SiC ئېپىتاكسىيىسى ئۈچۈن SiC قاپلانغان گرافىت يېرىم ئاي قىسمى ۋە قۇراشتۇرۇش

قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:

VET ئېنېرگىيە شىركىتى كرېمنىي كاربىد ئېپىتاكسىيال ئوچاقلىرىنىڭ يادرولۇق زاپچاسلىرىنى ئىشلەپچىقىرىدىغان كەسپىي كارخانا ۋە تەمىنلىگۈچى. بىزنىڭ يېرىم ئاي قۇرۇلمىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىتنى ئىلغار CVD قاپلاش تېخنىكىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈپ ئىشلىتىدۇ. ئۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ۋە يۇقىرى دەرىجىدە چىرىشچان ئېپىتاكسىيال مۇھىت ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت زاپچاسقا ئەلا سۈپەتلىك يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش (>1600℃) ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقىنى بېرىپ، ئىسسىقلىق مەيدانىنىڭ بىردەكلىكىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ؛ CVD قاپلاش CVD تېخنىكىسى ئارقىلىق يۈزىدە زىچ قوغداش قەۋىتى ھاسىل قىلىپ، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ۋە ئويۇشقا قارشى تۇرۇش خۇسۇسىيىتىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ياخشىلايدۇ ھەمدە ئىشلىتىش ئۆمرىنى 3 ھەسسىدىن ئارتۇق ئۇزارتىدۇ.

 

 

 

 

 


  • ماتېرىيال:يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت
  • داۋالاش:CVD-SiC ياكى CVD-TaC قاپلاش
  • خاسلاشتۇرۇش:بار
  • مەھسۇلات تەپسىلاتلىرى

    مەھسۇلات بەلگىلىرى

    SiC قاپلانغان گرافىت يېرىم ئاي قىسمىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدا، بولۇپمۇ SiC ئېپىتاكسىيال ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم بىر تەركىب. ئۇنىڭ قۇرۇلما لايىھىسى ۋە ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى ئېپىتاكسىيال ۋاپپېرلارنىڭ سۈپىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ.

    رېئاكسىيە كامېراسىنىڭ قۇرۇلۇشى:
    يېرىم ئاي قىسمى ئىككى قىسىمدىن تەركىب تاپقان، ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى قىسىملار بىر-بىرىگە چىڭ باغلىنىپ يېپىق ئۆسۈش كامېراسىنى ھاسىل قىلىدۇ، بۇ كامېرا كرېمنىي كاربىد ئاساسىنى (ئادەتتە 4H-SiC ياكى 6H-SiC) سىغدۇرىدۇ ۋە گاز ئېقىمى مەيدانىنى (مەسىلەن، SiH₄، C₃H₈ ۋە H₂ ئارىلاشمىسى) ئېنىق كونترول قىلىش ئارقىلىق ئېپىتاكسىيال قەۋەت ئۆسۈشىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
    تېمپېراتۇرا مەيدانىنى تەڭشەش:
    يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت ئاساسى ئىندۇكسىيەلىك قىزىتىش سىم بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، 1500-1700 سېلسىيە گرادۇسلۇق يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا كامېرا تېمپېراتۇرىسىنىڭ بىردەكلىكىنى (±5 سېلسىيە گرادۇس ئىچىدە) ساقلاپ، ئېپىتاكسىيە قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقىنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
    ھاۋا ئېقىمى يېتەكچىلىكى:
    ھاۋا كىرىش ئېغىزى ۋە چىقىش ئېغىزىنىڭ ئورنىنى لايىھىلەش ئارقىلىق (مەسىلەن، گورىزونتال ئوچاق گەۋدىسىنىڭ يان تەرەپ ھاۋا كىرىش ئېغىزى ۋە ئۈستىدىكى ھاۋا چىقىش ئېغىزى)، رېئاكسىيە گازىنىڭ لامىنار ئېقىمى ئاساسىي قاتلام يۈزى ئارقىلىق يېتەكلىنىپ، قالايمىقانچىلىقتىن كېلىپ چىققان ئۆسۈش كەمتۈكلۈكلىرىنى ئازايتىدۇ.

    ئاساسىي ماتېرىيال: يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت
    پاكىزلىق تەلىپى:كاربون مىقدارى ≥99.99%، كۈل مىقدارى ≤5ppm، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئېپىتاكسىيال قەۋەتنى بۇلغىغان ھېچقانداق ئارىلاشمىلارنىڭ چۆكمە بولماسلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش.
    ئىقتىدار ئەۋزەللىكلىرى:
    يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىكى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى 150W/(m・K) غا يېتىدۇ، بۇ مىسنىڭ سەۋىيەسىگە يېقىن بولۇپ، ئىسسىقلىقنى تېزلا ئۆتكۈزەلەيدۇ.
    تۆۋەن كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى:5×10-6/℃ (25-1000℃)، كرېمنىي كاربىد ئاساسىغا ماس كېلىدۇ (4.2×10-6/℃)، ئىسسىقلىق بېسىمى سەۋەبىدىن يۈز بەرگەن قاپلامنىڭ يېرىلىشىنى ئازايتىدۇ.
    بىر تەرەپ قىلىش توغرىلىقى:CNC پىششىقلاپ ئىشلەش ئارقىلىق كامېرنىڭ پېچەتلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ±0.05mm ئۆلچەمدىكى بەرداشلىق بېرىش ئىقتىدارىغا ئېرىشىلىدۇ.

    CVD SiC ۋە CVD TaC نىڭ پەرقلىق قوللىنىلىشى

    قاپلاش

    جەريان

    سېلىشتۇرۇش

    ئادەتتىكى قوللىنىش

    CVD-SiC تېمپېراتۇرا: 1000-1200℃ بېسىم: 10-100 Torr قاتتىقلىقى HV2500، قېلىنلىقى 50-100um، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى (1600℃ دىن تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا مۇقىم) ئۇنىۋېرسال ئېپىتاكسىيال ئوچاقلار، ھىدروگېن ۋە سىلان قاتارلىق ئادەتتىكى ئاتموسفېرالارغا ماس كېلىدۇ
    CVD-TaC تېمپېراتۇرا: 1600-1800℃ بېسىم: 1-10 Torr قاتتىقلىقى HV3000، قېلىنلىقى 20-50um، چىرىشكە ئىنتايىن چىداملىق (HCl، NH₃ قاتارلىق چىرىش گازلىرىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ) يۇقىرى دەرىجىدە چىرىشچان مۇھىتلار (مەسىلەن، GaN ئېپىتاكسىيەسى ۋە ئويۇش ئۈسكۈنىلىرى)، ياكى 2600 سېلسىيە گرادۇسلۇق ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى تەلەپ قىلىدىغان ئالاھىدە جەريانلار

     

    يېرىم ئاي قىسىملىرى (1)

    يېرىم ئاي قىسىملىرى (2)

    VET ئېنېرگىيە گرافىتى1

    2

    3

    VET Energy شىركىتى گرافىت، كرېمنىي كاربىد، كۋارتس قاتارلىق يۇقىرى دەرىجىلىك ئىلغار ماتېرىياللارنى تەتقىق قىلىش ۋە ئىشلەپچىقىرىشقا، شۇنداقلا SiC قاپلاش، TaC قاپلاش، ئەينەك كاربون قاپلاش، پىرولىتلىق كاربون قاپلاش قاتارلىق ماتېرىياللارنى بىر تەرەپ قىلىشقا ئەھمىيەت بېرىدىغان كەسپىي ئىشلەپچىقارغۇچى. بۇ مەھسۇلاتلار فوتوۋولت، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، يېڭى ئېنېرگىيە، مېتاللورگىيە قاتارلىق ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ.

    بىزنىڭ تېخنىكىلىق گۇرۇپپىمىز دۆلەت ئىچىدىكى ئالدىنقى قاتاردىكى تەتقىقات ئاپپاراتلىرىدىن كەلگەن بولۇپ، سىز ئۈچۈن تېخىمۇ كەسپىي ماتېرىيال ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ.

    VET ئېنېرگىيەسىنىڭ ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
    • ئۆزىنىڭ زاۋۇتى ۋە كەسپىي تەجرىبىخانىسى؛
    • سانائەتتە ئالدىنقى قاتاردا تۇرىدىغان ساپلىق دەرىجىسى ۋە سۈپىتى؛
    • رىقابەت كۈچىگە ئىگە باھا ۋە تېز يەتكۈزۈش ۋاقتى؛
    • دۇنيا مىقياسىدا كۆپ خىل كەسىپ ھەمكارلىقى؛

    سىزنى ھەر ۋاقىت زاۋۇتىمىز ۋە تەجرىبىخانىمىزغا كېلىشكە قارشى ئالىمىز!

    公司客户

     


  • ئالدىنقىسى:
  • كېيىنكىسى:

  • WhatsApp توردا پاراڭلىشىش!