Pete ya kuzingatia mipako ya CVD

Pete ya Kulenga Mipako ya CVD kwa Uchongaji wa Plasma ni sehemu muhimu inayoweza kutumika katika mifumo ya hali ya juu ya uchongaji wa nusu semiconductor. Ikiwa imetengenezwa kwa muundo mchanganyiko wa substrate + mipako ya CVD, bidhaa hii imeundwa ili kuboresha usambazaji wa plasma, kuboresha usawa wa uchongaji, na kuongeza muda wa maisha wa sehemu ya chumba.

Katika Vet Energy, tunatumia utaalamu wa kina katika teknolojia ya uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD) na vifaa vya kauri vya hali ya juu ili kutoa pete za kulenga zinazokidhi mahitaji magumu ya nodi za kisasa za nusu-semiconductor, ikiwa ni pamoja na michakato ya FinFET na 3D NAND.

Jukumu la Pete ya Kulenga katika Kuchora Plasma

Katika mifumo ya uchongaji wa plasma (kama vile vinu vya ICP na CCP), pete ya kulenga imewekwa karibu na ukingo wa wafer na ina jukumu muhimu katika uthabiti wa mchakato na utendaji wa mavuno.

1. Udhibiti wa Uwiano wa Plasma

Pete ya kulenga hufanya kazi kama mpaka wa umeme na kimwili ambao husaidia kudhibiti usambazaji wa msongamano wa plasma kwenye uso wa wafer.

Faida muhimu:

● Usawa ulioboreshwa wa kiwango cha etch
● Tofauti iliyopunguzwa kutoka katikati hadi ukingoni
● Uwezekano wa kurudia mchakato ulioboreshwa

2. Fidia ya Athari ya Edge

Bila pete ya kulenga, upotoshaji wa ala ya plasma kwenye ukingo wa wafer unaweza kusababisha uchongaji usio sawa.

Pete ya kulenga hufanya kazi vizuri kama "kiendelezi cha wafer pepe", ikipunguza kasoro zinazohusiana na ukingo kama vile:

● Kuchora kupita kiasi kwenye kingo za wafer
● Mkengeuko wa vipimo muhimu (CD)
● Upotoshaji wa wasifu

3. Mkondo wa Ioni na Udhibiti wa Nishati

Kwa kushawishi uwanja wa umeme wa ndani, pete ya kulenga husaidia kutuliza pembe za ioni na usambazaji wa nishati, ambayo ni muhimu kwa:

● Uchongaji wa uwiano wa juu (HAR)
● Udhibiti wa wasifu wa Anisotropiki
● Uharibifu wa pembeni uliopunguzwa

4. Ulinzi wa Chumba na Kupunguza Uchafuzi

Kama sehemu ya kujitolea, pete ya kulenga inachukua mfiduo wa moja kwa moja wa plasma na bidhaa zinazotokana na utuaji.

Faida zinazotokana:

● Kupungua kwa mmomonyoko wa ukuta wa chumba
● Uchafuzi mdogo wa chembe
● Mizunguko ya matengenezo iliyopanuliwa (vipindi vya PM)