ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਲਈ ਸੀਵੀਡੀ ਕੋਟਿੰਗ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਖਪਤਯੋਗ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ ਜੋ ਉੱਨਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ + ਸੀਵੀਡੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਇੱਕ ਸੰਯੁਕਤ ਬਣਤਰ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ, ਇਹ ਉਤਪਾਦ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵੰਡ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ, ਐਚਿੰਗ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।
ਵੈਟ ਐਨਰਜੀ ਵਿਖੇ, ਅਸੀਂ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD) ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਉੱਨਤ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਡੂੰਘੀ ਮੁਹਾਰਤ ਦਾ ਲਾਭ ਉਠਾਉਂਦੇ ਹਾਂ ਤਾਂ ਜੋ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਣ ਜੋ ਆਧੁਨਿਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨੋਡਾਂ ਦੀਆਂ ਸਖ਼ਤ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ FinFET ਅਤੇ 3D NAND ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ICP ਅਤੇ CCP ਰਿਐਕਟਰ) ਵਿੱਚ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਵੇਫਰ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਦੁਆਲੇ ਸਥਿਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਉਪਜ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਹੈ।
1. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨਿਯੰਤਰਣ
ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਅਤੇ ਭੌਤਿਕ ਸੀਮਾ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਵੰਡ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤ੍ਰਿਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਮੁੱਖ ਫਾਇਦੇ:
● ਐਚ ਰੇਟ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ।
● ਘਟੀ ਹੋਈ ਕੇਂਦਰ ਤੋਂ ਕਿਨਾਰੇ ਤੱਕ ਭਿੰਨਤਾ
● ਵਧੀ ਹੋਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ
2. ਕਿਨਾਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦਾ ਮੁਆਵਜ਼ਾ
ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ, ਵੇਫਰ ਦੇ ਕਿਨਾਰੇ 'ਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸ਼ੀਥ ਵਿਗਾੜ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਐਚਿੰਗ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ "ਵਰਚੁਅਲ ਵੇਫਰ ਐਕਸਟੈਂਸ਼ਨ" ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਕਿਨਾਰੇ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਵਿਗਾੜਾਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜਿਵੇਂ ਕਿ:
● ਵੇਫਰ ਦੇ ਕਿਨਾਰਿਆਂ 'ਤੇ ਜ਼ਿਆਦਾ ਐਚਿੰਗ
● ਨਾਜ਼ੁਕ ਆਯਾਮ (CD) ਭਟਕਣਾ
● ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਵਿਗਾੜ
3. ਆਇਨ ਟ੍ਰੈਜੈਕਟਰੀ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਨਿਯੰਤਰਣ
ਸਥਾਨਕ ਬਿਜਲੀ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਕੇ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਆਇਨ ਘਟਨਾ ਕੋਣਾਂ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਵੰਡ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਇਹਨਾਂ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ:
● ਉੱਚ ਆਕਾਰ ਅਨੁਪਾਤ (HAR) ਐਚਿੰਗ
● ਐਨੀਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਕੰਟਰੋਲ
● ਸਾਈਡਵਾਲ ਨੂੰ ਘੱਟ ਨੁਕਸਾਨ
4. ਚੈਂਬਰ ਸੁਰੱਖਿਆ ਅਤੇ ਗੰਦਗੀ ਘਟਾਉਣਾ
ਇੱਕ ਬਲੀਦਾਨ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਸਿੱਧੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਕਸਪੋਜਰ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਉਪ-ਉਤਪਾਦਾਂ ਨੂੰ ਸੋਖ ਲੈਂਦੀ ਹੈ।
ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਫਾਇਦੇ:
● ਚੈਂਬਰ ਦੀਵਾਰ ਦਾ ਕਟੌਤੀ ਘਟਾਇਆ ਗਿਆ।
● ਘੱਟ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ
● ਵਧੇ ਹੋਏ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਚੱਕਰ (PM ਅੰਤਰਾਲ)
