Bag Konsantrasyon Kouch CVD pou Gravure Plasma a se yon konpozan konsomasyon kritik ki itilize nan sistèm grave semi-kondiktè avanse. Konsepsyonèl ak yon estrikti konpoze substrat + kouch CVD, pwodui sa a fèt pou optimize distribisyon plasma, amelyore inifòmite grave a, epi pwolonje dire lavi konpozan chanm lan.
Nan Vet Energy, nou itilize gwo ekspètiz nan teknoloji depozisyon vapè chimik (CVD) ak materyèl seramik avanse pou delivre bag konsantrasyon ki satisfè egzijans strik nan nœd semikondiktè modèn yo, tankou pwosesis FinFET ak 3D NAND.
Wòl bag konsantre nan gravur plasma
Nan sistèm grave plasma (tankou reaktè ICP ak CCP), bag konsantre a pozisyone alantou kwen waf la epi li jwe yon wòl vital nan estabilite pwosesis la ak pèfòmans sede a.
1. Kontwòl Inifòmite Plasma
Bag konsantrasyon an aji kòm yon limit elektrik ak fizik ki ede reglemante distribisyon dansite plasma a atravè sifas waf la.
Benefis kle yo:
● Amelyore inifòmite vitès grave a
● Varyasyon sant-a-bò redwi
● Repetabilite pwosesis amelyore
2. Konpansasyon Efè Kwen
San yon bag konsantre, distòsyon kouch plasma a nan kwen waf la ka mennen nan yon grave ki pa inifòm.
Bag konsantrasyon an fonksyone efektivman kòm yon "ekstansyon waf vityèl", minimize anomali ki gen rapò ak kwen yo tankou:
● Twòp grave sou bor waf yo
● Devyasyon dimansyon kritik (CD)
● Distòsyon pwofil
3. Trajektwa Ion ak Kontwòl Enèji
Lè l enfliyanse chan elektrik lokal la, bag konsantrasyon an ede estabilize ang ensidan iyon yo ak distribisyon enèji a, ki enpòtan pou:
● Gravure ak rapò aspè segondè (HAR)
● Kontwòl pwofil anizotropik
● Redwi domaj sou miray bò yo
4. Pwoteksyon Chanm ak Rediksyon Kontaminasyon
Kòm yon konpozan sakrifisyèl, bag konsantre a absòbe ekspozisyon dirèk plasma a ak soupwodwi depo yo.
Avantaj ki rezilta yo:
● Rediksyon ewozyon miray chanm lan
● Kontaminasyon patikil ki pi ba
● Sik antretyen pwolonje (entèval PM)
