Seramika Wafer Heater AlN Alumina Heating Element
Ao amin'ny famokarana semiconductor, ny wafers dia mila karakaraina amin'ny dingana isan-karazany, toy ny fametrahana sarimihetsika manify, etching, sns. Ao anatin'ireo rohy ireo, ny wafers dia mila hafanana amin'ny mari-pana sasany, ary misy fepetra hentitra amin'ny mari-pana, satria ny fitovian'ny mari-pana dia misy fiantraikany lehibe amin'ny vokatra vokatra, ary ny singa fanafanana dia tsy maintsy ilaina.
Heater seramikadia ampiharina mivantana amin'ny efitra fizotry ny dingana ary mifandray mivantana amin'ny wafer. Tsy vitan'ny hoe mitondra ny wafer fotsiny izy ireo, fa miantoka ihany koa fa ny wafer dia mahazo mari-pana marin-toerana sy fanamiana. Izy ireo dia singa manan-danja amin'ny fitaovana fametrahana sarimihetsika manify semiconductor!
Ny heater seramika dia misy fototra seramika izay manohana ny wafer ary vatana fanohanana cylindrical amin'ny lafiny aoriana izay manohana azy. Ho fanampin'ny singa fanoherana (sosona fanamafisam-peo) ho an'ny fanafanana, misy ihany koa ny electrodes onjam-peo (sosona RF) ao anatiny na eo ambonin'ny fototry ny seramika. Mba hahatratrarana haingana ny hafanana sy ny fampangatsiahana, ny hatevin'ny fototra seramika dia tokony ho manify, fa ny manify loatra dia hampihena ny henjana.
Ny fanohanan'ny heater seramika amin'ny ankapobeny dia vita amin'ny fitaovana seramika misy coefficient fanitarana mafana mitovy amin'ny an'ny fototra. Ny heater dia mampiasa rafitra tsy manam-paharoa amin'ny tendrony miaraka amin'ny shaft mba hiarovana ny terminal sy ny tariby amin'ny vokatry ny plasma sy ny gazy simika manimba. Ny fanohanana dia fitaovana amin'ny fidiran'ny entona famindrana hafanana sy ny fantsona fivoahana mba hahazoana antoka ny mari-pana amin'ny heater. Ny fototra sy ny fanohanana dia mifatotra simika amin'ny sosona fatorana.
Ny heater seramika dia azo atao amin'ny seramika toy ny aluminium nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), ary alumina (Al2O3). Anisan'izany, AlN no safidy tsara indrindra ho an'ny heaters seramika. Raha ampitahaina amin'ny fitaovana hafa, ny seramika AlN an'ny VET Energy dia manana ireto toetra manaraka ireto:
(1) conductivity mafana tsara;
(2) Mifanaraka amin'ny fanitarana mafana amin'ny fitaovana silisiôma semiconductor;
(3) Ny fananana mekanika tsara, ny fanoherana ny akanjo tsara indrindra, ary ny fananana mekanika feno dia tsara kokoa noho ny oksida beryllium ary mitovy amin'ny oksida aluminium;
(4) Toetra elektrika feno tsara, insulation elektrika tsara ary fahaverezan'ny dielectric ambany;
(5) Tsy misy poizina sy mitsinjo ny tontolo iainana.
Takelaka data momba ny fitaovana seramika
| zavatra | 95% Aluminum | 99% alumina | Zirconia | Silicon carbide | silisiômaNitride | VIRATYNitride |
| Color | fotsy | Mavo mavo | fotsy | mainty | mainty | grey |
| Hateza (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Fisoronana rano | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hardness (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Herin'ny flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Hery fanerena (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Young's Modulus of Elasticité | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Ny tahan'ny Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Conductivity mafana | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Hery dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Volana fanoherana (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
Ny VET Energy dia mpanamboatra matihanina mifantoka amin'ny R&D sy ny famokarana fitaovana avo lenta toy ny graphite, carbide silisiôma, quartz, ary koa ny fitsaboana ara-materialy toy ny SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, sns. Ny vokatra dia be mpampiasa amin'ny photovoltaic, semiconductor, angovo vaovao, metallurgy, sns
Ny ekipa teknika dia avy amin'ireo andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoa ho anao.
Ny tombony amin'ny VET Energy dia ahitana:
• Orinasa manokana sy laboratoara matihanina;
• Ny haavon'ny fahadiovana sy ny kalitaon'ny indostria;
• Mifaninana vidiny & Fast fanaterana fotoana;
• Fiaraha-miasa amin'ny indostria maro maneran-tany;
Miarahaba anao izahay hitsidika ny orinasa sy ny laboratoara amin'ny fotoana rehetra!
