Fanafanana Wafer Seramika AlN Alumina Singa Fanafanana

Fanafanana Wafer Seramika AlN Alumina Singa Fanafanana
Amin'ny famokarana semiconductor, ny wafers dia mila karakaraina amin'ny dingana isan-karazany, toy ny fametrahana sarimihetsika manify, ny etching, sns. Amin'ireny rohy ireny, ny wafers dia mila hafanaina amin'ny mari-pana iray, ary misy fepetra henjana momba ny mari-pana, satria ny fitoviana amin'ny mari-pana dia misy fiantraikany lehibe amin'ny vokatra azo, ary tena ilaina ny singa fanafanana.

Fanafanana seramikadia ampiharina mivantana amin'ny efitrano fanodinana ary mifandray mivantana amin'ny wafer. Tsy vitan'ny hoe mitondra ny wafer fotsiny izy ireo, fa miantoka ihany koa fa mahazo mari-pana marin-toerana sy mitovy ny wafer. Singa fototra amin'ny fitaovana fametrahana sarimihetsika manify semiconductor izy ireo!

Ny fanafanana seramika dia misy fotony seramika izay manohana ny wafer sy vatana fanohanana boribory eo amin'ny ilany aoriana izay manohana azy. Ankoatra ny singa fanoherana (sosona fanafanana) ho an'ny fanafanana, dia misy ihany koa ny elektroda radiofrequency (sosona RF) ao anatiny na eo amin'ny velaran'ny fotony seramika. Mba hahazoana fanafanana sy fampangatsiahana haingana, dia tokony ho manify ny hatevin'ny fotony seramika, fa ny manify loatra dia hampihena ny hamafiny ihany koa.

Ny fanohanana ny fanafanana seramika dia matetika vita amin'ny seramika izay mitovy amin'ny an'ny fotony ny coefficient expansion thermal. Ny fanafanana dia mampiasa rafitra miavaka amin'ny fanambanin'ny shaft mba hiarovana ny terminal sy ny tariby amin'ny fiantraikan'ny plasma sy ny entona simika manimba. Ny fanohanana dia misy fantsona fidirana sy fivoahan'ny entona famindrana hafanana mba hahazoana antoka fa mitovy ny mari-pana ao amin'ny fanafanana. Ny fotony sy ny fanohanana dia mifamatotra ara-simika amin'ny alàlan'ny sosona mifamatotra.

Azo atao amin'ny seramika toy ny aliminioma nitrida (AlN), silikônina nitrida (Si3N4), ary alumina (Al2O3) ny fanafanana seramika. Anisan'izany, ny AlN no safidy tsara indrindra ho an'ny fanafanana seramika. Raha ampitahaina amin'ny fitaovana hafa, ny seramika AlN an'ny VET Energy dia manana ireto toetra manaraka ireto:
(1) Fitondran-tena mafana tsara;
(2) Mifanaraka amin'ny fitaovana silikônina semiconductor ny coefficient expansion mafana;
(3) Tsara kokoa noho ny beryllium oxide ary mitovy amin'ny aluminium oxide ny toetra mekanika tsara, ny fanoherana ny fikikisana tsara, ary ny toetra mekanika feno;
(4) Toetra elektrika feno tsara, insulation elektrika tsara ary fatiantoka dielektrika ambany;
(5) Tsy misy poizina ary tsy manimba ny tontolo iainana.