ʻO ke CVD Coating Focus Ring no ka Plasma Etching kahi ʻāpana hoʻopau koʻikoʻi i hoʻohana ʻia i nā ʻōnaehana etching semiconductor holomua. Hana ʻia me kahi ʻano hui o ka substrate + CVD coating, ua hoʻolālā ʻia kēia huahana e hoʻomaikaʻi i ka hoʻolaha plasma, hoʻomaikaʻi i ka like ʻana o ke etching, a hoʻolōʻihi i ke ola o nā ʻāpana keʻena.
Ma Vet Energy, hoʻohana mākou i ka ʻike loea hohonu i ka ʻenehana hoʻokaʻawale vapor kemika (CVD) a me nā mea seramika holomua e hāʻawi i nā apo focus e hoʻokō ana i nā koi koʻikoʻi o nā kikowaena semiconductor hou, me nā kaʻina hana FinFET a me 3D NAND.
Ke kuleana o ke apo hoʻoikaika i ka etching plasma
I loko o nā ʻōnaehana etching plasma (e like me nā reactors ICP a me CCP), ua kau ʻia ke apo focus a puni ka lihi wafer a he kuleana koʻikoʻi kona i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana a me ka hana hua.
1. Ka Mana Hoʻohālikelike Plasma
Hana ke apo kikowaena ma ke ʻano he palena uila a me ke kino e kōkua ai i ka hoʻoponopono ʻana i ka hoʻolaha ʻana o ka nui o ka plasma ma ka ʻili wafer.
Nā pono koʻikoʻi:
● Hoʻomaikaʻi ʻia ka like ʻana o ka wikiwiki o ke kālai ʻana
● Hoʻemi ʻia ka ʻokoʻa mai ke kikowaena a i ka lihi
● Hoʻonui ʻia ka hana hou ʻana
2. Ka uku hoʻoponopono hopena lihi
Me ka ʻole o ke apo kikowaena, hiki i ka hoʻopilikia ʻana o ka ʻupena plasma ma ka lihi wafer ke alakaʻi i ke kālai ʻana like ʻole.
Hana pono ke apo kiko ma ke ʻano he "hoʻonui wafer virtual", e hōʻemi ana i nā anomalies e pili ana i ka lihi e like me:
● Ke kahakaha nui ʻana ma nā kihi wafer
● ʻO ka ʻokoʻa koʻikoʻi (CD)
● Hoʻopilikia ʻana o ka ʻaoʻao
3. Ke Alanui Ion a me ka Mana Ikehu
Ma ka hoʻohuli ʻana i ke kahua uila kūloko, kōkua ke apo kiko i ka hoʻopaʻa ʻana i nā kihi hanana ion a me ka hoʻolaha ikehu, he mea nui ia no:
● Kaha kiʻekiʻe (HAR)
● Ka mana hoʻomalu ʻikepili Anisotropic
● Hoʻemi ʻia ka pōʻino o ka paia ʻaoʻao
4. Ka Palekana o ke Keʻena a me ka Hoʻēmi ʻana i ka Haumia
Ma ke ʻano he ʻāpana mōhai, hoʻopili ke apo kiko i ka hōʻike pololei ʻana o ka plasma a me nā huahana hoʻoili.
Nā pōmaikaʻi hopena:
● Hoʻemi ʻia ka ʻino ʻana o ka paia o ke keʻena
● Hoʻohaʻahaʻa i ka haumia o nā ʻāpana
● Nā pōʻaiapuni mālama i hoʻolōʻihi ʻia (nā wā PM)
