سي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ هاف مون پارٽسيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عملن ۾ استعمال ٿيندڙ هڪ اهم جزو آهي، خاص طور تي SiC ايپيٽڪسيل سامان لاءِ. ان جي ساخت جي ڊيزائن ۽ مادي خاصيتون سڌي طرح ايپيٽڪسيل ويفرز جي معيار ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي جو تعين ڪن ٿيون.
رد عمل چيمبر جي تعمير:
اڌ چنڊ وارو حصو ٻن حصن تي مشتمل آهي، مٿيون ۽ هيٺيون حصا، جيڪي هڪ بند واڌ ويجهه چيمبر ٺاهڻ لاءِ گڏ ٿيل آهن، جيڪو سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ (عام طور تي 4H-SiC يا 6H-SiC) کي ترتيب ڏئي ٿو ۽ گئس جي وهڪري جي ميدان کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪندي ايپيٽيڪسيل پرت جي واڌ حاصل ڪري ٿو (جهڙوڪ SiH₄، C₃H₈، ۽ H₂ جو مرکب).
گرمي پد جي ميدان جي ضابطي:
انڊڪشن هيٽنگ ڪوئل سان گڏ اعليٰ پاڪيزگي وارو گريفائيٽ بيس 1500-1700 °C جي اعليٰ درجه حرارت تي چيمبر جي گرمي پد جي هڪجهڙائي (±5 °C جي اندر) برقرار رکي سگهي ٿو ته جيئن ايپيٽيڪسيل پرت جي ٿلهي جي تسلسل کي يقيني بڻائي سگهجي.
هوا جي وهڪري جي هدايت:
ايئر انليٽ ۽ آئوٽ ليٽ (جهڙوڪ افقي فرنس باڊي جو سائڊ ايئر انليٽ ۽ ٽاپ ايئر آئوٽ ليٽ) جي پوزيشن کي ڊزائين ڪرڻ سان، رد عمل گيس ليمينار وهڪري کي سبسٽريٽ جي مٿاڇري ذريعي هدايت ڪئي ويندي آهي ته جيئن ٽربولنس جي ڪري پيدا ٿيندڙ واڌ جي خرابين کي گهٽائي سگهجي.
بنيادي مواد: اعليٰ پاڪائي وارو گريفائٽ
پاڪائي جون گهرجون:ڪاربان جو مقدار ≥99.99%، راھ جو مقدار ≤5ppm، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته ڪا به نجاست تيز گرمي پد تي ايپيٽيڪسيل پرت کي آلوده ڪرڻ لاءِ نه نڪرندي آهي.
ڪارڪردگي جا فائدا:
اعليٰ حرارتي چالکائي:ڪمري جي حرارت تي حرارتي چالکائي 150W/(m・K) تائين پهچي ٿي، جيڪا ٽامي جي سطح جي ويجهو آهي ۽ جلدي گرمي منتقل ڪري سگهي ٿي.
گھٽ توسيع جي گنجائش:5 × 10-6/ ℃ (25-1000 ℃)، سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ سان ملندڙ (4.2 × 10-6/℃)، حرارتي دٻاءُ جي ڪري ڪوٽنگ جي ڀڃڻ کي گهٽائڻ.
پروسيسنگ جي درستگي:چيمبر جي سيلنگ کي يقيني بڻائڻ لاءِ سي اين سي مشيننگ ذريعي ±0.05 ملي ميٽر جي طول و عرض رواداري حاصل ڪئي ويندي آهي.
سي وي ڊي سي آءِ سي ۽ سي وي ڊي ٽي اي سي جا مختلف ايپليڪيشن
| ڪوٽنگ | عمل | مقابلو | عام استعمال |
| سي وي ڊي-سي آءِ سي | گرمي پد: 1000-1200℃ دٻاءُ: 10-100 ٽور | سختي HV2500، ٿولهه 50-100um، بهترين آڪسائيڊيشن مزاحمت (1600 ℃ کان هيٺ مستحڪم) | عالمگير ايپيٽيڪسيل فرنس، روايتي ماحول جهڙوڪ هائيڊروجن ۽ سائلين لاءِ موزون |
| سي وي ڊي-ٽي اي سي | گرمي پد: 1600-1800 ℃ دٻاءُ: 1-10 ٽور | سختي HV3000، ٿولهه 20-50um، انتهائي سنکنرن جي مزاحمتي (HCl، NH₃، وغيره جهڙين سنکنرن گيسن کي برداشت ڪري سگهي ٿي) | انتهائي خراب ڪندڙ ماحول (جهڙوڪ GaN ايپيٽيڪسي ۽ ايچنگ سامان)، يا خاص عمل جن کي 2600 ° C جي انتهائي تيز گرمي پد جي ضرورت هوندي آهي. |
وي اي ٽي انرجي هڪ پيشيور ٺاهيندڙ آهي جيڪو آر اينڊ ڊي ۽ اعليٰ درجي جي جديد مواد جهڙوڪ گريفائٽ، سلڪون ڪاربائيڊ، ڪوارٽز جي پيداوار تي ڌيان ڏئي ٿو، انهي سان گڏ مواد جي علاج جهڙوڪ سي آءِ سي ڪوٽنگ، ٽي اي سي ڪوٽنگ، شيشي ڪاربن ڪوٽنگ، پائروليٽڪ ڪاربن ڪوٽنگ، وغيره. پراڊڪٽس فوٽووولٽڪ، سيمي ڪنڊڪٽر، نئين توانائي، ڌاتو سازي وغيره ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿين ٿيون.
اسان جي ٽيڪنيڪل ٽيم اعليٰ ملڪي تحقيقي ادارن مان اچي ٿي، جيڪا توهان لاءِ وڌيڪ پيشه ورانه مواد حل فراهم ڪري سگهي ٿي.
وي اي ٽي انرجي جي فائدن ۾ شامل آهن:
• پنهنجي ڪارخاني ۽ پيشيور ليبارٽري؛
• صنعت جي معروف پاڪائي جي سطح ۽ معيار؛
• مقابلي واري قيمت ۽ تيز ترسيل وقت؛
• دنيا ۾ گھڻن صنعتي ڀائيواري؛
اسان توهان کي ڪنهن به وقت اسان جي ڪارخاني ۽ ليبارٽري ڏسڻ لاءِ ڀليڪار ڪريون ٿا!
