CVD பூச்சு குவிய வளையம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

பிளாஸ்மா பொறித்தலுக்கான CVD பூச்சு குவிய வளையம், மேம்பட்ட பொறித்தல் அமைப்புகளில் பிளாஸ்மா பரவலை உகந்ததாக்கவும், பொறித்தலின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உறுதியான Si அல்லது SiC அடித்தளத்துடன் உயர்-தூய்மையான CVD SiC பூச்சு இணைந்திருப்பதால், இது சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன், மிகக் குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் நீண்ட சேவை ஆயுளை வழங்குகிறது. ICP மற்றும் CCP பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் இந்தக் குவிய வளையம், விளிம்பு விளைவுகளைத் திறம்படக் குறைத்து, அயனிகளின் நடத்தையை நிலைப்படுத்தி, அறைக் கூறுகளை அரிப்பு மற்றும் மாசுபாட்டிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அதிக விளைச்சலையும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையையும் அடைவதற்கு இது ஒரு அத்தியாவசியமான நுகர்பொருளாகும்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும் PDF ஆக பதிவிறக்கவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

பிளாஸ்மா பொறிப்பிற்கான CVD பூச்சு குவிய வளையம் என்பது, மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பொறிப்பு அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான நுகர்வுப் பொருளாகும். அடிமூலக்கூறு + CVD பூச்சு ஆகியவற்றின் கலப்புக் கட்டமைப்பில் வடிவமைக்கப்பட்ட இந்தத் தயாரிப்பு, பிளாஸ்மா பரவலை உகந்ததாக்கவும், பொறிப்பின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும், மற்றும் அறைப் பாகங்களின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிக்கவும் உருவாக்கப்பட்டுள்ளது.

வெட் எனர்ஜியில், ஃபின்ஃபெட் மற்றும் 3டி நாண்ட் செயல்முறைகள் உட்பட, நவீன குறைக்கடத்தி முனைகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் ஃபோகஸ் ரிங்குகளை வழங்குவதற்காக, இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD) தொழில்நுட்பம் மற்றும் மேம்பட்ட செராமிக் பொருட்களில் உள்ள எங்களின் ஆழ்ந்த நிபுணத்துவத்தை நாங்கள் பயன்படுத்துகிறோம்.

பிளாஸ்மா பொறித்தலில் குவிய வளையத்தின் பங்கு

பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில் (ICP மற்றும் CCP உலைகள் போன்றவை), குவிய வளையம் வேஃபரின் விளிம்பைச் சுற்றி நிலைநிறுத்தப்பட்டு, செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனில் முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது.

1. பிளாஸ்மா சீரான தன்மை கட்டுப்பாடு

குவிய வளையம், வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுவதும் பிளாஸ்மா அடர்த்திப் பரவலை ஒழுங்குபடுத்த உதவும் ஒரு மின் மற்றும் இயற்பியல் எல்லையாகச் செயல்படுகிறது.

முக்கிய நன்மைகள்:

● மேம்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு விகித சீரான தன்மை
● மையத்திலிருந்து விளிம்பு வரையிலான மாறுபாடு குறைக்கப்பட்டது
● மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மை

2. விளிம்பு விளைவு ஈடுசெய்தல்

ஃபோகஸ் ரிங் இல்லாத நிலையில், வேஃபர் விளிம்பில் ஏற்படும் பிளாஸ்மா உறைச் சிதைவு, சீரற்ற பொறித்தலுக்கு வழிவகுக்கக்கூடும்.

ஃபோகஸ் ரிங் ஒரு “மெய்நிகர் வேஃபர் நீட்டிப்பாக” திறம்படச் செயல்பட்டு, பின்வரும் விளிம்பு தொடர்பான ஒழுங்கின்மைகளைக் குறைக்கிறது:

● வேஃபர் விளிம்புகளில் அதிகப்படியான அரிப்பு
● முக்கிய பரிமாண (CD) விலகல்
● சுயவிவர சிதைவு

3. அயனிப் பாதை மற்றும் ஆற்றல் கட்டுப்பாடு

உள்ளூர் மின்புலத்தில் செல்வாக்கு செலுத்துவதன் மூலம், குவிய வளையமானது அயனி படுகோணங்களையும் ஆற்றல் பரவலையும் நிலைப்படுத்த உதவுகிறது, இது பின்வருவனவற்றிற்கு இன்றியமையாதது:

● உயர் விகிதச் சாய்வு (HAR) பொறித்தல்
● திசைசார் சுயவிவரக் கட்டுப்பாடு
● பக்கவாட்டுச் சேதம் குறைக்கப்பட்டது