טבעת המיקוד לציפוי CVD לאכלוט פלזמה היא רכיב מתכלה קריטי המשמש במערכות איכול מוליכים למחצה מתקדמות. מוצר זה, המעוצב עם מבנה מרוכב של מצע + ציפוי CVD, נועד לייעל את פיזור הפלזמה, לשפר את אחידות האיכול ולהאריך את חיי רכיבי התא.
ב-Vet Energy, אנו ממנפים מומחיות מעמיקה בטכנולוגיית שקיעת אדים כימית (CVD) וחומרים קרמיים מתקדמים כדי לספק טבעות מיקוד העומדות בדרישות המחמירות של צמתי מוליכים למחצה מודרניים, כולל תהליכי FinFET ו-3D NAND.
תפקיד טבעת המיקוד באיכול פלזמה
במערכות איכול פלזמה (כגון כורי ICP ו-CCP), טבעת המיקוד ממוקמת סביב קצה הוופל וממלאת תפקיד חיוני ביציבות התהליך ובביצועי התפוקה.
1. בקרת אחידות פלזמה
טבעת המיקוד משמשת כגבול חשמלי ופיזי המסייע בוויסות פיזור צפיפות הפלזמה על פני השטח של הוופל.
יתרונות עיקריים:
● אחידות משופרת בקצב האיכול
● שונות מופחתת ממרכז לקצה
● חזרתיות משופרת של תהליך
2. פיצוי אפקט קצה
ללא טבעת מיקוד, עיוות מעטפת הפלזמה בקצה הוופל יכול להוביל לאכילה לא אחידה.
טבעת המיקוד מתפקדת ביעילות כ"הרחבה וירטואלית של פרוסת פרוסה", וממזערת אנומליות הקשורות לקצה כגון:
● איכול יתר בקצוות פרוסות
● סטיית ממד קריטי (CD)
● עיוות פרופיל
3. מסלול יונים ובקרת אנרגיה
על ידי השפעה על השדה החשמלי המקומי, טבעת המיקוד מסייעת לייצב את זוויות הפגיעה של היונים ואת פיזור האנרגיה, דבר חיוני עבור:
● איכול ביחס גובה-רוחב גבוה (HAR)
● בקרת פרופיל אניזוטרופית
● נזק מופחת לדפנות הצדדיות
4. הגנה על התא והפחתת זיהום
כרכיב הקרבה, טבעת המיקוד סופגת חשיפה ישירה לפלזמה ותוצרי לוואי של שקיעת חומרים.
יתרונות כתוצאה מכך:
● שחיקה מופחתת של דופן החדר
● זיהום חלקיקים נמוך יותר
● מחזורי תחזוקה מורחבים (מרווחי תחזוקה PM)
