Cincin Fokus Lapisan CVD pikeun Étsa Plasma mangrupikeun komponén konsumsi anu penting anu dianggo dina sistem étsa semikonduktor canggih. Dirancang kalayan struktur komposit substrat + lapisan CVD, produk ieu dirancang pikeun ngaoptimalkeun distribusi plasma, ningkatkeun keseragaman étsa, sareng manjangkeun umur komponén ruang.
Di Vet Energy, kami ngamangpaatkeun kaahlian anu jero dina téknologi déposisi uap kimia (CVD) sareng bahan keramik canggih pikeun nganteurkeun cincin fokus anu nyumponan sarat ketat tina simpul semikonduktor modéren, kalebet prosés FinFET sareng 3D NAND.
Peran Cincin Fokus dina Étsa Plasma
Dina sistem etsa plasma (sapertos réaktor ICP sareng CCP), cincin fokus diposisikan di sakitar ujung wafer sareng maénkeun peran penting dina stabilitas prosés sareng kinerja hasil.
1. Kontrol Keseragaman Plasma
Cingcin fokus bertindak salaku wates listrik sareng fisik anu ngabantosan ngatur distribusi kapadetan plasma di sakuliah permukaan wafer.
Mangpaat konci:
● Ningkatkeun keseragaman laju ngukir
● Variasi ti tengah ka sisi anu dikirangan
● Kamampuh ngulang prosés anu ditingkatkeun
2. Kompensasi Éfék Tepi
Tanpa cingcin fokus, distorsi selubung plasma dina ujung wafer tiasa nyababkeun etsa anu henteu seragam.
Cincin fokus sacara efektif fungsina salaku "ékstensi wafer virtual", ngaminimalkeun anomali anu aya hubunganana sareng ujung sapertos:
● Étsa anu kaleuleuwihi dina sisi wafer
● Déviasi diménsi kritis (CD)
● Distorsi profil
3. Lintasan Ion sareng Kontrol Énergi
Ku cara mangaruhan médan listrik lokal, cingcin fokus ngabantosan nyetabilkeun sudut datang ion sareng distribusi énergi, anu penting pisan pikeun:
● Étsa rasio aspék luhur (HAR)
● Kontrol profil anisotropik
● Ngurangan karusakan témbok sisi
4. Protéksi Kamar sareng Pangurangan Kontaminasi
Salaku komponén kurban, cingcin fokus nyerep paparan plasma langsung sareng produk sampingan déposisi.
Kauntungan anu dihasilkeun:
● Érosi témbok kamar anu dikirangan
● Kontaminasi partikel anu langkung handap
● Siklus pangropéa anu diperpanjang (interval PM)
