CVD کوٹنگ فوکس رنگ برائے پلازما اینچنگ ایک اہم قابل استعمال جزو ہے جو جدید سیمی کنڈکٹر ایچنگ سسٹمز میں استعمال ہوتا ہے۔ سبسٹریٹ + CVD کوٹنگ کے جامع ڈھانچے کے ساتھ انجینئرڈ، اس پروڈکٹ کو پلازما کی تقسیم کو بہتر بنانے، اینچنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے اور چیمبر کے اجزاء کی زندگی کو بڑھانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
Vet Energy میں، ہم کیمیکل وانپ ڈپوزیشن (CVD) ٹیکنالوجی اور جدید سیرامک مواد میں گہری مہارت سے فائدہ اٹھاتے ہیں تاکہ فوکس رِنگس فراہم کیے جا سکیں جو جدید سیمی کنڈکٹر نوڈس کی سخت ضروریات کو پورا کرتے ہیں، بشمول FinFET اور 3D NAND پروسیس۔
پلازما اینچنگ میں فوکس رنگ کا کردار
پلازما ایچنگ سسٹمز (جیسے ICP اور CCP ری ایکٹرز) میں، فوکس رِنگ ویفر ایج کے ارد گرد رکھی جاتی ہے اور عمل کے استحکام اور پیداوار کی کارکردگی میں اہم کردار ادا کرتی ہے۔
1. پلازما یونیفارمٹی کنٹرول
فوکس رِنگ ایک برقی اور فزیکل باؤنڈری کے طور پر کام کرتی ہے جو ویفر کی سطح پر پلازما کی کثافت کی تقسیم کو منظم کرنے میں مدد کرتی ہے۔
اہم فوائد:
● اینچ ریٹ کی یکسانیت میں بہتری
● مرکز سے کنارے تک کی تبدیلی
● بہتر عمل کی تکرار کی اہلیت
2. کنارے اثر معاوضہ
فوکس رِنگ کے بغیر، ویفر کے کنارے پر پلازما میان کی مسخ غیر یکساں اینچنگ کا باعث بن سکتی ہے۔
فوکس رِنگ مؤثر طریقے سے "ورچوئل ویفر ایکسٹینشن" کے طور پر کام کرتی ہے، جس سے کنارے سے متعلق بے ضابطگیوں کو کم کیا جاتا ہے جیسے:
● ویفر کے کناروں پر اوور اینچنگ
● اہم جہت (CD) انحراف
● پروفائل کو مسخ کرنا
3. آئن ٹریکٹری اور انرجی کنٹرول
مقامی برقی میدان پر اثر انداز ہو کر، فوکس رِنگ آئن واقعے کے زاویوں اور توانائی کی تقسیم کو مستحکم کرنے میں مدد کرتا ہے، جو اس کے لیے اہم ہے:
● ہائی اسپیکٹ ریشو (HAR) ایچنگ
● انیسوٹروپک پروفائل کنٹرول
● سائیڈ وال کے نقصان کو کم کیا گیا۔
4. چیمبر کی حفاظت اور آلودگی میں کمی
قربانی کے جزو کے طور پر، فوکس کی انگوٹھی براہ راست پلازما کی نمائش اور جمع کرنے والی مصنوعات کو جذب کرتی ہے۔
نتیجہ خیز فوائد:
● چیمبر کی دیوار کے کٹاؤ میں کمی
● زیریں ذرہ آلودگی
● توسیعی دیکھ بھال کے چکر (PM وقفے)
