Bagian Halfmoon Grafit Dilapis SiCmangrupikeun komponén konci anu dianggo dina prosés manufaktur semikonduktor, khususna pikeun peralatan epitaksial SiC. Desain struktural sareng sipat bahanna sacara langsung nangtukeun kualitas sareng efisiensi produksi wafer epitaksial.
Konstruksi ruang réaksi:
Bagian bulan sabit diwangun ku dua bagian, bagian luhur sareng handap, anu dihijikeun pikeun ngabentuk rohangan kamekaran anu katutup, anu nampung substrat silikon karbida (biasana 4H-SiC atanapi 6H-SiC) sareng ngahontal kamekaran lapisan epitaksial ku cara ngontrol médan aliran gas sacara tepat (sapertos campuran SiH₄, C₃H₈, sareng H₂).
Pangaturan widang suhu:
Dasar grafit anu mibanda kamurnian luhur anu digabungkeun sareng koil pemanasan induksi tiasa ngajaga keseragaman suhu ruangan (dina ±5°C) dina suhu anu luhur 1500-1700°C pikeun mastikeun konsistensi ketebalan lapisan epitaksial.
Pituduh aliran hawa:
Ku cara ngarancang posisi asupan sareng kaluarna hawa (sapertos asupan hawa sisi sareng kaluarna hawa luhur awak tungku horizontal), aliran laminar gas réaksi diarahkeun ngaliwatan permukaan substrat pikeun ngirangan cacad kamekaran anu disababkeun ku turbulénsi.
Bahan dasar: grafit kamurnian luhur
Sarat kamurnian:eusi karbon ≥99,99%, eusi lebu ≤5ppm, pikeun mastikeun yén teu aya pangotor anu diendapkeun pikeun ngotoran lapisan epitaksial dina suhu anu luhur.
Kaunggulan kinerja:
Konduktivitas termal anu luhur:Konduktivitas termal dina suhu kamar ngahontal 150W/(m・K), anu ampir sarua jeung tingkat tambaga sareng tiasa gancang mindahkeun panas.
Koefisien ékspansi handap:5×10-6/℃ (25-1000℃), cocog jeung substrat silikon karbida (4.2×10-6/℃), ngurangan retakan palapis anu disababkeun ku setrés termal.
Akurasi pamrosésan:Toleransi diménsi ±0,05mm kahontal ngaliwatan mesin CNC pikeun mastikeun panyegelan ruangan éta.
Aplikasi anu béda tina CVD SiC sareng CVD TaC
| Palapis | Prosés | Babandingan | Aplikasi has |
| CVD-SiC | Suhu: 1000-1200℃ Tekanan: 10-100 Torr | Karasa HV2500, kandelna 50-100um, résistansi oksidasi anu saé pisan (stabil di handap 1600 ℃) | Tungku epitaksial universal, cocog pikeun atmosfir konvensional sapertos hidrogén sareng silana |
| CVD-TaC | Suhu: 1600-1800℃ Tekanan: 1-10 Torr | Karasa HV3000, kandelna 20-50um, tahan pisan kana korosi (tiasa nahan gas korosif sapertos HCl, NH₃, jsb.) | Lingkungan anu korosif pisan (sapertos epitaksi sareng alat ukir GaN), atanapi prosés khusus anu meryogikeun suhu anu luhur pisan nyaéta 2600°C |
VET Energy nyaéta produsén profésional anu fokus kana R&D sareng produksi bahan canggih kelas luhur sapertos grafit, silikon karbida, kuarsa, ogé perlakuan bahan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb. Produkna seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.
Kaunggulan VET Energy kalebet:
• Pabrik sorangan sareng laboratorium profésional;
• Tingkat kamurnian sareng kualitas anu unggul dina industri;
• Hargana kompetitif & Waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnership industri di sakumna dunya;
Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!
