Плазма белән эшкәртү өчен CVD каплау фокус боҗрасы - алдынгы ярымүткәргеч эшкәртү системаларында кулланыла торган мөһим чыгым материалы. Субстрат + CVD каплавының композит структурасы белән эшләнгән бу продукт плазма таралышын оптимальләштерү, эшкәртүнең бердәмлеген яхшырту һәм камера компонентларының гомерен озайту өчен эшләнгән.
Vet Energy компаниясендә без химик пар утырту (CVD) технологиясе һәм алдынгы керамик материаллар өлкәсендә тирән тәҗрибәгә ия, шул исәптән FinFET һәм 3D NAND процесслары кебек заманча ярымүткәргеч төеннәрнең катгый таләпләренә туры килә торган фокус боҗраларын тәкъдим итәбез.
Плазма гравюрасында фокус боҗрасының роле
Плазма эшкәртү системаларында (мәсәлән, ICP һәм CCP реакторларында), фокус боҗрасы пластина кырые тирәсендә урнашкан һәм процесс тотрыклылыгында һәм нәтиҗәлелегендә мөһим роль уйный.
1. Плазма бердәмлеген контрольдә тоту
Фокус боҗрасы пластина өслеге буенча плазма тыгызлыгы таралышын көйләргә ярдәм итүче электр һәм физик чик булып тора.
Төп өстенлекләр:
● Эшкәртү тизлегенең бердәмлеге яхшырды
● Үзәктән кырыйга үзгәрүчәнлек кимегән
● Процесс кабатланучанлыгы яхшыртылды
2. Кыр эффектын компенсацияләү
Фокус боҗрасы булмаганда, пластина кырыенда плазма тышчасының бозылуы тигез булмаган гофрлауга китерергә мөмкин.
Фокус боҗрасы нәтиҗәле рәвештә "виртуаль пластина киңәйтүе" буларак эшли, кырый белән бәйле аномалияләрне, мәсәлән, минимальләштерә:
● Вафли кырыйларында артык гравюра ясау
● Критик үлчәм (CD) тайпылышы
● Профиль бозылуы
3. Ион траекториясе һәм энергия белән идарә итү
Локаль электр кырына тәэсир итеп, фокус боҗрасы ион төшү почмакларын һәм энергия бүленешен тотрыклыландырырга ярдәм итә, бу түбәндәгеләр өчен бик мөһим:
● Югары аспект нисбәте (HAR) белән гравюра ясау
● Анизотроп профиль белән идарә итү
● Ян стенага зыян килү кимүе
4. Камераны саклау һәм пычрануны киметү
Корбан компоненты буларак, фокус боҗрасы турыдан-туры плазма тәэсирен һәм утырма продуктларын үзенә сеңдерә.
Нәтиҗәдә килеп чыккан өстенлекләр:
● Камера стеналары эрозиясен киметү
● Азрак кисәкчәләр белән пычрану
● Озайтылган хезмәт күрсәтү цикллары (PM интерваллары)
