ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ ପାଇଁ CVD କୋଟିଂ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ୍ ହେଉଛି ଉନ୍ନତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏଚିଂ ସିଷ୍ଟମରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ଉପାଦାନ। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ + CVD କୋଟିଂର ଏକ ମିଶ୍ରିତ ଗଠନ ସହିତ ଇଞ୍ଜିନିୟର ହୋଇଥିବା ଏହି ଉତ୍ପାଦଟି ପ୍ଲାଜ୍ମା ବଣ୍ଟନକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା, ଏଚିଂ ସମାନତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ଏବଂ ଚାମ୍ବର ଉପାଦାନର ଜୀବନକାଳ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି।
Vet Energy ରେ, ଆମେ FinFET ଏବଂ 3D NAND ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମେତ ଆଧୁନିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନୋଡର କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରୁଥିବା ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ଉନ୍ନତ ସିରାମିକ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ଗଭୀର ବିଶେଷଜ୍ଞତା ଲାଭ କରୁ।
ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂରେ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗର ଭୂମିକା
ପ୍ଲାଜମା ଏଚିଂ ସିଷ୍ଟମରେ (ଯେପରିକି ICP ଏବଂ CCP ରିଆକ୍ଟର), ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ୱେଫର ଧାର ଚାରିପାଖରେ ଅବସ୍ଥିତ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ।
୧. ପ୍ଲାଜ୍ମା ୟୁନିଫର୍ମିଟି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ଏକ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଏବଂ ଭୌତିକ ସୀମା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ ଯାହା ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ଲାଜମା ଘନତା ବଣ୍ଟନକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
ପ୍ରମୁଖ ଲାଭ:
● ଉନ୍ନତ ଏଚ୍ ହାର ସମାନତା
● କେନ୍ଦ୍ରରୁ ଧାର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହ୍ରାସିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ
● ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟତା
୨. ଏଜ୍ ଇଫେକ୍ଟ କ୍ଷତିପୂରଣ
ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ବିନା, ୱାଫର ଧାରରେ ପ୍ଲାଜମା ସିଥ୍ ବିକୃତି ଅସମାନ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ହୋଇପାରେ।
ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଏକ "ଭର୍ଚୁଆଲ୍ ୱେଫର ଏକ୍ସଟେନ୍ସନ୍" ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଯାହା ଧାର-ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ଅସଙ୍ଗତିକୁ ହ୍ରାସ କରେ ଯେପରିକି:
● ୱାଫର ଧାରରେ ଅଧିକ ଖୋଦନ
● ଗୁରୁତର ପରିମାପ (CD) ବିଚ୍ୟୁତି
● ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ବିକୃତି
3. ଆୟନ ପଥପଥ ଏବଂ ଶକ୍ତି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ସ୍ଥାନୀୟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରି, ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ଆୟନ ଘଟଣା କୋଣ ଏବଂ ଶକ୍ତି ବଣ୍ଟନକୁ ସ୍ଥିର କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ, ଯାହା ନିମ୍ନଲିଖିତ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ:
● ଉଚ୍ଚ ଦିଗ ଅନୁପାତ (HAR) ଏଚ୍ଜିଂ
● ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
● ପାର୍ଶ୍ୱକାନ୍ଥ କ୍ଷତି ହ୍ରାସ
୪. ଚାମ୍ବର ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ହ୍ରାସ
ଏକ ବଳିଦାନ ଉପାଦାନ ଭାବରେ, ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ସିଧାସଳଖ ପ୍ଲାଜମା ଏକ୍ସପୋଜର ଏବଂ ଜମା ଉପ-ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକୁ ଶୋଷଣ କରେ।
ଫଳସ୍ୱରୂପ ସୁବିଧା:
● ଚାମ୍ବର କାନ୍ଥ କ୍ଷୟ ହ୍ରାସ
● କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ କମ କରିବା
● ବିସ୍ତାରିତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ର (ପ୍ରଧାନମନ୍ତ୍ରୀ ବ୍ୟବଧାନ)
