CVD prsten za fokusiranje za plazma nagrizanje je ključna potrošna komponenta koja se koristi u naprednim sistemima za nagrizanje poluprovodnika. Projektovan sa kompozitnom strukturom supstrata + CVD premaza, ovaj proizvod je dizajniran da optimizuje distribuciju plazme, poboljša ujednačenost nagrizanja i produži vijek trajanja komponenti komore.
U Vet Energy-ju, koristimo duboko stručno znanje u tehnologiji hemijskog taloženja iz pare (CVD) i naprednim keramičkim materijalima kako bismo isporučili fokusne prstenove koji ispunjavaju stroge zahtjeve modernih poluprovodničkih čvorova, uključujući FinFET i 3D NAND procese.
Uloga fokusnog prstena u plazma nagrizanju
U sistemima za plazma nagrizanje (kao što su ICP i CCP reaktori), fokusni prsten je postavljen oko ruba pločice i igra vitalnu ulogu u stabilnosti procesa i prinosu.
1. Kontrola ujednačenosti plazme
Fokusni prsten djeluje kao električna i fizička granica koja pomaže u regulaciji raspodjele gustoće plazme po površini pločice.
Ključne prednosti:
● Poboljšana ujednačenost brzine nagrizanja
● Smanjena varijacija od centra do ruba
● Poboljšana ponovljivost procesa
2. Kompenzacija efekta ruba
Bez fokusnog prstena, distorzija plazma omotača na rubu pločice može dovesti do neujednačenog nagrizanja.
Fokusni prsten efektivno funkcionira kao "virtualni produžetak pločice", minimizirajući anomalije povezane s rubovima kao što su:
● Prekomjerno nagrizanje na rubovima pločice
● Odstupanje kritične dimenzije (CD)
● Izobličenje profila
3. Putanja iona i kontrola energije
Uticanjem na lokalno električno polje, fokusni prsten pomaže u stabilizaciji upadnih uglova jona i distribucije energije, što je ključno za:
● Nagrizanje s visokim omjerom stranica (HAR)
● Anizotropna kontrola profila
● Smanjeno oštećenje bočnih zidova
4. Zaštita komore i smanjenje kontaminacije
Kao žrtvena komponenta, fokusni prsten apsorbira direktno izlaganje plazmi i nusprodukte taloženja.
Rezultirajuće prednosti:
● Smanjena erozija zidova komore
● Manja kontaminacija česticama
● Produženi ciklusi održavanja (intervali preventivnog održavanja)
