SiC எபிடாக்ஸிக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அரை நிலா பாகம் மற்றும் அதன் இணைப்புப் பகுதி

சுருக்கமான விளக்கம்:

VET எனர்ஜி என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடெக்சியல் உலைகளின் முக்கிய பாகங்களின் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் விநியோகஸ்தர் ஆகும். எங்களின் அரை நிலா வடிவ அமைப்பானது, உயர் தூய்மை கொண்ட கிராஃபைட்டுடன் மேம்பட்ட CVD பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்தை இணைத்துப் பயன்படுத்துகிறது. இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிப்புத்தன்மை கொண்ட எபிடெக்சியல் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர் தூய்மை கொண்ட கிராஃபைட், இந்த பாகத்திற்கு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பையும் (>1600℃) வெப்ப நிலைத்தன்மையையும் அளித்து, வெப்பப் புலத்தின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது; CVD பூச்சானது, CVD தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் மேற்பரப்பில் ஒரு அடர்த்தியான பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது, இது ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புப் பண்புகளைக் கணிசமாக மேம்படுத்துவதோடு, அதன் சேவை ஆயுளை 3 மடங்குக்கு மேல் நீட்டிக்கிறது.

பொருள்:உயர் தூய்மை கிராஃபைட்

சிகிச்சை:CVD-SiC அல்லது CVD-TaC பூச்சு

தனிப்பயனாக்கம்:இணையம்

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும் PDF ஆக பதிவிறக்கவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அரை நிலா பாகம்குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக SiC எபிடெக்சியல் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இதன் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் பண்புகள், எபிடெக்சியல் வேஃபர்களின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை நேரடியாக நிர்ணயிக்கின்றன.

வினை அறை கட்டுமானம்:
அரை நிலா வடிவமானது, மேல் மற்றும் கீழ் என இரண்டு பாகங்களைக் கொண்டுள்ளது. இவை ஒன்றாக இணைக்கப்பட்டு ஒரு மூடிய வளர்ச்சி அறையை உருவாக்குகின்றன. இந்த அறையானது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறை (பொதுவாக 4H-SiC அல்லது 6H-SiC) உள்ளடக்கிக்கொண்டு, வாயு ஓட்டப் புலத்தை (SiH₄, C₃H₈, மற்றும் H₂ ஆகியவற்றின் கலவை போன்றவை) துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் புறவளர்ச்சிப் படல வளர்ச்சியை அடைகிறது.
வெப்பநிலை புல ஒழுங்குமுறை:
உயர் தூய்மை கொண்ட கிராஃபைட் அடித்தளமானது, தூண்டல் வெப்பமூட்டும் சுருளுடன் இணைந்து, 1500-1700°C வரையிலான உயர் வெப்பநிலையில் அறை வெப்பநிலையின் சீரான தன்மையை (±5°Cக்குள்) பராமரித்து, எபிடெக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
காற்றோட்ட வழிகாட்டுதல்:
கிடைமட்ட உலை அமைப்பின் பக்கவாட்டு காற்று நுழைவாயில் மற்றும் மேல் காற்று நுழைவாயில் போன்ற காற்று நுழைவாயில் மற்றும் வெளியேறும் வழியின் நிலையை வடிவமைப்பதன் மூலம், கொந்தளிப்பினால் ஏற்படும் வளர்ச்சிக் குறைபாடுகளைக் குறைக்க, வினை வாயுவின் சீரான ஓட்டம் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பின் வழியே செலுத்தப்படுகிறது.

அடிப்படைப் பொருள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட்
தூய்மைத் தேவைகள்:உயர் வெப்பநிலையில் எபிடெக்சியல் அடுக்கை மாசுபடுத்தும் வகையில் எந்த அசுத்தங்களும் வீழ்படிவாகாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, கார்பன் உள்ளடக்கம் ≥99.99%, சாம்பல் உள்ளடக்கம் ≤5ppm.
செயல்திறன் நன்மைகள்:
உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன்:அறை வெப்பநிலையில் வெப்பக் கடத்துத்திறன் 150W/(m・K) ஐ அடைகிறது, இது தாமிரத்தின் அளவிற்கு நெருக்கமாக இருப்பதுடன், வெப்பத்தை விரைவாகக் கடத்தவும் வல்லது.
குறைந்த விரிவாக்க குணகம்:5×10^-6/℃ (25-1000℃), சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுடன் (4.2×10) பொருந்துகிறது.^-6(℃), வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் பூச்சின் விரிசல்களைக் குறைக்கிறது.
செயலாக்கத் துல்லியம்:அறையின் காற்றுப்புகாத் தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, CNC எந்திர வேலைப்பாடு மூலம் ±0.05 மிமீ பரிமாணத் துல்லியம் அடையப்படுகிறது.

CVD SiC மற்றும் CVD TaC ஆகியவற்றின் வேறுபட்ட பயன்பாடுகள்

பூச்சு	செயல்முறை	ஒப்பீடு	வழக்கமான பயன்பாடு
CVD-SiC	வெப்பநிலை: 1000-1200℃ அழுத்தம்: 10-100 டோர்	கடினத்தன்மை HV2500, தடிமன் 50-100um, சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புத்திறன் (1600℃-க்குக் கீழ் நிலைத்தன்மை கொண்டது)	ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலேன் போன்ற வழக்கமான சூழல்களுக்கு ஏற்ற, உலகளாவிய எபிடெக்சியல் உலைகள்
CVD-TaC	வெப்பநிலை: 1600-1800℃ அழுத்தம்: 1-10 டோர்	கடினத்தன்மை HV3000, தடிமன் 20-50um, மிக அதிக அரிப்புத் தடுப்புத் திறன் (HCl, NH₃ போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கும்).	அதிக அரிக்கும் சூழல்கள் (GaN எபிடாக்ஸி மற்றும் எச்சிங் உபகரணங்கள் போன்றவை), அல்லது 2600°C போன்ற மிக அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படும் சிறப்பு செயல்முறைகள்.

VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்தர மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு (R&D) மற்றும் உற்பத்தியிலும், அத்துடன் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கிளாஸி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் பதப்படுத்துதலிலும் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். இதன் தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகவியல் போன்ற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழுவினர் உள்நாட்டின் முன்னணி ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்தவர்கள், உங்களுக்கு மேலும் தொழில்முறை சார்ந்த பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

VET எனர்ஜியின் நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணியில் உள்ள தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டித்தன்மை வாய்ந்த விலை மற்றும் விரைவான விநியோகம்;
• உலகளாவிய பல்வேறு தொழில் கூட்டாண்மைகள்;

எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை நீங்கள் எப்போது வேண்டுமானாலும் பார்வையிட வரவேற்கிறோம்!