SiC ilə örtülmüş qrafit yarımay hissəsiyarımkeçirici istehsal proseslərində, xüsusən də SiC epitaksial avadanlıqları üçün istifadə olunan əsas komponentdir. Onun struktur dizaynı və material xüsusiyyətləri epitaksial lövhələrin keyfiyyətini və istehsal səmərəliliyini birbaşa müəyyən edir.
Reaksiya kamerasının quruluşu:
Aypara hissəsi iki hissədən, yuxarı və aşağı hissələrdən ibarətdir və qapalı böyümə kamerası yaratmaq üçün bir-birinə sıxılır. Bu kamera silikon karbid substratını (adətən 4H-SiC və ya 6H-SiC) yerləşdirir və qaz axını sahəsini (məsələn, SiH₄, C₃H₈ və H₂ qarışığı) dəqiq idarə etməklə epitaksial təbəqə böyüməsinə nail olur.
Temperatur sahəsinin tənzimlənməsi:
Yüksək təmizlikli qrafit bazası induksiya qızdırıcısı ilə birləşdirildikdə, epitaksial təbəqə qalınlığının tutarlılığını təmin etmək üçün kameranın temperatur vahidliyini (±5°C daxilində) 1500-1700°C yüksək temperaturda saxlaya bilər.
Hava axını təlimatı:
Hava giriş və çıxışının (məsələn, üfüqi soba gövdəsinin yan hava girişi və üst hava çıxışı) yerini dizayn etməklə, turbulentliyin yaratdığı böyümə qüsurlarını azaltmaq üçün reaksiya qazının laminar axını substrat səthindən keçir.
Əsas material: yüksək təmizlikli qrafit
Təmizlik tələbləri:karbon tərkibi ≥99.99%, kül tərkibi ≤5ppm, yüksək temperaturda epitaksial təbəqəni çirkləndirəcək heç bir çirklənmənin çökməməsini təmin etmək üçün.
Performans üstünlükləri:
Yüksək istilik keçiriciliyi:Otaq temperaturunda istilik keçiriciliyi 150 Vt/(m・K)-ə çatır ki, bu da mis səviyyəsinə yaxındır və istiliyi tez bir zamanda ötürə bilir.
Aşağı genişlənmə əmsalı:5×10-6/℃ (25-1000℃), silikon karbid substratına uyğundur (4.2×10-6/℃), istilik gərginliyindən qaynaqlanan örtüyün çatlamasını azaldır.
Emal dəqiqliyi:Kameranın möhürlənməsini təmin etmək üçün CNC emalı vasitəsilə ±0,05 mm ölçülü tolerantlıq əldə edilir.
CVD SiC və CVD TaC-nin fərqli tətbiqləri
| Örtük | Proses | Müqayisə | Tipik tətbiq |
| CVD-SiC | Temperatur: 1000-1200℃ Təzyiq: 10-100 Torr | Sərtlik HV2500, qalınlığı 50-100um, əla oksidləşmə müqaviməti (1600℃-dən aşağı sabitdir) | Hidrogen və silan kimi ənənəvi atmosferlər üçün uyğun universal epitaksial sobalar |
| Ürək-Daş Klinikası | Temperatur: 1600-1800℃ Təzyiq: 1-10 Torr | Sərtlik HV3000, qalınlığı 20-50 um, korroziyaya son dərəcə davamlıdır (HCl, NH₃ və s. kimi korroziyalı qazlara davam gətirə bilir) | Yüksək dərəcədə korroziyaya uğrayan mühitlər (məsələn, GaN epitaksisi və aşındırma avadanlığı) və ya 2600°C ultra yüksək temperatur tələb edən xüsusi proseslər |
VET Energy, qrafit, silikon karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların tədqiqat və inkişaf etdirilməsi, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi material emalı sahələrinə diqqət yetirən peşəkar bir istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Enerjisinin üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz fabriki və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə lider olan təmizlik səviyyələri və keyfiyyəti;
• Rəqabətli qiymət və sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünya üzrə çoxsaylı sənaye tərəfdaşlıqları;
İstənilən vaxt fabrikimizi və laboratoriyamızı ziyarət etməyə xoş gəlmisiniz!
-
SiC Crys üçün yüksək keyfiyyətli tantal karbid borusu ...
-
Xüsusi TaC örtüklü qrafit çubuğu
-
SiC Kristal G üçün Tantal Karbidlə Örtülmüş Borular ...
-
TaC tantal karbid örtüyü ilə xüsusi hazırlanmış hissələr
-
Laboratoriya üçün xüsusi hazırlanmış şüşə karbon çubuğu ...
-
Gofret üçün tantal karbidlə örtülmüş zəbt