SiC Epitaksiyasi uchun SiC bilan qoplangan grafit yarim oy qismi va yig'ilishi

SiC Epitaksi uchun SiC bilan qoplangan grafit yarim oy qismi va yig'ilishi Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

VET Energy kremniy karbidli epitaksial pechlarning asosiy komponentlarini professional ishlab chiqaruvchi va yetkazib beruvchi hisoblanadi. Bizning yarim oylik yig'ish tizimimiz yuqori tozalikdagi grafitni ilg'or CVD qoplama texnologiyasi bilan birlashtiradi. U yuqori haroratli va yuqori korroziyali epitaksial muhitlar uchun mo'ljallangan. Yuqori tozalikdagi grafit komponentga yuqori haroratga mukammal qarshilik (>1600℃) va issiqlik barqarorligini ta'minlaydi, bu esa issiqlik maydonining bir xilligini ta'minlaydi; CVD qoplamasi CVD texnologiyasi orqali sirtda zich himoya qatlamini hosil qiladi, bu esa oksidlanishga qarshi va aşınmaya qarshi xususiyatlarni sezilarli darajada yaxshilaydi va xizmat muddatini 3 baravardan ortiqqa uzaytiradi.

Materiallar:Yuqori tozalikdagi grafit

Davolash:CVD-SiC yoki CVD-TaC qoplamasi

Moslashtirish:Mavjud

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot tafsiloti

Mahsulot teglari

SiC bilan qoplangan grafit yarim oy qismiyarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlarida, ayniqsa SiC epitaksial uskunalari uchun ishlatiladigan asosiy komponent hisoblanadi. Uning strukturaviy dizayni va material xususiyatlari epitaksial plitalarning sifati va ishlab chiqarish samaradorligini bevosita belgilaydi.

Reaksiya kamerasining tuzilishi:
Yarim oy qismi ikkita qismdan, yuqori va pastki qismlardan iborat bo'lib, ular bir-biriga mahkamlangan holda yopiq o'sish kamerasini hosil qiladi, bu esa kremniy karbid substratini (odatda 4H-SiC yoki 6H-SiC) joylashtiradi va gaz oqimi maydonini aniq boshqarish orqali (masalan, SiH₄, C₃H₈ va H₂ aralashmasi) epitaksial qatlam o'sishiga erishadi.
Harorat maydonini tartibga solish:
Yuqori toza grafit asosi induksion isitish bobini bilan birgalikda epitaksial qatlam qalinligining izchilligini ta'minlash uchun kameraning harorati bir xilligini (±5°C ichida) 1500-1700°C yuqori haroratda saqlab turishi mumkin.
Havo oqimi bo'yicha ko'rsatma:
Havo kirish va chiqish joylarining joylashuvini (masalan, gorizontal o'choq korpusining yon havo kirish va yuqori havo chiqish joyi) loyihalash orqali reaksiya gazining laminar oqimi turbulentlik tufayli yuzaga keladigan o'sish nuqsonlarini kamaytirish uchun substrat yuzasi orqali boshqariladi.

Asosiy material: yuqori tozalikdagi grafit
Poklik talablari:uglerod miqdori ≥99.99%, kul miqdori ≤5ppm, yuqori haroratlarda epitaksial qatlamni ifloslantiradigan hech qanday aralashmalar cho'kmasligini ta'minlash uchun.
Ishlash afzalliklari:
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi:Xona haroratidagi issiqlik o'tkazuvchanligi 150 Vt/(m・K) ga etadi, bu mis darajasiga yaqin va issiqlikni tezda o'tkaza oladi.
Past kengayish koeffitsienti:5×10^-6/℃ (25-1000℃), kremniy karbid substratiga mos keladi (4.2 × 10^-6/℃), termal stress tufayli qoplamaning yorilishini kamaytiradi.
Qayta ishlash aniqligi:Kameraning muhrlanishini ta'minlash uchun CNC ishlov berish orqali ±0,05 mm o'lchovli bardoshlik ta'minlanadi.

CVD SiC va CVD TaC ning differentsial qo'llanilishi

Qoplama	Jarayon	Taqqoslash	Odatdagi dastur
CVD-SiC	Harorat: 1000-1200℃ Bosim: 10-100 Torr	Qattiqligi HV2500, qalinligi 50-100um, ajoyib oksidlanishga chidamlilik (1600 ℃ dan past barqaror)	Vodorod va silan kabi an'anaviy atmosferalar uchun mos bo'lgan universal epitaksial pechlar
CVD-TaC	Harorat: 1600-1800℃ Bosim: 1-10 Torr	Qattiqligi HV3000, qalinligi 20-50 um, juda korroziyaga chidamli (HCl, NH₃ va boshqalar kabi korroziyali gazlarga bardosh bera oladi)	Yuqori darajada korroziyali muhitlar (masalan, GaN epitaksiyasi va o'yib ishlov berish uskunalari) yoki 2600°C gacha bo'lgan juda yuqori haroratni talab qiladigan maxsus jarayonlar

VET Energy - grafit, kremniy karbidi, kvarts kabi yuqori darajadagi ilg'or materiallarni tadqiq qilish va ishlab chiqarishga, shuningdek, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalar kabi materiallarni qayta ishlashga ixtisoslashgan professional ishlab chiqaruvchi. Mahsulotlar fotovoltaik, yarimo'tkazgichlar, yangi energiya, metallurgiya va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi.

Bizning texnik jamoamiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi, siz uchun yanada professional moddiy yechimlarni taqdim etishi mumkin.

VET Energy afzalliklari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
• O'z zavodi va professional laboratoriyasi;
• Sanoatda yetakchi tozalik darajasi va sifati;
• Raqobatbardosh narx va tez yetkazib berish vaqti;
• Dunyo bo'ylab ko'plab sanoat hamkorligi;

Sizni istalgan vaqtda fabrikamiz va laboratoriyamizga tashrif buyurishingizni kutib qolamiz!