Gawo la SiC Coated Graphite Half Moon ndi Msonkhano wa SiC Epitaxy

Kufotokozera Kwachidule:

VET Energy ndi kampani yopanga komanso yogulitsa zinthu zofunika kwambiri mu ng'anjo za epitaxial za silicon carbide. Gulu lathu la half moon limagwiritsa ntchito graphite yoyera kwambiri pamodzi ndi ukadaulo wapamwamba wa CVD. Yapangidwira malo otentha kwambiri komanso owononga kwambiri a epitaxial. Graphite yoyera kwambiri imapatsa gawoli mphamvu yabwino kwambiri yolimbana ndi kutentha kwambiri (>1600℃) komanso kukhazikika kwa kutentha, kuonetsetsa kuti kutentha kuli kofanana; CVD imapanga gawo loteteza pamwamba kudzera muukadaulo wa CVD, ndikuwonjezera kwambiri mphamvu zotsutsana ndi okosijeni ndi zotsutsana ndi kuphulika, ndikuwonjezera moyo wautumiki ndi nthawi zoposa zitatu.

Zipangizo:Graphite yoyera kwambiri

Chithandizo:Chophimba cha CVD-SiC kapena CVD-TaC

Kusintha:Zilipo

Tumizani imelo kwa ife Tsitsani ngati PDF

Tsatanetsatane wa Zamalonda

Ma tag a Zamalonda

SiC yokutidwa ndi Graphite Halfmoon Partndi gawo lofunika kwambiri lomwe limagwiritsidwa ntchito popanga zinthu za semiconductor, makamaka pazida za SiC epitaxial. Kapangidwe kake ndi mawonekedwe ake a zinthu zimatsimikizira mwachindunji ubwino ndi magwiridwe antchito a epitaxial wafers.

Kapangidwe ka chipinda chochitirapo kanthu:
Gawo la theka la mwezi limapangidwa ndi magawo awiri, magawo apamwamba ndi apansi, omwe amamangiriridwa pamodzi kuti apange chipinda chokulirapo chotsekedwa, chomwe chimasunga gawo la silicon carbide (nthawi zambiri 4H-SiC kapena 6H-SiC) ndipo chimakwaniritsa kukula kwa epitaxial layer mwa kuwongolera bwino momwe mpweya umayendera (monga chisakanizo cha SiH₄, C₃H₈, ndi H₂).
Malamulo a kutentha kwa nthaka:
Maziko a graphite oyeretsedwa kwambiri pamodzi ndi chotenthetsera choyatsira mpweya amatha kusunga kutentha kwa chipinda (mkati mwa ± 5°C) pa kutentha kwakukulu kwa 1500-1700°C kuti atsimikizire kukhazikika kwa makulidwe a epitaxial layer.
Malangizo okhudza kayendedwe ka mpweya:
Mwa kupanga malo olowera ndi kutuluka kwa mpweya (monga malo olowera mpweya m'mbali ndi malo otulukira mpweya pamwamba pa thupi la ng'anjo yopingasa), kayendedwe ka mpweya wa laminar kamayenda kudzera pamwamba pa substrate kuti achepetse zolakwika zomwe zimayambitsidwa ndi kugwedezeka.

Zida zoyambira: graphite yoyera kwambiri
Zofunikira pa kuyera:kuchuluka kwa mpweya ≥99.99%, kuchuluka kwa phulusa ≤5ppm, kuonetsetsa kuti palibe zonyansa zomwe zimalowa kuti ziipitse gawo la epitaxial kutentha kwambiri.
Ubwino wa magwiridwe antchito:
Kutentha kwambiri:Kutentha kwa mpweya pa kutentha kwa chipinda kumafika pa 150W/(m・K), komwe kuli pafupi ndi mulingo wa mkuwa ndipo kumatha kusamutsa kutentha mwachangu.
Kuchuluka kochepa kwa kukula:5 × 10^-6/℃ (25-1000℃), yofanana ndi silicon carbide substrate (4.2×10^-6/℃), kuchepetsa kusweka kwa chophimba chomwe chimayambitsidwa ndi kutentha.
Kulondola kwa kukonza:Kulekerera kwa ±0.05mm kumachitika kudzera mu makina a CNC kuti chitseko cha chipindacho chitseguke.

Kugwiritsa ntchito kwa CVD SiC ndi CVD TaC mosiyanasiyana

Kuphimba	Ndondomeko	Kuyerekeza	Ntchito yachizolowezi
CVD-SiC	Kutentha: 1000-1200℃ Kupanikizika: 10-100 Torr	Kulimba HV2500, makulidwe 50-100um, kukana kwabwino kwambiri kwa okosijeni (kokhazikika pansi pa 1600℃)	Ziwiya za epitaxial za Universal, zoyenera mlengalenga wamba monga hydrogen ndi silane
CVD-TaC	Kutentha: 1600-1800℃ Kupanikizika: 1-10 Torr	Kulimba HV3000, makulidwe 20-50um, osapsa ndi dzimbiri kwambiri (amatha kupirira mpweya wowononga monga HCl, NH₃, ndi zina zotero.)	Malo owononga kwambiri (monga GaN epitaxy ndi zida zokokera), kapena njira zapadera zomwe zimafuna kutentha kwambiri kwa 2600°C

VET Energy ndi katswiri wopanga zinthu zomwe zimayang'ana kwambiri pa kafukufuku ndi chitukuko komanso kupanga zinthu zapamwamba kwambiri monga graphite, silicon carbide, quartz, komanso mankhwala monga SiC ❖ kuyanika, TaC ❖ kuyanika, galasi carbon ❖ kuyanika, pyrolytic carbon ❖ kuyanika, ndi zina zotero. Zogulitsazi zimagwiritsidwa ntchito kwambiri mu photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ndi zina zotero.

Gulu lathu laukadaulo limachokera ku mabungwe apamwamba ofufuza za m'dziko muno, ndipo lingakupatseni mayankho aukadaulo ambiri.

Ubwino wa VET Energy ndi monga:
• Laboratory yanu ya fakitale ndi ya akatswiri;
• Miyezo ndi khalidwe loyera lotsogola m'mafakitale;
• Mtengo wopikisana & Nthawi yotumizira mwachangu;
• Mgwirizano wamakampani ambiri padziko lonse lapansi;

Tikukulandirani kuti mudzayendere fakitale yathu ndi labotale nthawi iliyonse!