ວົງແຫວນໂຟກັສການເຄືອບ CVD ສຳລັບການແກະສະຫຼັກພລາສມາ ເປັນອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນທີ່ໃຊ້ໃນລະບົບການແກະສະຫຼັກເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ. ຜະລິດຕະພັນນີ້ຖືກອອກແບບດ້ວຍໂຄງສ້າງປະສົມຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ + ການເຄືອບ CVD ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍພລາສມາ, ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການແກະສະຫຼັກ, ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງສ່ວນປະກອບຫ້ອງ.
ທີ່ Vet Energy, ພວກເຮົາໃຊ້ປະໂຫຍດຈາກຄວາມຊ່ຽວຊານຢ່າງເລິກເຊິ່ງໃນເຕັກໂນໂລຊີການສະສົມໄອນ້ຳເຄມີ (CVD) ແລະວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອສົ່ງມອບວົງແຫວນໂຟກັດທີ່ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງໂຫນດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ, ລວມທັງຂະບວນການ FinFET ແລະ 3D NAND.
ບົດບາດຂອງວົງແຫວນໂຟກັສໃນການແກະສະຫຼັກພລາສມາ
ໃນລະບົບການແກະສະຫຼັກພລາສມາ (ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງປະຕິກອນ ICP ແລະ CCP), ວົງແຫວນໂຟກັດຈະຕັ້ງຢູ່ອ້ອມຮອບຂອບເວເຟີ ແລະ ມີບົດບາດສຳຄັນຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຜົນຜະລິດ.
1. ການຄວບຄຸມຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງພລາສມາ
ວົງແຫວນໂຟກັສເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຂອບເຂດທາງໄຟຟ້າ ແລະ ທາງກາຍະພາບທີ່ຊ່ວຍຄວບຄຸມການແຈກຢາຍຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາທົ່ວໜ້າຜິວເວເຟີ.
ຜົນປະໂຫຍດຫຼັກ:
● ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງອັດຕາການແກະສະຫຼັກ
● ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຈາກຈຸດກາງຫາຂອບ
● ປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂະບວນການໄດ້ດີຂຶ້ນ
2. ການຊົດເຊີຍຜົນກະທົບຂອບ
ຖ້າບໍ່ມີວົງແຫວນໂຟກັດ, ການບິດເບືອນຂອງເປືອກພລາສມາຢູ່ແຄມແຜ່ນເວເຟີສາມາດນໍາໄປສູ່ການແກະສະຫຼັກທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ.
ວົງແຫວນໂຟກັສເຮັດໜ້າທີ່ເປັນ "ສ່ວນຂະຫຍາຍເວເຟີເສມືນ", ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດປົກກະຕິທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂອບເຊັ່ນ:
● ການແກະສະຫຼັກຫຼາຍເກີນໄປຢູ່ແຄມແຜ່ນເວເຟີ
● ຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງມິຕິວິກິດ (CD)
● ການບິດເບືອນໂປຣໄຟລ໌
3. ເສັ້ນທາງໄອອອນ ແລະ ການຄວບຄຸມພະລັງງານ
ໂດຍການມີອິດທິພົນຕໍ່ສະໜາມໄຟຟ້າໃນທ້ອງຖິ່ນ, ວົງແຫວນໂຟກັສຊ່ວຍຮັກສາມຸມຕົກຂອງໄອອອນ ແລະ ການແຈກຢາຍພະລັງງານໃຫ້ໝັ້ນຄົງ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບ:
● ການແກະສະຫຼັກອັດຕາສ່ວນສູງ (HAR)
● ການຄວບຄຸມໂປຣໄຟລ໌ແບບ Anisotropic
● ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍຂອງຝາຂ້າງ
4. ການປົກປ້ອງຫ້ອງ ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ
ໃນຖານະເປັນອົງປະກອບທີ່ເສຍສະລະ, ວົງແຫວນໂຟກັດຈະດູດຊຶມການສຳຜັດກັບພລາສມາໂດຍກົງ ແລະ ຜະລິດຕະພັນທີ່ຕົກຄ້າງ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ໄດ້ຮັບ:
● ຫຼຸດຜ່ອນການກັດເຊາະຂອງຝາຫ້ອງ
● ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຕ່ຳລົງ
● ຮອບວຽນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ຂະຫຍາຍອອກໄປ (ໄລຍະຫ່າງ PM)
