SiC കോട്ടഡ് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹാഫ്മൂൺ ഭാഗംസെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് SiC എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ്. അതിന്റെ ഘടനാപരമായ രൂപകൽപ്പനയും മെറ്റീരിയൽ ഗുണങ്ങളും എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫറുകളുടെ ഗുണനിലവാരവും ഉൽപാദന കാര്യക്ഷമതയും നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു.
റിയാക്ഷൻ ചേമ്പർ നിർമ്മാണം:
ഹാഫ് മൂൺ ഭാഗത്ത് രണ്ട് ഭാഗങ്ങളാണുള്ളത്, മുകളിലും താഴെയുമുള്ള ഭാഗങ്ങൾ, ഇവ പരസ്പരം ബന്ധിപ്പിച്ച് ഒരു അടഞ്ഞ വളർച്ചാ അറ ഉണ്ടാക്കുന്നു, ഇത് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രത്തെ (സാധാരണയായി 4H-SiC അല്ലെങ്കിൽ 6H-SiC) ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, കൂടാതെ വാതക പ്രവാഹ മണ്ഡലം (SiH₄, C₃H₈, H₂ എന്നിവയുടെ മിശ്രിതം പോലുള്ളവ) കൃത്യമായി നിയന്ത്രിച്ചുകൊണ്ട് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി വളർച്ച കൈവരിക്കുന്നു.
താപനില ഫീൽഡ് നിയന്ത്രണം:
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസും ഇൻഡക്ഷൻ ഹീറ്റിംഗ് കോയിലും സംയോജിപ്പിച്ച്, എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി കനത്തിന്റെ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ 1500-1700°C എന്ന ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ചേമ്പർ താപനില ഏകത (±5°C-നുള്ളിൽ) നിലനിർത്താൻ കഴിയും.
വായുപ്രവാഹ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശം:
എയർ ഇൻലെറ്റിന്റെയും ഔട്ട്ലെറ്റിന്റെയും സ്ഥാനം (തിരശ്ചീന ഫർണസ് ബോഡിയുടെ സൈഡ് എയർ ഇൻലെറ്റ്, ടോപ്പ് എയർ ഔട്ട്ലെറ്റ് പോലുള്ളവ) രൂപകൽപ്പന ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, ടർബുലൻസ് മൂലമുണ്ടാകുന്ന വളർച്ചാ വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന് റിയാക്ഷൻ ഗ്യാസ് ലാമിനാർ ഫ്ലോ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിലൂടെ നയിക്കപ്പെടുന്നു.
അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ: ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ്
ശുചിത്വ ആവശ്യകതകൾ:ഉയർന്ന താപനിലയിൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയെ മലിനമാക്കുന്ന മാലിന്യങ്ങൾ അടിഞ്ഞുകൂടുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ കാർബൺ അളവ് ≥99.99%, ചാരത്തിന്റെ അളവ് ≤5ppm.
പ്രകടന ഗുണങ്ങൾ:
ഉയർന്ന താപ ചാലകത:മുറിയിലെ താപനിലയിൽ താപ ചാലകത 150W/(m・K) വരെ എത്തുന്നു, ഇത് ചെമ്പിന്റെ നിലവാരത്തിന് അടുത്താണ്, കൂടാതെ വേഗത്തിൽ താപം കൈമാറാൻ കഴിയും.
കുറഞ്ഞ വികാസ ഗുണകം:5 × 10-6/℃ (25-1000℃), സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു (4.2×10-6/℃), താപ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന കോട്ടിംഗിന്റെ വിള്ളൽ കുറയ്ക്കുന്നു.
പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യത:ചേമ്പറിന്റെ സീലിംഗ് ഉറപ്പാക്കാൻ CNC മെഷീനിംഗ് വഴി ±0.05mm എന്ന ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസ് കൈവരിക്കുന്നു.
CVD SiC യുടെയും CVD TaC യുടെയും വ്യത്യസ്ത പ്രയോഗങ്ങൾ
| പൂശൽ | പ്രക്രിയ | താരതമ്യം | സാധാരണ ആപ്ലിക്കേഷൻ |
| സിവിഡി-എസ്ഐസി | താപനില: 1000-1200℃മർദ്ദം: 10-100 ടോർ | കാഠിന്യം HV2500, കനം 50-100um, മികച്ച ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം (1600℃-ൽ താഴെ സ്ഥിരതയുള്ളത്) | ഹൈഡ്രജൻ, സിലാൻ തുടങ്ങിയ പരമ്പരാഗത അന്തരീക്ഷങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ യൂണിവേഴ്സൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ചൂളകൾ. |
| സിവിഡി-ടാക് | താപനില: 1600-1800℃മർദ്ദം: 1-10 ടോർ | കാഠിന്യം HV3000, കനം 20-50um, അങ്ങേയറ്റം നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും (HCl, NH₃, തുടങ്ങിയ നാശകാരിയായ വാതകങ്ങളെ ചെറുക്കാൻ കഴിയും) | വളരെ നാശകാരിയായ പരിതസ്ഥിതികൾ (GaN എപ്പിറ്റാക്സി, എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ പോലുള്ളവ), അല്ലെങ്കിൽ 2600°C യുടെ അൾട്രാ-ഹൈ താപനില ആവശ്യമുള്ള പ്രത്യേക പ്രക്രിയകൾ. |
VET എനർജി എന്നത് ഗ്രാഫൈറ്റ്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, ക്വാർട്സ് തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നൂതന വസ്തുക്കളുടെ ഗവേഷണ വികസനത്തിലും ഉൽപ്പാദനത്തിലും ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്ന ഒരു പ്രൊഫഷണൽ നിർമ്മാതാവാണ്, അതുപോലെ തന്നെ SiC കോട്ടിംഗ്, TaC കോട്ടിംഗ്, ഗ്ലാസി കാർബൺ കോട്ടിംഗ്, പൈറോലൈറ്റിക് കാർബൺ കോട്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ മെറ്റീരിയൽ ട്രീറ്റ്മെന്റിലും ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു. ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്, സെമികണ്ടക്ടർ, ന്യൂ എനർജി, മെറ്റലർജി മുതലായവയിൽ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക സംഘം മികച്ച ആഭ്യന്തര ഗവേഷണ സ്ഥാപനങ്ങളിൽ നിന്നുള്ളവരാണ്, നിങ്ങൾക്ക് കൂടുതൽ പ്രൊഫഷണൽ മെറ്റീരിയൽ പരിഹാരങ്ങൾ നൽകാൻ അവർക്ക് കഴിയും.
VET എനർജിയുടെ ഗുണങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
• സ്വന്തം ഫാക്ടറിയും പ്രൊഫഷണൽ ലബോറട്ടറിയും;
• വ്യവസായത്തിലെ മുൻനിരയിലുള്ള ശുദ്ധതാ നിലവാരവും ഗുണനിലവാരവും;
• മത്സരാധിഷ്ഠിത വില & വേഗത്തിലുള്ള ഡെലിവറി സമയം;
• ലോകമെമ്പാടുമുള്ള ഒന്നിലധികം വ്യവസായ പങ്കാളിത്തങ്ങൾ;
ഞങ്ങളുടെ ഫാക്ടറിയും ലബോറട്ടറിയും എപ്പോൾ വേണമെങ്കിലും സന്ദർശിക്കാൻ ഞങ്ങൾ നിങ്ങളെ സ്വാഗതം ചെയ്യുന്നു!
