Fáinne fócais sciath CVD

Cur Síos Achomair:

Tá Fáinne Fócais Sciatháin CVD le haghaidh Greanadh Plasma deartha chun dáileadh plasma a bharrfheabhsú agus aonfhoirmeacht greanadh a fheabhsú i gcórais ghreanadh chun cinn. Le foshraith láidir Si nó SiC in éineacht le sciath CVD SiC ard-íonachta, seachadann sé friotaíocht plasma den scoth, giniúint thar a bheith íseal cáithníní, agus saolré seirbhíse sínte. Úsáidtear go forleathan i bpróisis ghreanadh plasma ICP agus CCP é an fáinne fócais seo, agus laghdaíonn sé éifeachtaí imeall go héifeachtach, cobhsaíonn sé iompar ian, agus cosnaíonn sé comhpháirteanna an tseomra ó chreimeadh agus éilliú. Is tomhaltán riachtanach é chun toradh ard agus comhsheasmhacht próisis a bhaint amach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra chun cinn.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Is comhpháirt inchaite ríthábhachtach í an Fáinne Fócais Sciatháin CVD le haghaidh Greanadh Plasma a úsáidtear i gcórais greanadh leathsheoltóra chun cinn. Déanta as struchtúr ilchodach foshraithe + sciath CVD, tá an táirge seo deartha chun dáileadh plasma a bharrfheabhsú, aonfhoirmeacht greanadh a fheabhsú, agus saolré chomhpháirteanna an tseomra a shíneadh.

Ag Vet Energy, bainimid leas as saineolas domhain i dteicneolaíocht taiscthe gaile ceimicigh (CVD) agus ábhair cheirmeacha chun cinn chun fáinní fócais a sheachadadh a chomhlíonann riachtanais dhiana nóid leathsheoltóra nua-aimseartha, lena n-áirítear próisis FinFET agus 3D NAND.

Ról an Fháinne Fócais i nGreanta Plasma

I gcórais eitseála plasma (amhail imoibreoirí ICP agus CCP), tá an fáinne fócais suite timpeall imeall an sceallóige agus tá ról ríthábhachtach aige i gcobhsaíocht an phróisis agus i bhfeidhmíocht toraidh.

1. Rialú Aonfhoirmeachta Plasma

Feidhmíonn an fáinne fócais mar theorainn leictreach agus fhisiceach a chuidíonn le dáileadh dlús plasma a rialáil ar dhromchla an sceallóige.

Príomhbhuntáistí:

● Aonfhoirmeacht feabhsaithe ar an ráta greanta
● Laghdú ar éagsúlacht ó lár go imeall
● In-athdhéanamh feabhsaithe próisis

2. Cúiteamh Éifeacht Imeall

Gan fáinne fócais, is féidir le saobhadh scláta plasma ag imeall an sceallóige greanadh neamh-aonfhoirmeach a bheith mar thoradh air.

Feidhmíonn an fáinne fócais go héifeachtach mar “síneadh fíorúil ar an sceallóg”, rud a laghdaíonn neamhghnáchaíochtaí a bhaineann leis an imeall amhail:

● Ró-eitseáil ag imill na vaiféar
● Diall toise criticiúil (CD)
● Saobhadh próifíle

3. Traicéad Ian agus Rialú Fuinnimh

Trí thionchar a imirt ar an réimse leictreach áitiúil, cuidíonn an fáinne fócais le huillinneacha teagmhais ian agus dáileadh fuinnimh a chobhsú, rud atá ríthábhachtach do:

● Greanadh cóimheas gné ard (HAR)
● Rialú próifíle ainisotrópach
● Damáiste taobhbhalla laghdaithe