ಸೆರಾಮಿಕ್ ವೇಫರ್ ಹೀಟರ್ AlN ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಹೀಟಿಂಗ್ ಎಲಿಮೆಂಟ್
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಲಿಂಕ್ಗಳಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಬಿಸಿ ಮಾಡಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿವೆ, ಏಕೆಂದರೆ ತಾಪಮಾನದ ಏಕರೂಪತೆಯು ಉತ್ಪನ್ನದ ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ಬಹಳ ಮುಖ್ಯವಾದ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪನ ಘಟಕಗಳು ಅನಿವಾರ್ಯವಾಗಿವೆ.
ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀಟರ್ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ನೊಂದಿಗೆ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ. ಅವು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಒಯ್ಯುವುದಲ್ಲದೆ, ವೇಫರ್ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಪಡೆಯುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಅವು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ!
ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀಟರ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬೇಸ್ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಹಿಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಬೆಂಬಲ ದೇಹವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಪ್ರತಿರೋಧ ಅಂಶ (ತಾಪನ ಪದರ) ಜೊತೆಗೆ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬೇಸ್ ಒಳಗೆ ಅಥವಾ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ರೇಡಿಯೋ ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ಗಳು (RF ಪದರ) ಸಹ ಇವೆ. ತ್ವರಿತ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಬೇಸ್ನ ದಪ್ಪವು ತೆಳುವಾಗಿರಬೇಕು, ಆದರೆ ತುಂಬಾ ತೆಳುವಾಗಿರುವುದು ಬಿಗಿತವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀಟರ್ನ ಆಧಾರವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೇಸ್ನಂತೆಯೇ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಅನಿಲಗಳ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಂದ ಟರ್ಮಿನಲ್ಗಳು ಮತ್ತು ತಂತಿಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ಹೀಟರ್ ಶಾಫ್ಟ್ ಜಂಟಿ ಕೆಳಭಾಗದ ವಿಶಿಷ್ಟ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಹೀಟರ್ನ ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬೆಂಬಲವು ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆ ಅನಿಲ ಒಳಹರಿವು ಮತ್ತು ಔಟ್ಲೆಟ್ ಪೈಪ್ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ. ಬೇಸ್ ಮತ್ತು ಬೆಂಬಲವನ್ನು ಬಂಧದ ಪದರದೊಂದಿಗೆ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಬಂಧಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀಟರ್ ಅನ್ನು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (AlN), ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (Si3N4), ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al2O3) ನಂತಹ ಸೆರಾಮಿಕ್ಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಬಹುದು. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀಟರ್ಗಳಿಗೆ AlN ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ. ಇತರ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, VET ಎನರ್ಜಿಯ AlN ಸೆರಾಮಿಕ್ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
(1) ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ;
(2) ಅರೆವಾಹಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ;
(3) ಉತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಸಮಗ್ರ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಬೆರಿಲಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ಗೆ ಸಮಾನವಾಗಿವೆ;
(4) ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸಮಗ್ರ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ನಷ್ಟ;
(5) ವಿಷಕಾರಿಯಲ್ಲದ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಿ.
ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳ ಡೇಟಾ ಶೀಟ್
| ಐಟಂ | 95% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ | 99% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ | ಜಿರ್ಕೋನಿಯಾ | ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ | ಸಿಲಿಕಾನ್Nಇಟ್ರೈಡ್ | ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂNಇಟ್ರೈಡ್ |
| ಬಣ್ಣ | ಬಿಳಿ | ತಿಳಿ ಹಳದಿ | ಬಿಳಿ | ಕಪ್ಪು | ಕಪ್ಪು | ಬೂದು |
| ಸಾಂದ್ರತೆ (ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3) | 3.7 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 | 3.9 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 | 6.02 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 | 3.2 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 | 3.25 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 | 3.2 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 |
| ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ಗಡಸುತನ (HV) | 23.7 (23.7) | 23.7 (23.7) | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ (MPa) | 300 ಎಂಪಿಎ | 400 ಎಂಪಿಎ | 1100 ಎಂಪಿಎ | 450 ಎಂಪಿಎ | 800 ಎಂಪಿಎ | 310 ಎಂಪಿಎ |
| ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ (MPa) | 2500 ಎಂಪಿಎ | 2800 ಎಂಪಿಎ | 3600 ಎಂಪಿಎ | 2000 ಎಂಪಿಎ | 2600 ಎಂಪಿಎ | - |
| ಯಂಗ್ನ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕತ್ವದ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 300ಜಿಪಿಎ | 300ಜಿಪಿಎ | 320 ಜಿಪಿಎ | 450ಜಿಪಿಎ | 290 ಜಿಪಿಎ | 310~350ಜಿಪಿಎ |
| ವಿಷ ಅನುಪಾತ | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | 20W/ಮೀ°C | 32W/ಮೀ°C | 3W/ಮೀ°C | 50W/ಮೀ°C | 25W/ಮೀ°C | 150W/ಮೀ°C |
| ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿ | 14KV/ಮಿಮೀ | 14KV/ಮಿಮೀ | 14KV/ಮಿಮೀ | 14KV/ಮಿಮೀ | 14KV/ಮಿಮೀ | 14KV/ಮಿಮೀ |
| ವಾಲ್ಯೂಮ್ ರೆಸಿಸ್ಟಿವಿಟಿ(25℃) | >1014Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. | >1014Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. | >1014Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. | >105Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. | >1014Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. | >1014Ω·ಸೆಂ.ಮೀ. |
VET ಎನರ್ಜಿ ಒಂದು ವೃತ್ತಿಪರ ತಯಾರಕರಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ SiC ಲೇಪನ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ ಮುಂತಾದ ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಹ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ, ನಿಮಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
VET ಶಕ್ತಿಯ ಅನುಕೂಲಗಳು ಸೇರಿವೆ:
• ಸ್ವಂತ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ವೃತ್ತಿಪರ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ;
• ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ;
• ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ಬೆಲೆ & ವೇಗದ ವಿತರಣಾ ಸಮಯ;
• ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಬಹು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಗಳು;
ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯವನ್ನು ಯಾವುದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೇಟಿ ನೀಡಲು ನಾವು ನಿಮ್ಮನ್ನು ಸ್ವಾಗತಿಸುತ್ತೇವೆ!
