 1600-1800℃ Shinikizo: 1-10 Torr	Ugumu HV3000, unene 20-50um, sugu sana kwa kutu (inaweza kuhimili gesi babuzi kama vile HCl, NH₃, n.k.)	Mazingira yenye ulikaji mwingi (kama vile vifaa vya kuchomea vya GaN epitaksi na uchomaji), au michakato maalum inayohitaji halijoto ya juu sana ya 2600°C

VET Energy ni mtengenezaji mtaalamu anayezingatia Utafiti na Maendeleo na utengenezaji wa vifaa vya hali ya juu kama vile grafiti, karabidi ya silikoni, quartz, pamoja na matibabu ya nyenzo kama vile mipako ya SiC, mipako ya TaC, mipako ya kaboni ya glasi, mipako ya kaboni ya pyrolytic, n.k. Bidhaa hizo hutumika sana katika photovoltaic, semiconductor, nishati mpya, madini, n.k.

Timu yetu ya kiufundi inatoka katika taasisi bora za utafiti wa ndani, inaweza kutoa suluhisho zaidi za nyenzo za kitaalamu kwa ajili yako.

Faida za Nishati ya VET ni pamoja na:
• Kiwanda chako na maabara ya kitaalamu;
• Viwango na ubora wa usafi unaoongoza katika tasnia;
• Bei ya ushindani na muda wa haraka wa utoaji;
• Ushirikiano mwingi wa sekta duniani kote;

Tunakukaribisha kutembelea kiwanda chetu na maabara wakati wowote!