پلازما ايچنگ لاءِ سي وي ڊي ڪوٽنگ فوڪس رنگ هڪ اهم استعمال لائق جزو آهي جيڪو جديد سيمي ڪنڊڪٽر ايچنگ سسٽم ۾ استعمال ٿيندو آهي. سبسٽريٽ + سي وي ڊي ڪوٽنگ جي جامع structure سان انجنيئر ٿيل، هي پراڊڪٽ پلازما ورڇ کي بهتر بڻائڻ، ايچنگ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائڻ، ۽ چيمبر جزو جي زندگي کي وڌائڻ لاءِ ٺهيل آهي.
ويٽ انرجي ۾، اسان ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (سي وي ڊي) ٽيڪنالاجي ۽ جديد سيرامڪ مواد ۾ گهري مهارت جو فائدو وٺون ٿا ته جيئن فوڪس رِنگس پهچائي سگهجن جيڪي جديد سيمي ڪنڊڪٽر نوڊس جي سخت گهرجن کي پورو ڪن، جن ۾ فن ايف اي ٽي ۽ 3 ڊي اين اي ڊي پروسيس شامل آهن.
پلازما ايچنگ ۾ فوڪس رنگ جو ڪردار
پلازما ايچنگ سسٽم (جهڙوڪ ICP ۽ CCP ري ايڪٽر) ۾، فوڪس رنگ ويفر جي ڪنڊ جي چوڌاري رکيل هوندو آهي ۽ عمل جي استحڪام ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي ۾ اهم ڪردار ادا ڪندو آهي.
1. پلازما يونيفارمٽي ڪنٽرول
فوڪس رنگ هڪ برقي ۽ جسماني حد جي طور تي ڪم ڪري ٿو جيڪو ويفر جي مٿاڇري تي پلازما کثافت جي ورڇ کي منظم ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو.
اهم فائدا:
● بهتر ايچ ريٽ يونيفارمي
● مرڪز کان ڪنڊ تائين گھٽتائي
● بهتر عمل جي ورجائي جي صلاحيت
2. ايج اثر معاوضو
فوڪس رنگ کان سواءِ، ويفر جي ڪنڊ تي پلازما شيٿ جي بگاڙ غير يونيفارم ايچنگ جو سبب بڻجي سگهي ٿي.
فوڪس رنگ مؤثر طريقي سان "ورچوئل ويفر ايڪسٽينشن" جي طور تي ڪم ڪري ٿو، ڪنڊ سان لاڳاپيل بي ضابطگين کي گھٽائي ٿو جهڙوڪ:
● ويفر جي ڪنارن تي وڌيڪ نقاشي
● نازڪ طول و عرض (سي ڊي) انحراف
● پروفائل جي خرابي
3. آئن ٽريجڪٽري ۽ توانائي ڪنٽرول
مقامي برقي ميدان تي اثر انداز ٿيڻ سان، فوڪس رنگ آئن واقعن جي زاوين ۽ توانائي جي ورڇ کي مستحڪم ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو، جيڪو ان لاءِ اهم آهي:
● هاءِ اسپيڪٽ ريشو (HAR) ايچنگ
● اينيسوٽروپڪ پروفائل ڪنٽرول
● ڀتين کي گهٽ نقصان
4. چيمبر جي حفاظت ۽ آلودگي ۾ گهٽتائي
قرباني جي جزو جي طور تي، فوڪس رنگ سڌو سنئون پلازما جي نمائش ۽ جمع ٿيڻ واري ضمني شين کي جذب ڪري ٿو.
نتيجي ۾ فائدا:
● چيمبر جي ڀت جي ڪٽائي ۾ گهٽتائي
● گهٽ ذرات جي آلودگي
● وڌايل سار سنڀال جا چڪر (PM وقفو)
