Cincin Fokus Lapisan CVD kanggo Etsa Plasma minangka komponen konsumsi penting sing digunakake ing sistem etsa semikonduktor canggih. Dirancang nganggo struktur komposit lapisan substrat + CVD, produk iki dirancang kanggo ngoptimalake distribusi plasma, nambah keseragaman etsa, lan ngluwihi umur komponen ruang.
Ing Vet Energy, kita nggunakake keahlian sing jero ing teknologi deposisi uap kimia (CVD) lan bahan keramik canggih kanggo ngasilake cincin fokus sing nyukupi syarat ketat saka simpul semikonduktor modern, kalebu proses FinFET lan 3D NAND.
Perané Cincin Fokus ing Ukiran Plasma
Ing sistem etsa plasma (kayata reaktor ICP lan CCP), cincin fokus diposisikan ing sekitar pinggiran wafer lan nduweni peran penting ing stabilitas proses lan kinerja hasil.
1. Kontrol Keseragaman Plasma
Cincin fokus tumindak minangka wates listrik lan fisik sing mbantu ngatur distribusi kapadhetan plasma ing lumahing wafer.
Keuntungan utama:
● Keseragaman tingkat etsa sing luwih apik
● Variasi saka tengah nganti pinggir sing luwih sithik
● Peningkatan kemampuan pengulangan proses
2. Kompensasi Efek Tepi
Tanpa cincin fokus, distorsi selubung plasma ing pinggir wafer bisa nyebabake etsa sing ora seragam.
Cincin fokus kanthi efektif fungsine minangka "ekstensi wafer virtual", nyuda anomali sing ana gandhengane karo pinggiran kayata:
● Etsa sing berlebihan ing pinggir wafer
● Deviasi dimensi kritis (CD)
● Distorsi profil
3. Lintasan Ion lan Kontrol Energi
Kanthi mengaruhi medan listrik lokal, cincin fokus mbantu nyetabilake sudut datang ion lan distribusi energi, sing penting banget kanggo:
● Ukiran rasio aspek dhuwur (HAR)
● Kontrol profil anisotropik
● Karusakan tembok sisih sing suda
4. Proteksi Kamar lan Pangurangan Kontaminasi
Minangka komponen kurban, cincin fokus nyerep paparan plasma langsung lan produk sampingan deposisi.
Kauntungan sing diasilake:
● Erosi tembok kamar sing suda
● Kontaminasi partikel sing luwih murah
● Siklus pangopènan sing luwih dawa (interval PM)
