SiC örtüklü qrafit yarımay hissəsixüsusilə SiC epitaksial avadanlığı üçün yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə olunan əsas komponentdir. Onun struktur dizaynı və material xüsusiyyətləri birbaşa epitaksial vaflilərin keyfiyyətini və istehsal səmərəliliyini müəyyən edir.
Reaksiya kamerasının tikintisi:
Yarım ay hissəsi iki hissədən ibarətdir, üst və alt hissələr, qapalı böyümə kamerası yaratmaq üçün bir-birinə bükülür, silisium karbid substratını (adətən 4H-SiC və ya 6H-SiC) yerləşdirir və qaz axını sahəsini dəqiq idarə edərək epitaksial təbəqənin böyüməsinə nail olur (məsələn, SiH₂, H₂, H₂, H₂H qarışığı).
Temperatur sahəsinin tənzimlənməsi:
İnduksiya qızdırıcısı ilə birlikdə yüksək təmizlikli qrafit bazası epitaksial təbəqənin qalınlığının tutarlılığını təmin etmək üçün kameranın temperaturu vahidliyini (±5°C daxilində) 1500-1700°C yüksək temperaturda saxlaya bilir.
Hava axını təlimatı:
Hava girişinin və çıxışının (məsələn, üfüqi soba gövdəsinin yan hava girişi və yuxarı hava çıxışı kimi) mövqeyini dizayn etməklə, reaksiya qazının laminar axını turbulentlik nəticəsində yaranan böyümə qüsurlarını azaltmaq üçün substrat səthi ilə idarə olunur.
Əsas material: yüksək təmizlikli qrafit
Təmizlik tələbləri:karbon tərkibi ≥99,99%, kül tərkibi ≤5ppm, yüksək temperaturda epitaksial təbəqəni çirkləndirmək üçün heç bir çirklənmənin çökməməsini təmin etmək.
Performans üstünlükləri:
Yüksək istilik keçiriciliyi:Otaq temperaturunda istilik keçiriciliyi 150W/(m・K) çatır, bu da mis səviyyəsinə yaxındır və istiliyi tez ötürə bilir.
Aşağı genişlənmə əmsalı:5×10-6/℃ (25-1000℃), silisium karbid substratına (4,2×10) uyğun gəlir-6/℃), termal stress nəticəsində örtüyün çatlamasını azaldır.
Emal dəqiqliyi:Kameranın möhürlənməsini təmin etmək üçün CNC emal vasitəsilə ±0,05 mm ölçülü tolerantlıq əldə edilir.
CVD SiC və CVD TaC-nin fərqli tətbiqləri
| Kaplama | Proses | Müqayisə | Tipik tətbiq |
| CVD-SiC | Temperatur: 1000-1200℃Təzyiq: 10-100 Torr | Sərtlik HV2500, qalınlığı 50-100um, əla oksidləşmə müqaviməti (1600℃-dən aşağı sabit) | Universal epitaksial sobalar, hidrogen və silan kimi adi atmosferlər üçün uyğundur |
| CVD-TaC | Temperatur: 1600-1800℃Təzyiq: 1-10 Torr | Sərtlik HV3000, qalınlığı 20-50um, son dərəcə korroziyaya davamlı (HCl, NH₃ və s. kimi aşındırıcı qazlara davam edə bilər) | Yüksək korroziyalı mühitlər (məsələn, GaN epitaksisi və aşındırma avadanlığı) və ya 2600°C ultra yüksək temperatur tələb edən xüsusi proseslər |
VET Energy elmi-tədqiqat işlərinə və qrafit, silisium karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların istehsalına, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşə karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi materialların işlənməsinə diqqət yetirən peşəkar istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiyada geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Energy üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz zavodu və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə qabaqcıl təmizlik səviyyələri və keyfiyyət;
• Rəqabətli qiymət və Sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünyada çoxsaylı sənaye tərəfdaşlığı;
İstənilən vaxt zavodumuzu və laboratoriyamızı ziyarət etmək üçün sizi salamlayırıq!
