Cincin Fokus Salutan CVD untuk Pengukiran Plasma ialah komponen habis guna kritikal yang digunakan dalam sistem pengukiran semikonduktor termaju. Direkayasa dengan struktur komposit substrat + salutan CVD, produk ini direka bentuk untuk mengoptimumkan pengedaran plasma, meningkatkan keseragaman pengukiran dan memanjangkan jangka hayat komponen ruang.
Di Vet Energy, kami memanfaatkan kepakaran mendalam dalam teknologi pemendapan wap kimia (CVD) dan bahan seramik termaju untuk menghasilkan cincin fokus yang memenuhi keperluan ketat nod semikonduktor moden, termasuk proses FinFET dan 3D NAND.
Peranan Cincin Fokus dalam Pengukiran Plasma
Dalam sistem pengukiran plasma (seperti reaktor ICP dan CCP), cincin fokus diletakkan di sekitar tepi wafer dan memainkan peranan penting dalam kestabilan proses dan prestasi hasil.
1. Kawalan Keseragaman Plasma
Cincin fokus bertindak sebagai sempadan elektrik dan fizikal yang membantu mengawal taburan ketumpatan plasma merentasi permukaan wafer.
Faedah utama:
● Keseragaman kadar etsa yang dipertingkatkan
● Variasi tengah ke tepi yang dikurangkan
● Kebolehulangan proses yang dipertingkatkan
2. Pampasan Kesan Tepi
Tanpa cincin fokus, herotan sarung plasma pada tepi wafer boleh menyebabkan pengetsaan yang tidak seragam.
Cincin fokus berfungsi secara berkesan sebagai "lanjutan wafer maya", meminimumkan anomali berkaitan tepi seperti:
● Terlalu terukir pada tepi wafer
● Sisihan dimensi kritikal (CD)
● Herotan profil
3. Trajektori Ion dan Kawalan Tenaga
Dengan mempengaruhi medan elektrik setempat, cincin fokus membantu menstabilkan sudut insiden ion dan pengagihan tenaga, yang penting untuk:
● Pengukiran nisbah aspek tinggi (HAR)
● Kawalan profil anisotropik
● Mengurangkan kerosakan dinding sisi
4. Perlindungan Ruang dan Pengurangan Pencemaran
Sebagai komponen pengorbanan, cincin fokus menyerap pendedahan plasma langsung dan hasil sampingan pemendapan.
Kelebihan yang terhasil:
● Mengurangkan hakisan dinding ruang
● Pencemaran zarah yang lebih rendah
● Kitaran penyelenggaraan lanjutan (selang PM)
