Plazma o'yish uchun CVD qoplamali fokus halqasi ilg'or yarimo'tkazgich o'yish tizimlarida ishlatiladigan muhim sarflanadigan komponent hisoblanadi. Substrat + CVD qoplamasining kompozit tuzilishi bilan ishlab chiqilgan ushbu mahsulot plazma taqsimotini optimallashtirish, o'yishning bir xilligini yaxshilash va kamera komponentlarining ishlash muddatini uzaytirish uchun mo'ljallangan.
Vet Energy kompaniyasida biz FinFET va 3D NAND jarayonlarini o'z ichiga olgan zamonaviy yarimo'tkazgich tugunlarining qat'iy talablariga javob beradigan fokus halqalarini yetkazib berish uchun kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) texnologiyasi va ilg'or keramik materiallar bo'yicha chuqur tajribaga egamiz.
Plazma o'ymakorligida fokus halqasining roli
Plazma o'yib ishlov berish tizimlarida (ICP va CCP reaktorlari kabi) fokus halqasi plastinka chetiga joylashtirilgan va jarayon barqarorligi va rentabellik ko'rsatkichlarida muhim rol o'ynaydi.
1. Plazma bir xilligini boshqarish
Fokus halqasi plazma zichligining plastinka yuzasi bo'ylab taqsimlanishini tartibga solishga yordam beradigan elektr va fizik chegara vazifasini bajaradi.
Asosiy afzalliklari:
● O'yib ishlov berish tezligining bir xilligi yaxshilandi
● Markazdan chekkaga o'zgarish kamaydi
● Jarayonning takrorlanishini yaxshilash
2. Chegara effekti kompensatsiyasi
Fokus halqasi bo'lmasa, plastinka chetidagi plazma qobig'ining buzilishi notekis o'yma hosil bo'lishiga olib kelishi mumkin.
Fokus halqasi samarali ravishda "virtual plastinka kengaytmasi" vazifasini bajaradi va chekka bilan bog'liq anomaliyalarni, masalan:
● Plitka chetlarida ortiqcha o'ymakorlik
● Kritik o'lchov (CD) og'ishi
● Profilning buzilishi
3. Ion traektoriyasi va energiyani boshqarish
Mahalliy elektr maydoniga ta'sir qilish orqali fokus halqasi ionlarning tushish burchaklarini va energiya taqsimotini barqarorlashtirishga yordam beradi, bu quyidagilar uchun juda muhimdir:
● Yuqori tomonlar nisbati (HAR) bilan o'yib ishlov berish
● Anizotrop profilni boshqarish
● Yon devor shikastlanishining kamayishi
4. Kamera himoyasi va ifloslanishni kamaytirish
Qurbonlik komponenti sifatida fokus halqasi to'g'ridan-to'g'ri plazma ta'sirini va cho'kma yon mahsulotlarini yutadi.
Natijada yuzaga keladigan afzalliklar:
● Kamera devorining eroziyasini kamaytirish
● Zarrachalar ifloslanishining pastligi
● Kengaytirilgan texnik xizmat ko'rsatish sikllari (PM intervallari)
