CVD húðunarfókushringurinn fyrir plasmaetsun er mikilvægur rekstraríhlutur sem notaður er í háþróuðum hálfleiðaraetsunarkerfum. Þessi vara er hönnuð með samsettri uppbyggingu undirlags og CVD húðunar og er hönnuð til að hámarka plasmadreifingu, bæta einsleitni etsunarinnar og lengja líftíma íhluta í hólfinu.
Hjá Vet Energy nýtum við okkur djúpa þekkingu á efnagufuútfellingartækni (CVD) og háþróuðum keramikefnum til að skila fókushringjum sem uppfylla strangar kröfur nútíma hálfleiðara, þar á meðal FinFET og 3D NAND ferla.
Hlutverk fókushringsins í plasmaetsun
Í plasmaetsunarkerfum (eins og ICP og CCP hvarfefnum) er fókushringurinn staðsettur umhverfis brún skífunnar og gegnir mikilvægu hlutverki í stöðugleika ferlisins og afköstum.
1. Stýring á plasmajöfnuði
Fókushringurinn virkar sem rafmagns- og eðlisfræðileg mörk sem hjálpa til við að stjórna dreifingu plasmaþéttleika yfir yfirborð skífunnar.
Helstu kostir:
● Bætt einsleitni í etshraða
● Minnkuð sveiflur frá miðju til brúnar
● Aukin endurtekningarhæfni ferla
2. Bætur fyrir brúnáhrif
Án fókushrings getur röskun á plasmahjúpnum á brún skífunnar leitt til ójafnrar etsunar.
Fókushringurinn virkar í raun sem „sýndarviðbygging á skífu“ og lágmarkar frávik tengd brúnum eins og:
● Of-etsun á brúnum skífunnar
● Frávik í mikilvægri vídd (CD)
● Prófílbjögun
3. Jónabraut og orkustýring
Með því að hafa áhrif á staðbundið rafsvið hjálpar fókushringurinn til við að stöðuga innfallshorn jóna og orkudreifingu, sem er mikilvægt fyrir:
● Etsun með háu hlutfallslegu hlutfalli (HAR)
● Stjórnun á anisótrópískum sniðum
● Minnkuð skemmd á hliðarveggjum
4. Verndun hólfsins og mengunarminnkun
Sem fórnarþáttur gleypir fókushringurinn beina plasmaútsetningu og aukaafurðir úr útfellingu.
Kostir sem af því hlýst:
● Minnkuð rof á veggjum hólfsins
● Minni mengun agna
● Lengri viðhaldslotur (PM-bil)
