SiC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਹਾਫਮੂਨ ਪਾਰਟਇਹ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਾ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ। ਇਸਦਾ ਢਾਂਚਾਗਤ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।
ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਉਸਾਰੀ:
ਅੱਧਾ ਚੰਦਰਮਾ ਵਾਲਾ ਹਿੱਸਾ ਦੋ ਹਿੱਸਿਆਂ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਉੱਪਰਲੇ ਅਤੇ ਹੇਠਲੇ ਹਿੱਸੇ, ਜੋ ਇੱਕ ਬੰਦ ਵਿਕਾਸ ਚੈਂਬਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਕੱਠੇ ਬੱਕਲ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਬਸਟਰੇਟ (ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 4H-SiC ਜਾਂ 6H-SiC) ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਖੇਤਰ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiH₄, C₃H₈, ਅਤੇ H₂ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ) ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਕੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤ ਦੇ ਵਾਧੇ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਤਾਪਮਾਨ ਖੇਤਰ ਨਿਯਮ:
ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਹੀਟਿੰਗ ਕੋਇਲ ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਲਾਇਆ ਗਿਆ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੇਸ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ 1500-1700°C ਦੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਚੈਂਬਰ ਤਾਪਮਾਨ ਇਕਸਾਰਤਾ (±5°C ਦੇ ਅੰਦਰ) ਬਣਾਈ ਰੱਖ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਹਵਾ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਰਗਦਰਸ਼ਨ:
ਏਅਰ ਇਨਲੇਟ ਅਤੇ ਆਊਟਲੈੱਟ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਹਰੀਜੱਟਲ ਫਰਨੇਸ ਬਾਡੀ ਦੇ ਸਾਈਡ ਏਅਰ ਇਨਲੇਟ ਅਤੇ ਟਾਪ ਏਅਰ ਆਊਟਲੈੱਟ) ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਕਰਕੇ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਲੈਮੀਨਰ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਰਾਹੀਂ ਨਿਰਦੇਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਗੜਬੜ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਘਟਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ।
ਮੂਲ ਸਮੱਗਰੀ: ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ
ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ:ਕਾਰਬਨ ਸਮੱਗਰੀ ≥99.99%, ਸੁਆਹ ਸਮੱਗਰੀ ≤5ppm, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕਿ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤ ਨੂੰ ਦੂਸ਼ਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਕੋਈ ਵੀ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਨਾ ਨਿਕਲਣ।
ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੇ ਫਾਇਦੇ:
ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ:ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ 150W/(m・K) ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਤਾਂਬੇ ਦੇ ਪੱਧਰ ਦੇ ਨੇੜੇ ਹੈ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਗਰਮੀ ਦਾ ਤਬਾਦਲਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਘੱਟ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ:5×10-6/℃ (25-1000℃), ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਬਸਟਰੇਟ (4.2×10) ਨਾਲ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਹੈ-6/℃), ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਪਰਤ ਦੀ ਫਟਣ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ:ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਸੀਲਿੰਗ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ CNC ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ±0.05mm ਦੀ ਇੱਕ ਅਯਾਮੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
CVD SiC ਅਤੇ CVD TaC ਦੇ ਵਿਭਿੰਨ ਉਪਯੋਗ
| ਕੋਟਿੰਗ | ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ | ਤੁਲਨਾ | ਆਮ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ |
| ਸੀਵੀਡੀ-ਐਸਆਈਸੀ | ਤਾਪਮਾਨ: 1000-1200℃ ਦਬਾਅ: 10-100 ਟੌਰ | ਕਠੋਰਤਾ HV2500, ਮੋਟਾਈ 50-100um, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ (1600℃ ਤੋਂ ਘੱਟ ਸਥਿਰ) | ਯੂਨੀਵਰਸਲ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਭੱਠੀਆਂ, ਰਵਾਇਤੀ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਸਿਲੇਨ ਲਈ ਢੁਕਵੀਆਂ |
| ਸੀਵੀਡੀ-ਟੀਏਸੀ | ਤਾਪਮਾਨ: 1600-1800℃ ਦਬਾਅ: 1-10 ਟੌਰ | ਕਠੋਰਤਾ HV3000, ਮੋਟਾਈ 20-50um, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖੋਰ-ਰੋਧਕ (HCl, NH₃, ਆਦਿ ਵਰਗੀਆਂ ਖੋਰ ਗੈਸਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ) | ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਣ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ GaN ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ), ਜਾਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਲਈ 2600°C ਦੇ ਅਤਿ-ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। |
VET ਐਨਰਜੀ ਇੱਕ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਨਿਰਮਾਤਾ ਹੈ ਜੋ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ, ਕੁਆਰਟਜ਼ ਵਰਗੀਆਂ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਦੀਆਂ ਉੱਨਤ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਨਾਲ ਹੀ SiC ਕੋਟਿੰਗ, TaC ਕੋਟਿੰਗ, ਗਲਾਸਸੀ ਕਾਰਬਨ ਕੋਟਿੰਗ, ਪਾਈਰੋਲਾਈਟਿਕ ਕਾਰਬਨ ਕੋਟਿੰਗ, ਆਦਿ ਵਰਗੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਇਲਾਜ 'ਤੇ ਵੀ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ, ਨਵੀਂ ਊਰਜਾ, ਧਾਤੂ ਵਿਗਿਆਨ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਸਾਡੀ ਤਕਨੀਕੀ ਟੀਮ ਚੋਟੀ ਦੇ ਘਰੇਲੂ ਖੋਜ ਸੰਸਥਾਵਾਂ ਤੋਂ ਆਉਂਦੀ ਹੈ, ਤੁਹਾਡੇ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
VET ਊਰਜਾ ਦੇ ਫਾਇਦਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
• ਆਪਣੀ ਫੈਕਟਰੀ ਅਤੇ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ;
• ਉਦਯੋਗ-ਮੋਹਰੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪੱਧਰ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ;
• ਮੁਕਾਬਲੇ ਵਾਲੀ ਕੀਮਤ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ ਡਿਲੀਵਰੀ ਸਮਾਂ;
• ਦੁਨੀਆ ਭਰ ਵਿੱਚ ਕਈ ਉਦਯੋਗਿਕ ਭਾਈਵਾਲੀ;
ਅਸੀਂ ਤੁਹਾਨੂੰ ਕਿਸੇ ਵੀ ਸਮੇਂ ਸਾਡੀ ਫੈਕਟਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਦੇਖਣ ਲਈ ਸਵਾਗਤ ਕਰਦੇ ਹਾਂ!
