Керамик вафер халаагч AlN хөнгөн цагааны исэл халаалтын элемент

Керамик вафер халаагч AlN хөнгөн цагааны исэл халаалтын элемент
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд нимгэн хальсан дээр буулгах, сийлбэр хийх гэх мэт янз бүрийн процессуудад вафель боловсруулах шаардлагатай байдаг. Эдгээр холбоосуудад вафель нь тодорхой температурт халаах шаардлагатай бөгөөд температурын жигд байдал нь бүтээгдэхүүний гарцад маш чухал нөлөө үзүүлдэг бөгөөд халаах боломжтой бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь зайлшгүй шаардлагатай байдаг тул температурт хатуу шаардлага тавьдаг.

Керамик халаагуурпроцессын камерт шууд хэрэглэж, вафельтай шууд харьцдаг. Тэд вафель зөөвөрлөхөөс гадна вафель нь тогтвортой, жигд процессын температурыг олж авдаг. Эдгээр нь хагас дамжуулагч нимгэн хальсан тунадасжуулах төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм!

Керамик халаагуур нь вааран баазыг бэхэлсэн керамик суурь, ар талдаа цилиндр хэлбэртэй тулгууртай. Халаахад зориулсан эсэргүүцлийн элемент (халаалтын давхарга) -аас гадна керамик суурийн дотор эсвэл гадаргуу дээр радио давтамжийн электродууд (RF-ийн давхарга) байдаг. Хурдан халах, хөргөхөд хүрэхийн тулд керамик суурийн зузаан нь нимгэн байх ёстой, гэхдээ хэт нимгэн нь хатуу байдлыг бууруулдаг.

Керамик халаагуурын тулгуур нь ерөнхийдөө суурьтай төстэй дулааны тэлэлтийн коэффициент бүхий керамик материалаар хийгдсэн байдаг. Халаагч нь плазм болон идэмхий химийн хийн нөлөөллөөс терминал ба утсыг хамгаалахын тулд босоо амны ёроолын өвөрмөц бүтцийг ашигладаг. Тус дэмжлэг нь халаагчийн жигд температурыг хангахын тулд дулаан дамжуулах хийн оролт, гаралтын хоолойгоор тоноглогдсон. Суурь ба тулгуур нь химийн бодисоор холбогч давхаргаар холбогддог.

Керамик халаагуурыг хөнгөн цагаан нитрид (AlN), цахиурын нитрид (Si3N4), хөнгөн цагаан исэл (Al2O3) зэрэг керамик эдлэлээр хийж болно. Тэдгээрийн дотроос AlN нь керамик халаагуурын хамгийн сайн сонголт юм. Бусад материалтай харьцуулахад VET Energy-ийн AlN керамик нь дараахь шинж чанартай байдаг.
(1) Сайн дулаан дамжуулалт;
(2) Хагас дамжуулагч цахиур материалтай тохирох дулааны тэлэлтийн коэффициент;
(3) Сайн механик шинж чанар, маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй, иж бүрэн механик шинж чанар нь бериллийн исэлээс илүү сайн бөгөөд хөнгөн цагааны исэлтэй тэнцэх;
(4) Маш сайн иж бүрэн цахилгаан шинж чанар, маш сайн цахилгаан тусгаарлагч, бага диэлектрик алдагдал;
(5) Хоргүй, байгаль орчинд ээлтэй.