პლაზმური გრავირებისთვის განკუთვნილი CVD საფარის ფოკუსური რგოლი წარმოადგენს კრიტიკულად მნიშვნელოვან სახარჯ კომპონენტს, რომელიც გამოიყენება მოწინავე ნახევარგამტარული გრავირების სისტემებში. სუბსტრატისა და CVD საფარის კომპოზიტური სტრუქტურით შექმნილი ეს პროდუქტი შექმნილია პლაზმის განაწილების ოპტიმიზაციისთვის, გრავირების ერთგვაროვნების გასაუმჯობესებლად და კამერის კომპონენტების სიცოცხლის ხანგრძლივობის გასახანგრძლივებლად.
Vet Energy-ში ჩვენ ვიყენებთ ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) ტექნოლოგიასა და მოწინავე კერამიკულ მასალებში არსებულ ღრმა ექსპერტიზას, რათა შევქმნათ ფოკუსური რგოლები, რომლებიც აკმაყოფილებენ თანამედროვე ნახევარგამტარული კვანძების, მათ შორის FinFET და 3D NAND პროცესების მკაცრ მოთხოვნებს.
ფოკუსური რგოლის როლი პლაზმურ გრავირებაში
პლაზმური გრავირების სისტემებში (როგორიცაა ICP და CCP რეაქტორები), ფოკუსირების რგოლი განთავსებულია ვაფლის კიდის გარშემო და სასიცოცხლო როლს ასრულებს პროცესის სტაბილურობასა და მოსავლიანობის მაჩვენებლებში.
1. პლაზმის ერთგვაროვნების კონტროლი
ფოკუსირების რგოლი მოქმედებს როგორც ელექტრული და ფიზიკური საზღვარი, რომელიც ხელს უწყობს პლაზმის სიმკვრივის განაწილების რეგულირებას ვაფლის ზედაპირზე.
ძირითადი უპირატესობები:
● გაუმჯობესებული ამოტვიფრვის სიჩქარის ერთგვაროვნება
● შემცირებული ვარიაცია ცენტრიდან კიდემდე
● გაუმჯობესებული პროცესის განმეორებადობა
2. კიდის ეფექტის კომპენსაცია
ფოკუსური რგოლის გარეშე, ვაფლის კიდეზე პლაზმური გარსის დამახინჯებამ შეიძლება არათანაბარი გრავირება გამოიწვიოს.
ფოკუსირების რგოლი ეფექტურად ფუნქციონირებს როგორც „ვირტუალური ვაფლის გაფართოება“, რაც მინიმუმამდე ამცირებს კიდეებთან დაკავშირებულ ანომალიებს, როგორიცაა:
● ვაფლის კიდეებზე ზედმეტი გრავირება
● კრიტიკული განზომილების (CD) გადახრა
● პროფილის დამახინჯება
3. იონური ტრაექტორია და ენერგიის კონტროლი
ადგილობრივ ელექტრულ ველზე ზემოქმედებით, ფოკუსირების რგოლი ხელს უწყობს იონების დაცემის კუთხეების და ენერგიის განაწილების სტაბილიზაციას, რაც გადამწყვეტია:
● მაღალი ასპექტის თანაფარდობის (HAR) გრავირება
● ანიზოტროპული პროფილის კონტროლი
● გვერდითი კედლების დაზიანების შემცირება
4. კამერის დაცვა და დაბინძურების შემცირება
მსხვერპლშეწირული კომპონენტის სახით, ფოკუსირების რგოლი შთანთქავს პლაზმის პირდაპირ ზემოქმედებას და დეპონირების თანმდევ პროდუქტებს.
შედეგად მიღებული უპირატესობები:
● კამერის კედლის ეროზიის შემცირება
● ნაწილაკებით დაბინძურების შემცირება
● გახანგრძლივებული ტექნიკური მომსახურების ციკლები (PM ინტერვალებით)
