Plazma Aşındırma üçün CVD Örtük Fokus Halqası, qabaqcıl yarımkeçirici aşındırma sistemlərində istifadə edilən vacib bir istehlak komponentidir. Substrat + CVD örtüyünün kompozit strukturu ilə hazırlanmış bu məhsul, plazma paylanmasını optimallaşdırmaq, aşındırmanın vahidliyini yaxşılaşdırmaq və kamera komponentlərinin ömrünü uzatmaq üçün hazırlanmışdır.
Vet Energy şirkətində, FinFET və 3D NAND prosesləri də daxil olmaqla, müasir yarımkeçirici qovşaqların sərt tələblərinə cavab verən fokus halqaları təqdim etmək üçün kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) texnologiyası və qabaqcıl keramika materialları sahəsində dərin təcrübəmizdən istifadə edirik.
Plazma Aşındırmasında Fokus Halqasının Rolü
Plazma aşındırma sistemlərində (məsələn, ICP və CCP reaktorları) fokus halqası lövhənin kənarı ətrafında yerləşdirilir və prosesin sabitliyində və məhsuldarlıq göstəricilərində mühüm rol oynayır.
1. Plazma Vahidliyinə Nəzarət
Fokus halqası, plazma sıxlığının lövhə səthində paylanmasını tənzimləməyə kömək edən elektrik və fiziki sərhəd kimi çıxış edir.
Əsas üstünlüklər:
● Təkmilləşdirilmiş aşındırma sürətinin vahidliyi
● Mərkəzdən kənara variasiyanın azaldılması
● Təkmilləşdirilmiş proses təkrarlanabilirliyi
2. Kənar Təsir Kompensasiyası
Fokus halqası olmadan, lövhə kənarında plazma örtüyünün təhrif olunması qeyri-bərabər aşınmaya səbəb ola bilər.
Fokus halqası effektiv şəkildə "virtual lövhə uzantısı" kimi fəaliyyət göstərir və aşağıdakı kimi kənarlarla əlaqəli anomaliyaları minimuma endirir:
● Plitənin kənarlarında həddindən artıq aşınma
● Kritik Ölçü (KÖ) sapması
● Profil təhrifləri
3. İon Trayektoriyası və Enerji Nəzarəti
Yerli elektrik sahəsinə təsir göstərməklə, fokus halqası ion düşmə bucaqlarını və enerji paylanmasını sabitləşdirməyə kömək edir ki, bu da aşağıdakılar üçün vacibdir:
● Yüksək aspekt nisbəti (HAR) ilə oyma
● Anizotrop profil nəzarəti
● Yan divar zədələnməsinin azaldılması
4. Kameranın qorunması və çirklənmənin azaldılması
Qurbanedici komponent kimi, fokus halqası birbaşa plazma məruz qalmasını və çökmə yan məhsullarını udur.
Nəticə etibarilə üstünlüklər:
● Kamera divarının eroziyasının azaldılması
● Daha az hissəcik çirklənməsi
● Genişləndirilmiş texniki xidmət dövrləri (PM intervalları)
