SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹாஃப்மூன் பகுதிகுறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் பண்புகள் எபிடாக்சியல் வேஃபர்களின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை நேரடியாக தீர்மானிக்கின்றன.
எதிர்வினை அறை கட்டுமானம்:
அரை நிலவு பகுதி இரண்டு பகுதிகளைக் கொண்டது, மேல் மற்றும் கீழ் பாகங்கள், இவை ஒன்றாக இணைக்கப்பட்டு ஒரு மூடிய வளர்ச்சி அறையை உருவாக்குகின்றன, இது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறை (பொதுவாக 4H-SiC அல்லது 6H-SiC) இடமளிக்கிறது மற்றும் வாயு ஓட்டப் புலத்தை (SiH₄, C₃H₈, மற்றும் H₂ கலவை போன்றவை) துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை அடைகிறது.
வெப்பநிலை புல ஒழுங்குமுறை:
தூண்டல் வெப்பமூட்டும் சுருளுடன் இணைந்த உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடித்தளம், எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமனின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக 1500-1700°C உயர் வெப்பநிலையில் அறை வெப்பநிலை சீரான தன்மையை (±5°C க்குள்) பராமரிக்க முடியும்.
காற்றோட்ட வழிகாட்டுதல்:
காற்று நுழைவாயில் மற்றும் வெளியேறும் இடத்தின் நிலையை வடிவமைப்பதன் மூலம் (கிடைமட்ட உலை உடலின் பக்கவாட்டு காற்று நுழைவாயில் மற்றும் மேல் காற்று வெளியேறும் இடம் போன்றவை), எதிர்வினை வாயு லேமினார் ஓட்டம் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு வழியாக வழிநடத்தப்பட்டு, கொந்தளிப்பினால் ஏற்படும் வளர்ச்சி குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.
அடிப்படை பொருள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட்
தூய்மை தேவைகள்:அதிக வெப்பநிலையில் எபிடாக்சியல் அடுக்கை மாசுபடுத்தும் வகையில் எந்த அசுத்தங்களும் படிவுறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, கார்பன் உள்ளடக்கம் ≥99.99%, சாம்பல் உள்ளடக்கம் ≤5ppm.
செயல்திறன் நன்மைகள்:
உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்:அறை வெப்பநிலையில் வெப்ப கடத்துத்திறன் 150W/(m・K) ஐ அடைகிறது, இது தாமிரத்தின் அளவிற்கு அருகில் உள்ளது மற்றும் விரைவாக வெப்பத்தை மாற்றும்.
குறைந்த விரிவாக்க குணகம்:5×10 5×10 ×-6/℃ (25-1000℃), சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுடன் (4.2×10) பொருந்துகிறது.-6/℃), வெப்ப அழுத்தத்தால் பூச்சு விரிசல் ஏற்படுவதைக் குறைக்கிறது.
செயலாக்க துல்லியம்:அறையின் சீலிங்கை உறுதி செய்வதற்காக CNC எந்திரம் மூலம் ±0.05மிமீ பரிமாண சகிப்புத்தன்மை அடையப்படுகிறது.
CVD SiC மற்றும் CVD TaC இன் வேறுபட்ட பயன்பாடுகள்
| பூச்சு | செயல்முறை | ஒப்பீடு | வழக்கமான பயன்பாடு |
| சிவிடி-எஸ்ஐசி | வெப்பநிலை: 1000-1200℃அழுத்தம்: 10-100 டோர் | கடினத்தன்மை HV2500, தடிமன் 50-100um, சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு (1600℃க்குக் கீழே நிலையானது) | ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலேன் போன்ற வழக்கமான வளிமண்டலங்களுக்கு ஏற்ற உலகளாவிய எபிடாக்சியல் உலைகள். |
| CVD-TaC | வெப்பநிலை: 1600-1800℃அழுத்தம்: 1-10 டோர் | கடினத்தன்மை HV3000, தடிமன் 20-50um, மிகவும் அரிப்பை எதிர்க்கும் (HCl, NH₃ போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கும்) | அதிக அரிக்கும் சூழல்கள் (GaN எபிடாக்ஸி மற்றும் செதுக்கல் உபகரணங்கள் போன்றவை), அல்லது 2600°C மிக அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படும் சிறப்பு செயல்முறைகள். |
VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்நிலை மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் சிகிச்சையில் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். இந்த தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகம் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வருகிறது, உங்களுக்காக அதிக தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
VET எரிசக்தி நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணி வகிக்கும் தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டி விலை & விரைவான விநியோக நேரம்;
• உலகளவில் பல தொழில் கூட்டாண்மைகள்;
எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை எந்த நேரத்திலும் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்!
-
அரிப்பை எதிர்க்கும் உயர்தர கண்ணாடி கார்பன் ...
-
G5 G10 க்கான TaC பூச்சுடன் கூடிய வேஃபர் சசெப்டர்
-
தொழிற்சாலை தனிப்பயனாக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பகுதி
-
சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர் எல்...
-
டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் கூடிய அரை நிலவு பகுதி
-
நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட பீப்பாய்