Плазмалық оюға арналған CVD жабындысының фокустық сақинасы - озық жартылай өткізгіш ою жүйелерінде қолданылатын маңызды тұтынылатын компонент. Негіз + CVD жабынының композиттік құрылымымен жасалған бұл өнім плазмалық таралуды оңтайландыруға, оюдың біркелкілігін жақсартуға және камера компонентінің қызмет ету мерзімін ұзартуға арналған.
Vet Energy компаниясында біз FinFET және 3D NAND процестерін қоса алғанда, заманауи жартылай өткізгіш түйіндердің қатаң талаптарына сай келетін фокустық сақиналарды жеткізу үшін химиялық бу тұндыру (CVD) технологиясы мен озық керамикалық материалдар саласындағы терең тәжірибені пайдаланамыз.
Плазмалық оюдағы фокустық сақинаның рөлі
Плазмалық өңдеу жүйелерінде (ICP және CCP реакторлары сияқты) фокустау сақинасы пластинаның шетіне орналастырылады және процестің тұрақтылығы мен өнімділігінде маңызды рөл атқарады.
1. Плазманың біркелкілігін бақылау
Фокустық сақина пластина бетіндегі плазма тығыздығының таралуын реттеуге көмектесетін электрлік және физикалық шекара ретінде әрекет етеді.
Негізгі артықшылықтары:
● Ою жылдамдығының біркелкілігі жақсарды
● Орталықтан шетіне қарай ауытқуы азайтылды
● Процестің қайталануын жақсарту
2. Жиек әсерін өтеу
Фокустық сақина болмаса, пластинаның шетіндегі плазмалық қабықтың бұрмалануы біркелкі емес оюға әкелуі мүмкін.
Фокустау сақинасы «виртуалды пластина кеңейтімі» ретінде тиімді жұмыс істейді, бұл жиекке байланысты ауытқуларды азайтады, мысалы:
● Вафли шеттерін шамадан тыс ою
● Критикалық өлшемнің (КӨ) ауытқуы
● Профильдің бұрмалануы
3. Ион траекториясы және энергияны басқару
Жергілікті электр өрісіне әсер ету арқылы фокустық сақина иондардың түсу бұрыштарын және энергияның таралуын тұрақтандыруға көмектеседі, бұл мыналар үшін өте маңызды:
● Жоғары арақатынасты (HAR) ою
● Анизотропты профильді басқару
● Бүйір қабырғасының зақымдануын азайту
4. Камераларды қорғау және ластануды азайту
Құрбандық компоненті ретінде фокустық сақина плазманың тікелей әсерін және тұндырудың қосалқы өнімдерін сіңіреді.
Нәтижесіндегі артықшылықтар:
● Камера қабырғасының эрозиясын азайту
● Бөлшектердің ластануын азайту
● Ұзартылған техникалық қызмет көрсету циклдары (PM аралықтары)
