SiC капталган графит жарым ай бөлүгүжарым өткөргүч өндүрүш процесстеринде, өзгөчө SiC эпитаксиалдык жабдуулар үчүн колдонулган негизги компоненти болуп саналат. Анын структуралык дизайны жана материалдык касиеттери эпитаксиалдык пластинкалардын сапатын жана өндүрүшүнүн натыйжалуулугун түздөн-түз аныктайт.
Реакция камерасынын курулушу:
Жарым ай бөлүгү эки бөлүктөн турат, үстүнкү жана астыңкы бөлүктөрү, алар кремний карбидинин субстратын (көбүнчө 4H-SiC же 6H-SiC) жайгаштырган жана газ агымынын талаасын (мисалы, SiH₂, H₂, H₂, H₂H аралашмасы сыяктуу) башкаруу аркылуу эпитаксиалдык катмардын өсүшүн камсыз кылган жабык өсүү камерасын түзүшөт.
Температура талаасын жөнгө салуу:
Индукциялык жылытуу катушкасы менен бирге жогорку тазалыктагы графит базасы эпитаксиалдык катмардын калыңдыгынын ырааттуулугун камсыз кылуу үчүн камеранын температурасынын бирдейлигин (±5°C чегинде) 1500-1700°C жогорку температурада сактай алат.
Аба агымы боюнча көрсөтмө:
Аба кирүүчү жана чыгуучу тешиктеринин абалын долбоорлоо менен (мисалы, горизонталдуу мештин корпусунун капталдагы аба кирүүчү жана үстүнкү аба чыгуусу), турбуленттиктен келип чыккан өсүү кемчиликтерин азайтуу үчүн реакция газынын ламинардык агымы субстрат бети аркылуу башкарылат.
Негизги материал: жогорку тазалыктагы графит
Тазалык талаптары:көмүртек мазмуну ≥99,99%, күл мазмуну ≤5ppm, жогорку температурада эпитаксиалдык катмарды булгаш үчүн эч кандай аралашмалар тунабасын камсыз кылуу.
Иштин артыкчылыктары:
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк:Бөлмө температурасында жылуулук өткөрүмдүүлүк 150 Вт/(м・К) жетет, бул жездин деңгээлине жакын жана жылуулукту тез өткөрө алат.
Төмөн кеңейүү коэффициенти:5×10-6/℃ (25-1000℃), кремний карбидинин субстратына (4,2×10) дал келет-6/℃), термикалык стресстен келип чыккан жабуунун жаракаларын азайтат.
Иштетүү тактыгы:± 0,05 мм өлчөмдүү сабырдуулук камеранын мөөр басылышын камсыз кылуу үчүн CNC иштетүү аркылуу жетишилет.
CVD SiC жана CVD TaCтин дифференцияланган колдонмолору
| Каптоо | Процесс | Салыштыруу | Типтүү колдонуу |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃Басым: 10-100 Торр | Катуулугу HV2500, калыңдыгы 50-100um, кычкылданууга эң сонун каршылык (1600℃ден төмөн туруктуу) | Суутек жана силан сыяктуу кадимки атмосферага ылайыктуу универсалдуу эпитаксиалдык мештер |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃Басым: 1-10 Торр | Катуулугу HV3000, калыңдыгы 20-50um, коррозияга өтө туруктуу (HCl, NH₃ ж.б. сыяктуу коррозиялык газдарга туруштук бере алат) | Жогорку коррозияга дуушар болгон чөйрөлөр (мисалы, GaN эпитаксиясы жана оюу жабдуулары) же 2600°C өтө жогорку температураны талап кылган атайын процесстер |
VET Energy – бул графит, кремний карбиди, кварц, ошондой эле SiC каптоо, TaC каптоо, айнек сымал көмүртек каптоо, пиролиттик көмүртек каптоо, ж.б. сыяктуу материалды дарылоодо R&D жана өндүрүшкө багытталган профессионалдуу өндүрүүчү. Продукциялар фотоэлектрдик, жарым өткөргүч, жаңы энергия, металлургияда кеңири колдонулат.
Биздин техникалык команда жогорку ата мекендик изилдөө институттарынан келет, силер үчүн көбүрөөк кесиптик материалдык чечимдерди камсыз кыла алат.
VET Energy артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:
• Өздүк фабрика жана кесиптик лаборатория;
• Өнөр жайдын алдыңкы тазалык деңгээли жана сапаты;
• атаандаштык баасы & Fast жеткирүү убактысы;
• Дүйнө жүзү боюнча бир нече тармактык өнөктөштүк;
Биз сизди каалаган убакта биздин фабрикага жана лабораторияга келүүгө чакырабыз!
