SiC قاپلانغان گرافىت يېرىم ئاي قىسمىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدا، بولۇپمۇ SiC ئېپىتاكسىيال ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم بىر تەركىب. ئۇنىڭ قۇرۇلما لايىھىسى ۋە ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى ئېپىتاكسىيال ۋاپپېرلارنىڭ سۈپىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ.
رېئاكسىيە كامېراسىنىڭ قۇرۇلۇشى:
يېرىم ئاي قىسمى ئىككى قىسىمدىن تەركىب تاپقان، ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى قىسىملار بىر-بىرىگە چىڭ باغلىنىپ يېپىق ئۆسۈش كامېراسىنى ھاسىل قىلىدۇ، بۇ كامېرا كرېمنىي كاربىد ئاساسىنى (ئادەتتە 4H-SiC ياكى 6H-SiC) سىغدۇرىدۇ ۋە گاز ئېقىمى مەيدانىنى (مەسىلەن، SiH₄، C₃H₈ ۋە H₂ ئارىلاشمىسى) ئېنىق كونترول قىلىش ئارقىلىق ئېپىتاكسىيال قەۋەت ئۆسۈشىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
تېمپېراتۇرا مەيدانىنى تەڭشەش:
يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت ئاساسى ئىندۇكسىيەلىك قىزىتىش سىم بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، 1500-1700 سېلسىيە گرادۇسلۇق يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا كامېرا تېمپېراتۇرىسىنىڭ بىردەكلىكىنى (±5 سېلسىيە گرادۇس ئىچىدە) ساقلاپ، ئېپىتاكسىيە قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقىنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
ھاۋا ئېقىمى يېتەكچىلىكى:
ھاۋا كىرىش ئېغىزى ۋە چىقىش ئېغىزىنىڭ ئورنىنى لايىھىلەش ئارقىلىق (مەسىلەن، گورىزونتال ئوچاق گەۋدىسىنىڭ يان تەرەپ ھاۋا كىرىش ئېغىزى ۋە ئۈستىدىكى ھاۋا چىقىش ئېغىزى)، رېئاكسىيە گازىنىڭ لامىنار ئېقىمى ئاساسىي قاتلام يۈزى ئارقىلىق يېتەكلىنىپ، قالايمىقانچىلىقتىن كېلىپ چىققان ئۆسۈش كەمتۈكلۈكلىرىنى ئازايتىدۇ.
ئاساسىي ماتېرىيال: يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت
پاكىزلىق تەلىپى:كاربون مىقدارى ≥99.99%، كۈل مىقدارى ≤5ppm، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئېپىتاكسىيال قەۋەتنى بۇلغىغان ھېچقانداق ئارىلاشمىلارنىڭ چۆكمە بولماسلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش.
ئىقتىدار ئەۋزەللىكلىرى:
يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىكى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى 150W/(m・K) غا يېتىدۇ، بۇ مىسنىڭ سەۋىيەسىگە يېقىن بولۇپ، ئىسسىقلىقنى تېزلا ئۆتكۈزەلەيدۇ.
تۆۋەن كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى:5×10-6/℃ (25-1000℃)، كرېمنىي كاربىد ئاساسىغا ماس كېلىدۇ (4.2×10-6/℃)، ئىسسىقلىق بېسىمى سەۋەبىدىن يۈز بەرگەن قاپلامنىڭ يېرىلىشىنى ئازايتىدۇ.
بىر تەرەپ قىلىش توغرىلىقى:CNC پىششىقلاپ ئىشلەش ئارقىلىق كامېرنىڭ پېچەتلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ±0.05mm ئۆلچەمدىكى بەرداشلىق بېرىش ئىقتىدارىغا ئېرىشىلىدۇ.
CVD SiC ۋە CVD TaC نىڭ پەرقلىق قوللىنىلىشى
| قاپلاش | جەريان | سېلىشتۇرۇش | ئادەتتىكى قوللىنىش |
| CVD-SiC | تېمپېراتۇرا: 1000-1200℃ بېسىم: 10-100 Torr | قاتتىقلىقى HV2500، قېلىنلىقى 50-100um، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى (1600℃ دىن تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا مۇقىم) | ئۇنىۋېرسال ئېپىتاكسىيال ئوچاقلار، ھىدروگېن ۋە سىلان قاتارلىق ئادەتتىكى ئاتموسفېرالارغا ماس كېلىدۇ |
| CVD-TaC | تېمپېراتۇرا: 1600-1800℃ بېسىم: 1-10 Torr | قاتتىقلىقى HV3000، قېلىنلىقى 20-50um، چىرىشكە ئىنتايىن چىداملىق (HCl، NH₃ قاتارلىق چىرىش گازلىرىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ) | يۇقىرى دەرىجىدە چىرىشچان مۇھىتلار (مەسىلەن، GaN ئېپىتاكسىيەسى ۋە ئويۇش ئۈسكۈنىلىرى)، ياكى 2600 سېلسىيە گرادۇسلۇق ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى تەلەپ قىلىدىغان ئالاھىدە جەريانلار |
VET Energy شىركىتى گرافىت، كرېمنىي كاربىد، كۋارتس قاتارلىق يۇقىرى دەرىجىلىك ئىلغار ماتېرىياللارنى تەتقىق قىلىش ۋە ئىشلەپچىقىرىشقا، شۇنداقلا SiC قاپلاش، TaC قاپلاش، ئەينەك كاربون قاپلاش، پىرولىتلىق كاربون قاپلاش قاتارلىق ماتېرىياللارنى بىر تەرەپ قىلىشقا ئەھمىيەت بېرىدىغان كەسپىي ئىشلەپچىقارغۇچى. بۇ مەھسۇلاتلار فوتوۋولت، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، يېڭى ئېنېرگىيە، مېتاللورگىيە قاتارلىق ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
بىزنىڭ تېخنىكىلىق گۇرۇپپىمىز دۆلەت ئىچىدىكى ئالدىنقى قاتاردىكى تەتقىقات ئاپپاراتلىرىدىن كەلگەن بولۇپ، سىز ئۈچۈن تېخىمۇ كەسپىي ماتېرىيال ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ.
VET ئېنېرگىيەسىنىڭ ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
• ئۆزىنىڭ زاۋۇتى ۋە كەسپىي تەجرىبىخانىسى؛
• سانائەتتە ئالدىنقى قاتاردا تۇرىدىغان ساپلىق دەرىجىسى ۋە سۈپىتى؛
• رىقابەت كۈچىگە ئىگە باھا ۋە تېز يەتكۈزۈش ۋاقتى؛
• دۇنيا مىقياسىدا كۆپ خىل كەسىپ ھەمكارلىقى؛
سىزنى ھەر ۋاقىت زاۋۇتىمىز ۋە تەجرىبىخانىمىزغا كېلىشكە قارشى ئالىمىز!
-
SiC Crys ئۈچۈن يۇقىرى سۈپەتلىك تانتال كاربىد تۇرۇبىسى ...
-
خاسلاشتۇرۇلغان TaC قاپلانغان گرافىت قېپى
-
SiC كرىستال G ئۈچۈن تانتال كاربىد بىلەن قاپلانغان تۇرۇبا ...
-
TaC تانتال كاربىد قاپلىمى بىلەن خاسلاشتۇرۇلغان زاپچاسلار
-
تەجرىبىخانا ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇلغان ئەينەك كاربونلۇق تىرېلكا ...
-
تانتال كاربىد ۋافېر ئۈچۈن سىرلانغان سۈمۈرگۈچ










