پلازما ئويۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان CVD قاپلاش فوكۇس ھالقىسى ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئويۇش سىستېمىلىرىدا ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم ئىستېمال قىلىنىدىغان زاپچاس. ئاساسىي قاتلام + CVD قاپلاش بىرىكمە قۇرۇلمىسى بىلەن لايىھەلەنگەن بۇ مەھسۇلات پلازما تەقسىملىنىشىنى ئەلالاشتۇرۇش، ئويۇشنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلاش ۋە كامېرا زاپچاسلىرىنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
Vet Energy شىركىتىدە، بىز خىمىيىلىك پارغا چۆكمە قىلىش (CVD) تېخنىكىسى ۋە ئىلغار كېرامىكا ماتېرىياللىرى ساھەسىدىكى چوڭقۇر تەجرىبىمىزدىن پايدىلىنىپ، FinFET ۋە 3D NAND جەريانلىرى قاتارلىق زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تۈگۈنلەرنىڭ قاتتىق تەلىپىگە ماس كېلىدىغان فوكۇس ھالقىسى بىلەن تەمىنلەيمىز.
پلازما ئويۇشتا فوكۇس ھالقىسىنىڭ رولى
پلازما ئويۇش سىستېمىلىرىدا (ICP ۋە CCP رېئاكتورلىرىغا ئوخشاش)، فوكۇس ھالقىسى ۋافېر گىرۋىكىنىڭ ئەتراپىغا ئورۇنلاشتۇرۇلغان بولۇپ، جەرياننىڭ مۇقىملىقى ۋە مەھسۇلات ئۈنۈمىدە مۇھىم رول ئوينايدۇ.
1. پلازما بىردەكلىكىنى كونترول قىلىش
فوكۇس ھالقىسى ئېلېكتر ۋە فىزىكىلىق چېگرا رولىنى ئوينايدۇ، بۇ چېگرا تاختىسى يۈزىدىكى پلازما زىچلىقىنىڭ تارقىلىشىنى تەڭشەشكە ياردەم بېرىدۇ.
ئاساسلىق پايدىلىرى:
● ئويۇقلاش سۈرئىتىنىڭ بىردەكلىكى ياخشىلاندى
● مەركەزدىن گىرۋەككە ئۆزگىرىش نىسبىتىنىڭ تۆۋەنلىشى
● جەرياننىڭ تەكرارلىنىشچانلىقىنى ئاشۇرۇش
2. قىر تەسىرىنى تولۇقلاش
فوكۇس ھالقىسى بولمىسا، ۋافېر گىرۋىكىدىكى پلازما غىلاپنىڭ بۇرمىلىنىشى تەكشى ئەمەس ئويۇشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
بۇ فوكۇس ھالقىسى ئۈنۈملۈك ھالدا «مەۋھۇم ۋافېر كېڭەيتىش» رولىنى ئوينايدۇ، بۇنىڭ بىلەن گىرۋەك بىلەن مۇناسىۋەتلىك نورمالسىزلىقلارنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ، مەسىلەن:
● ۋافلىنىڭ گىرۋىكىدە ھەددىدىن زىيادە ئويۇش
● كرىتىك ئۆلچەم (CD) نىڭ ئۆزگىرىشى
● پىروفىل بۇرمىلىنىشى
3. ئىئون ترايېكتورىيىسى ۋە ئېنېرگىيە كونترولى
يەرلىك ئېلېكتر مەيدانىغا تەسىر كۆرسىتىش ئارقىلىق، فوكۇس ھالقىسى ئىئوننىڭ چۈشۈش بۇلۇڭى ۋە ئېنېرگىيە تەقسىملىنىشىنى مۇقىملاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ، بۇ تۆۋەندىكىلەر ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم:
● يۇقىرى نىسبەتلىك (HAR) ئويۇش
● ئانىزوتروپىك پروفىل كونترول قىلىش
● يان تامنىڭ بۇزۇلۇشىنى ئازايتىش
4. كامېرنى قوغداش ۋە بۇلغىنىشنى ئازايتىش
قۇربانلىق قىلىش تەركىبى سۈپىتىدە، فوكۇس ھالقىسى بىۋاسىتە پلازما تەسىرى ۋە چۆكمە قوشۇمچە مەھسۇلاتلىرىنى سۈمۈرىدۇ.
نەتىجىدە قولغا كەلتۈرۈلگەن ئەۋزەللىكلەر:
● كامېرا دېۋارىنىڭ ئېروزىيەسىنى ئازايتىش
● زەررىچە بۇلغىنىشىنىڭ تۆۋەنلىشى
● ئۇزارتىلغان ئاسراش دەۋرىيلىكى (PM ئارىلىقى)
