Giraanta diiradda saarista dahaadhka CVD

Giraanta diiradda saarista dahaarka CVD Sawirka La Soo Bandhigay

Sharaxaad Gaaban:

Giraanta Diiradda ee Dahaadhka CVD ee loogu talagalay Qallajinta Plasma waxaa loogu talagalay in lagu wanaajiyo qaybinta balaasmaha iyo in la hagaajiyo isku-dhafka qallajinta ee nidaamyada qallajinta ee horumarsan. Iyada oo leh substrate adag oo Si ama SiC ah oo lagu daray dahaarka CVD SiC oo saafi ah oo sarreeya, waxay bixisaa iska caabin balaasmaha oo heer sare ah, soo saarista walxaha aadka u hooseeya, iyo cimri dheer oo adeeg ah. Iyada oo si ballaaran loogu isticmaalo hababka qallajinta balaasmaha ICP iyo CCP, giraantan diiradda saarta waxay si wax ku ool ah u yareysaa saameynta geesaha, waxay xasilisaa dhaqanka ion-ka, waxayna ka ilaalisaa qaybaha qolka nabaad-guurka iyo wasakhowga. Waa mid lagama maarmaan u ah in la gaaro wax-soo-saar sare iyo isku-dheellitirka habka wax-soo-saarka semiconductor-ka horumarsan.

Noo soo dir emayl Soo dejiso sida PDF ahaan

Faahfaahinta Badeecada

Calaamadaha Alaabta

Giraanta Diiradda Dahaadhka CVD ee Plasma Etching waa qayb muhiim ah oo la isticmaalo oo loo isticmaalo nidaamyada qallajinta semiconductor-ka ee horumarsan. Iyada oo lagu farsameeyay qaab-dhismeed isku-dhafan oo ah dahaarka substrate + CVD, badeecadan waxaa loogu talagalay in lagu wanaajiyo qaybinta balaasmaha, lagu hagaajiyo isku-dhafka qallajinta, iyo in la dheereeyo cimriga qaybaha qolka.

Vet Energy, waxaan ka faa'iideysannaa khibrad qoto dheer oo ku saabsan tignoolajiyada kaydinta uumiga kiimikada (CVD) iyo agabka dhoobada ee horumarsan si aan u bixinno faraantiyo diiradda saaraya oo buuxiya shuruudaha adag ee qanjidhada semiconductor-ka casriga ah, oo ay ku jiraan hababka FinFET iyo 3D NAND.

Doorka Giraanta Diiradda ee Qalinjabinta Plasma

Nidaamyada qodista balaasmaha (sida fal-galayaasha ICP iyo CCP), giraanta diiradda la saarayo waxay ku taal geeska wafer waxayna door muhiim ah ka ciyaartaa xasilloonida habka iyo waxqabadka wax-soo-saarka.

1. Xakamaynta Midnimada Balaasmaha

Giraanta diiradda la saarayo waxay u dhaqantaa sidii xuduud koronto iyo jireed oo gacan ka geysata nidaaminta qaybinta cufnaanta balaasmaha ee dusha sare ee wafer-ka.

Faa'iidooyinka ugu muhiimsan:

● Isku-mid ahaanshaha heerka earth-ka oo la hagaajiyay
● Kala duwanaanshaha bartamaha ilaa geeska oo yaraada
● Soo noqnoqoshada habka oo la xoojiyay

2. Magdhawga Saamaynta Geesaha

Haddii aan lahayn giraan diiradda la saarayo, qallooca qolofta balaasmaha ee geeska wafer-ka ayaa horseedi kara xoqid aan isku mid ahayn.

Giraanta diiradda la saarayo si wax ku ool ah ayay u shaqaysaa sidii "kordhin wafer ah oo dalwad ah", iyadoo yaraynaysa cilladaha la xiriira geesaha sida:

● Ku xoqidda xad-dhaafka ah ee geesaha wafer-ka
● Kala leexashada cabbirka muhiimka ah (CD)
● qalloocinta astaanta guud

3. Xakamaynta Tamarta iyo Jihada Ion

Iyada oo saameyn ku leh goobta korantada ee maxalliga ah, giraanta diiradda la saarayo waxay ka caawisaa xasilinta xaglaha dhacdooyinka ion iyo qaybinta tamarta, taas oo muhiim u ah:

● Qodista saamiga sare (HAR)
● Xakamaynta astaanta anjiotropic
● Hoos u dhaca dhaawaca dhinaca gidaarka