ចិញ្ចៀនផ្តោតថ្នាំកូត CVD

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ចិញ្ចៀនផ្តោតថ្នាំកូត CVD សម្រាប់ការឆ្លាក់ប្លាស្មាត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការចែកចាយប្លាស្មា និងកែលម្អឯកសណ្ឋាននៃការឆ្លាក់នៅក្នុងប្រព័ន្ធឆ្លាក់កម្រិតខ្ពស់។ ដោយមានស្រទាប់ខាងក្រោម Si ឬ SiC ដ៏រឹងមាំរួមផ្សំជាមួយនឹងថ្នាំកូត CVD SiC ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ វាផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាខ្ពស់ ការបង្កើតភាគល្អិតទាបបំផុត និងអាយុកាលសេវាកម្មយូរ។ ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការឆ្លាក់ប្លាស្មា ICP និង CCP ចិញ្ចៀនផ្តោតនេះកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់គែមប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ធ្វើឱ្យឥរិយាបថអ៊ីយ៉ុងមានស្ថេរភាព និងការពារសមាសធាតុបន្ទប់ពីសំណឹក និងការបំពុល។ វាជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ដ៏សំខាន់សម្រាប់សម្រេចបាននូវទិន្នផលខ្ពស់ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃដំណើរការក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង ទាញយកជា PDF

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ចិញ្ចៀនផ្តោតថ្នាំកូត CVD សម្រាប់ការឆ្លាក់ប្លាស្មា គឺជាសមាសធាតុប្រើប្រាស់ដ៏សំខាន់ដែលប្រើក្នុងប្រព័ន្ធឆ្លាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រកម្រិតខ្ពស់។ ផលិតផលនេះត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធសមាសធាតុនៃស្រទាប់ខាងក្រោម + ថ្នាំកូត CVD ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការចែកចាយប្លាស្មា ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃការឆ្លាក់ និងពន្យារអាយុកាលសមាសធាតុបន្ទប់។

នៅ Vet Energy យើងទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីជំនាញយ៉ាងស៊ីជម្រៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) និងសម្ភារៈសេរ៉ាមិចទំនើប ដើម្បីផ្តល់នូវចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ដែលបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃថ្នាំងអេឡិចត្រូនិចទំនើប រួមទាំងដំណើរការ FinFET និង 3D NAND។

តួនាទីរបស់ Focus Ring ក្នុងការឆ្លាក់ប្លាស្មា

នៅក្នុងប្រព័ន្ធឆ្លាក់ប្លាស្មា (ដូចជារ៉េអាក់ទ័រ ICP និង CCP) ចិញ្ចៀនផ្តោតត្រូវបានដាក់ជុំវិញគែមបន្ទះស្តើង ហើយដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងស្ថេរភាពដំណើរការ និងដំណើរការទិន្នផល។