ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම සඳහා වන CVD ආලේපන නාභිගත වළල්ල යනු උසස් අර්ධ සන්නායක කැටයම් පද්ධතිවල භාවිතා වන ඉතා වැදගත් පරිභෝජන සංරචකයකි. උපස්ථර + CVD ආලේපනයේ සංයුක්ත ව්යුහයකින් නිර්මාණය කර ඇති මෙම නිෂ්පාදනය ප්ලාස්මා ව්යාප්තිය ප්රශස්ත කිරීමට, කැටයම් කිරීමේ ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට සහ කුටීර සංරචක ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීමට නිර්මාණය කර ඇත.
Vet Energy හිදී, FinFET සහ 3D NAND ක්රියාවලීන් ඇතුළු නවීන අර්ධ සන්නායක නෝඩ් වල දැඩි අවශ්යතා සපුරාලන නාභිගත මුදු ලබා දීම සඳහා අපි රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) තාක්ෂණය සහ උසස් සෙරමික් ද්රව්ය පිළිබඳ ගැඹුරු විශේෂඥතාව උපයෝගී කර ගනිමු.
ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේදී නාභිගත වළල්ලේ කාර්යභාරය
ප්ලාස්මා කැටයම් පද්ධතිවල (ICP සහ CCP ප්රතික්රියාකාරක වැනි), නාභිගත වළල්ල වේෆර් දාරය වටා ස්ථානගත කර ඇති අතර ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහ අස්වැන්න ක්රියාකාරිත්වය සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
1. ප්ලාස්මා ඒකාකාරීත්ව පාලනය
නාභිගත වළල්ල වේෆර් මතුපිට හරහා ප්ලාස්මා ඝනත්ව ව්යාප්තිය නියාමනය කිරීමට උපකාරී වන විද්යුත් හා භෞතික සීමාවක් ලෙස ක්රියා කරයි.
ප්රධාන ප්රතිලාභ:
● වැඩිදියුණු කළ කැටයම් අනුපාත ඒකාකාරිත්වය
● අඩු කළ මධ්යයේ සිට දාරය දක්වා විචලනය
● වැඩිදියුණු කළ ක්රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව
2. දාර ආචරණ වන්දි
නාභිගත වළල්ලක් නොමැතිව, වේෆර් දාරයේ ප්ලාස්මා කොපුව විකෘති වීම ඒකාකාර නොවන කැටයම් වලට හේතු විය හැක.
නාභිගත වළල්ල "අථත්ය වේෆර් දිගුවක්" ලෙස ඵලදායී ලෙස ක්රියා කරයි, දාර ආශ්රිත විෂමතා අවම කරයි, එනම්:
● වේෆර් දාරවල අධික ලෙස කැටයම් කිරීම
● තීරණාත්මක මාන (CD) අපගමනය
● පැතිකඩ විකෘති කිරීම
3. අයන ගමන් පථය සහ ශක්ති පාලනය
දේශීය විද්යුත් ක්ෂේත්රයට බලපෑම් කිරීමෙන්, නාභිගත වළල්ල අයන සිදුවීම් කෝණ සහ ශක්ති ව්යාප්තිය ස්ථාවර කිරීමට උපකාරී වන අතර එය ඉතා වැදගත් වේ:
● ඉහළ දර්ශන අනුපාතය (HAR) කැටයම් කිරීම
● ඇනිසොට්රොපික් පැතිකඩ පාලනය
● පැති බිත්ති හානිය අඩු කිරීම
4. කුටි ආරක්ෂාව සහ දූෂණය අඩු කිරීම
පූජා සංරචකයක් ලෙස, නාභිගත වළල්ල සෘජු ප්ලාස්මා නිරාවරණය සහ තැන්පත් වීමේ අතුරු නිෂ්පාදන අවශෝෂණය කරයි.
ප්රතිඵලයක් ලෙස ලැබෙන වාසි:
● කුටීර බිත්ති ඛාදනය අඩු වීම
● අඩු අංශු දූෂණය
● දීර්ඝ කළ නඩත්තු චක්ර (PM කාල පරතරයන්)
