Керамик вафер халаагч AlN хөнгөн цагаан халаалтын элемент

Керамик вафер халаагч AlN хөнгөн цагаан халаалтын элемент
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд вафлиг нимгэн хальсан хуримтлал, сийлбэр гэх мэт янз бүрийн процессоор боловсруулах шаардлагатай байдаг. Эдгээр холбоосуудад вафлиг тодорхой температурт халаах шаардлагатай бөгөөд температурын хатуу шаардлага тавьдаг, учир нь температурын жигд байдал нь бүтээгдэхүүний гарцад маш чухал нөлөө үзүүлдэг бөгөөд халаалтын бүрэлдэхүүн хэсгүүд зайлшгүй шаардлагатай байдаг.

Керамик халаагуурпроцессын камерт шууд түрхдэг бөгөөд вафлитай шууд харьцдаг. Эдгээр нь зөвхөн вафлиг зөөхөөс гадна вафли тогтвортой, жигд процессын температурыг авахыг баталгаажуулдаг. Эдгээр нь хагас дамжуулагч нимгэн хальсан тунадасжуулалтын төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм!

Керамик халаагуур нь вафлийг тулгуурладаг керамик суурь болон ар талд нь түүнийг тулгуурладаг цилиндр хэлбэртэй тулгуур биетэй. Халаах эсэргүүцлийн элемент (халаалтын давхарга)-аас гадна керамик суурийн дотор эсвэл гадаргуу дээр радио давтамжийн электродууд (RF давхарга) байдаг. Хурдан халаах, хөргөхийн тулд керамик суурийн зузаан нь нимгэн байх ёстой боловч хэт нимгэн байх нь хатуулгийг бууруулдаг.

Керамик халаагчийн тулгуур нь ерөнхийдөө суурийнхтай төстэй дулааны тэлэлтийн коэффициент бүхий керамик материалаар хийгдсэн байдаг. Халаагуур нь терминал болон утсыг плазмын болон идэмхий химийн хийн нөлөөллөөс хамгаалахын тулд босоо амны холбоосны ёроолын өвөрмөц бүтцийг ашигладаг. Халаагчийн жигд температурыг хангахын тулд тулгуур нь дулаан дамжуулах хийн оролт болон гаралтын хоолойгоор тоноглогдсон. Суурь болон тулгуур нь химийн хувьд холбох давхаргаар холбогдсон байдаг.

Керамик халаагуурыг хөнгөн цагаан нитрид (AlN), цахиурын нитрид (Si3N4), хөнгөн цагаан исэл (Al2O3) зэрэг керамик материалаар хийж болно. Эдгээрээс AlN нь керамик халаагуурын хамгийн сайн сонголт юм. Бусад материалтай харьцуулахад VET Energy-ийн AlN керамик нь дараах шинж чанартай байдаг.
(1) Дулаан дамжуулалт сайтай;
(2) Хагас дамжуулагч цахиурын материалтай дулааны тэлэлтийн коэффициентийг тохируулсан;
(3) Сайн механик шинж чанар, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, цогц механик шинж чанар нь бериллийн ислээс илүү бөгөөд хөнгөн цагааны исэлтэй тэнцүү;
(4) Маш сайн цогц цахилгаан шинж чанар, маш сайн цахилгаан тусгаарлагч, диэлектрик алдагдал бага;
(5) Хоргүй бөгөөд байгаль орчинд ээлтэй.