प्लाज्मा एचिङको लागि CVD कोटिंग फोकस रिङ उन्नत अर्धचालक एचिङ प्रणालीहरूमा प्रयोग हुने एक महत्वपूर्ण उपभोग्य घटक हो। सब्सट्रेट + CVD कोटिंगको कम्पोजिट संरचनाको साथ ईन्जिनियर गरिएको, यो उत्पादन प्लाज्मा वितरणलाई अनुकूलन गर्न, एचिङ एकरूपता सुधार गर्न र चेम्बर कम्पोनेन्टको जीवनकाल विस्तार गर्न डिजाइन गरिएको हो।
Vet Energy मा, हामी FinFET र 3D NAND प्रक्रियाहरू सहित आधुनिक अर्धचालक नोडहरूको कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्ने फोकस रिंगहरू प्रदान गर्न रासायनिक भाप निक्षेपण (CVD) प्रविधि र उन्नत सिरेमिक सामग्रीहरूमा गहिरो विशेषज्ञता प्रयोग गर्छौं।
प्लाज्मा एचिंगमा फोकस रिंगको भूमिका
प्लाज्मा एचिंग प्रणालीहरूमा (जस्तै ICP र CCP रिएक्टरहरू), फोकस रिंग वेफर किनाराको वरिपरि राखिएको हुन्छ र प्रक्रिया स्थिरता र उपज प्रदर्शनमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।
१. प्लाज्मा एकरूपता नियन्त्रण
फोकस रिंगले विद्युतीय र भौतिक सीमाको रूपमा काम गर्दछ जसले वेफर सतहमा प्लाज्मा घनत्व वितरणलाई नियमन गर्न मद्दत गर्दछ।
प्रमुख फाइदाहरू:
● सुधारिएको एच दर एकरूपता
● केन्द्र-देखि-किनारा भिन्नता घटाइएको
● बढाइएको प्रक्रिया दोहोरिने क्षमता
२. किनारा प्रभाव क्षतिपूर्ति
फोकस रिङ बिना, वेफरको किनारमा प्लाज्मा शीथ विकृतिले गैर-एकरूप एचिंग निम्त्याउन सक्छ।
फोकस रिङले प्रभावकारी रूपमा "भर्चुअल वेफर एक्सटेन्सन" को रूपमा कार्य गर्दछ, जसले किनारा-सम्बन्धित विसंगतिहरूलाई कम गर्दछ जस्तै:
● वेफरको किनारमा ओभर-एचिंग
● महत्वपूर्ण आयाम (CD) विचलन
● प्रोफाइल विकृति
३. आयन प्रक्षेपण र ऊर्जा नियन्त्रण
स्थानीय विद्युत क्षेत्रलाई प्रभाव पारेर, फोकस रिङले आयन घटना कोण र ऊर्जा वितरणलाई स्थिर बनाउन मद्दत गर्छ, जुन निम्नका लागि महत्त्वपूर्ण छ:
● उच्च पक्ष अनुपात (HAR) नक्काशी
● एनिसोट्रोपिक प्रोफाइल नियन्त्रण
● साइडवाल क्षति कम भयो
४. चेम्बर संरक्षण र प्रदूषण न्यूनीकरण
बलिदान घटकको रूपमा, फोकस रिंगले प्रत्यक्ष प्लाज्मा एक्सपोजर र निक्षेपण उप-उत्पादनहरू अवशोषित गर्दछ।
परिणामस्वरूप फाइदाहरू:
● कम चेम्बर भित्ताको क्षय
● कम कण प्रदूषण
● विस्तारित मर्मत चक्र (PM अन्तरालहरू)
