Lub CVD Coating Focus Ring rau Plasma Etching yog ib qho khoom siv tseem ceeb uas siv rau hauv cov txheej txheem semiconductor etching siab heev. Tsim los ntawm cov qauv sib xyaw ua ke ntawm substrate + CVD txheej, cov khoom no yog tsim los ua kom zoo dua qhov kev faib tawm plasma, txhim kho kev sib xws ntawm etching, thiab txuas ntxiv lub neej ntawm cov khoom hauv chav.
Ntawm Vet Energy, peb siv kev txawj ntse tob hauv kev siv tshuab chemical vapor deposition (CVD) thiab cov khoom siv ceramic siab heev los xa cov nplhaib tsom uas ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua ntawm cov semiconductor nodes niaj hnub, suav nrog FinFET thiab 3D NAND cov txheej txheem.
Lub Luag Haujlwm ntawm Lub Nplhaib Focus hauv Plasma Etching
Hauv cov tshuab plasma etching (xws li ICP thiab CCP reactors), lub nplhaib tsom xam tau muab tso rau ib puag ncig ntug wafer thiab ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem thiab kev ua tau zoo.
1. Kev Tswj Xyuas Kev Sib Xws ntawm Plasma
Lub nplhaib tsom xam ua haujlwm ua ciam teb hluav taws xob thiab lub cev uas pab tswj kev faib cov plasma density thoob plaws qhov chaw wafer.
Cov txiaj ntsig tseem ceeb:
● Txhim kho qhov nrawm ntawm kev txiav kom sib npaug
● Txo qhov sib txawv ntawm nruab nrab mus rau ntug
● Kev ua haujlwm rov ua dua zoo dua
2. Kev Them Nyiaj Rau Ntug
Yog tsis muaj lub nplhaib tsom, qhov kev cuam tshuam ntawm plasma sheath ntawm ntug wafer tuaj yeem ua rau etching tsis sib xws.
Lub nplhaib tsom xam ua haujlwm zoo li "virtual wafer extension", txo cov teeb meem cuam tshuam nrog ntug xws li:
● Kev khawb ntau dhau ntawm cov npoo ntawm wafer
● Qhov sib txawv ntawm qhov tseem ceeb (CD)
● Kev cuam tshuam ntawm cov ntaub ntawv
3. Kev Taw Qhia Ion thiab Kev Tswj Xyuas Zog
Los ntawm kev cuam tshuam rau lub zog hluav taws xob hauv zos, lub nplhaib tsom kwm pab tswj lub kaum sab xis ntawm cov ion thiab kev faib hluav taws xob, uas yog qhov tseem ceeb rau:
● Kev kos duab zoo nkauj (HAR)
● Kev tswj hwm qhov profile anisotropic
● Txo kev puas tsuaj ntawm phab ntsa sab
4. Kev Tiv Thaiv Chav thiab Kev Txo Kev Ua Phem
Ua ib qho khoom siv los txi, lub nplhaib tsom xam nqus cov plasma raug ncaj qha thiab cov khoom tso tawm.
Cov txiaj ntsig tau los:
● Txo qhov kev puas tsuaj ntawm phab ntsa chav tsev
● Kev ua qias tuaj ntawm cov khoom me me tsawg dua
● Lub voj voog txij nkawm ntev dua (PM lub sijhawm)
