SiC qoplangan grafit yarim oy qismiyarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida, ayniqsa SiC epitaksial uskunalari uchun ishlatiladigan asosiy komponent hisoblanadi. Uning strukturaviy dizayni va moddiy xususiyatlari bevosita epitaksial gofretlarning sifati va ishlab chiqarish samaradorligini aniqlaydi.
Reaktsiya kamerasining qurilishi:
Yarim oy qismi ikki qismdan, yuqori va pastki qismlardan iborat bo'lib, ular kremniy karbid substratini (odatda 4H-SiC yoki 6H-SiC) joylashtiradigan yopiq o'sish kamerasini hosil qilish uchun bir-biriga bog'langan va gaz oqimi maydonini aniq nazorat qilish orqali epitaksial qatlam o'sishiga erishadi (masalan, H₂ va SiH₂, H₂, H₂H, aralashmasi).
Harorat maydonini tartibga solish:
Induksion isitish batareyasi bilan birlashtirilgan yuqori toza grafit bazasi epitaksial qatlam qalinligining mustahkamligini ta'minlash uchun kamera haroratining bir xilligini (± 5 ° C ichida) 1500-1700 ° S yuqori haroratda saqlab turishi mumkin.
Havo oqimi bo'yicha ko'rsatmalar:
Havo kirish va chiqish joyini loyihalash orqali (masalan, gorizontal o'choq tanasining yon havo kirishi va yuqori havo chiqishi), turbulentlik tufayli yuzaga keladigan o'sish nuqsonlarini kamaytirish uchun reaktsiya gazining laminar oqimi substrat yuzasi orqali boshqariladi.
Asosiy material: yuqori toza grafit
Tozalik talablari:uglerod miqdori ≥99,99%, kul miqdori ≤5ppm, yuqori haroratlarda epitaksial qatlamni ifloslantirish uchun hech qanday aralashmalar cho'ktirilmasligini ta'minlash.
Ishlash afzalliklari:
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi:Xona haroratida issiqlik o'tkazuvchanligi 150 Vt / (m・K) ga etadi, bu mis darajasiga yaqin va issiqlikni tezda uzatishi mumkin.
Past kengayish koeffitsienti:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), kremniy karbid substratiga (4,2 × 10) mos keladi-6/℃), termal stressdan kelib chiqqan qoplamaning yorilishini kamaytiradi.
Qayta ishlashning aniqligi:Kameraning muhrlanishini ta'minlash uchun CNC ishlov berish orqali ± 0,05 mm o'lchamli bardoshlik erishiladi.
CVD SiC va CVD TaC ning tabaqalashtirilgan ilovalari
| Qoplama | Jarayon | Taqqoslash | Oddiy dastur |
| CVD-SiC | Harorat: 1000-1200℃Bosim: 10-100 Torr | Qattiqlik HV2500, qalinligi 50-100um, mukammal oksidlanish qarshiligi (1600 ℃ dan past barqaror) | Vodorod va silan kabi an'anaviy atmosferaga mos keladigan universal epitaksial pechlar |
| CVD-TaC | Harorat: 1600-1800℃Bosim: 1-10 Torr | Qattiqlik HV3000, qalinligi 20-50um, korroziyaga juda chidamli (HCl, NH₃ va boshqalar kabi korroziy gazlarga bardosh bera oladi) | Yuqori korroziv muhitlar (masalan, GaN epitaksisi va qirqish uskunalari) yoki 2600 ° C ultra yuqori haroratni talab qiladigan maxsus jarayonlar |
VET Energy - grafit, kremniy karbid, kvarts kabi yuqori darajadagi ilg'or materiallarni Ar-ge va ishlab chiqarishga, shuningdek, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalar kabi materiallarni qayta ishlashga qaratilgan professional ishlab chiqaruvchi. Mahsulotlar fotovoltaik, yarimo'tkazgich, yangi energiya, metallurgiyada keng qo'llaniladi.
Bizning texnik guruhimiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi, siz uchun ko'proq professional moddiy echimlarni taqdim etishi mumkin.
VET Energy afzalliklari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
• O'z zavodi va professional laboratoriyasi;
• Sanoatda yetakchi tozalik darajasi va sifati;
• Raqobatbardosh narx va Tez yetkazib berish muddati;
• Dunyo bo'ylab ko'plab sanoat hamkorliklari;
Istalgan vaqtda fabrikamiz va laboratoriyamizga tashrif buyurishingizni xush kelibsiz!
-
Korroziyaga chidamli yuqori sifatli shishasimon uglerod ...
-
G5 G10 uchun TaC qoplamali gofretli ushlagich
-
Zavod tomonidan tayyorlangan tantal karbid qoplama qismi
-
L uchun kremniy karbid bilan qoplangan grafit ushlagichi ...
-
Tantal karbid qoplamali yarim oy qismi
-
G'ovakli tantal karbid bilan qoplangan barrel