പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗിനുള്ള സിവിഡി കോട്ടിംഗ് ഫോക്കസ് റിംഗ്, നൂതന സെമികണ്ടക്ടർ എച്ചിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നിർണായക ഉപഭോഗ ഘടകമാണ്. സബ്സ്ട്രേറ്റ് + സിവിഡി കോട്ടിംഗിന്റെ സംയോജിത ഘടന ഉപയോഗിച്ച് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന ഈ ഉൽപ്പന്നം പ്ലാസ്മ വിതരണം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിനും എച്ചിംഗ് ഏകീകൃതത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും ചേമ്പർ ഘടകത്തിന്റെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നു.
വെറ്റ് എനർജിയിൽ, ഫിൻഫെറ്റ്, 3D NAND പ്രക്രിയകൾ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ആധുനിക സെമികണ്ടക്ടർ നോഡുകളുടെ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്ന ഫോക്കസ് റിംഗുകൾ നൽകുന്നതിന്, കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (സിവിഡി) സാങ്കേതികവിദ്യയിലും നൂതന സെറാമിക് മെറ്റീരിയലുകളിലും ഞങ്ങൾ ആഴത്തിലുള്ള വൈദഗ്ദ്ധ്യം പ്രയോജനപ്പെടുത്തുന്നു.
പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗിൽ ഫോക്കസ് റിങ്ങിന്റെ പങ്ക്
പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളിൽ (ICP, CCP റിയാക്ടറുകൾ പോലുള്ളവ), ഫോക്കസ് റിംഗ് വേഫറിന്റെ അരികിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു, ഇത് പ്രക്രിയ സ്ഥിരതയിലും വിളവ് പ്രകടനത്തിലും ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.
1. പ്ലാസ്മ യൂണിഫോമിറ്റി നിയന്ത്രണം
വേഫർ പ്രതലത്തിലുടനീളമുള്ള പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത വിതരണം നിയന്ത്രിക്കാൻ സഹായിക്കുന്ന ഒരു വൈദ്യുത, ഭൗതിക അതിർത്തിയായി ഫോക്കസ് റിംഗ് പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
പ്രധാന നേട്ടങ്ങൾ:
● മെച്ചപ്പെടുത്തിയ എച്ച് റേറ്റ് ഏകീകൃതത
● കുറഞ്ഞ മധ്യ-മുതൽ-അരിക് വ്യതിയാനം
● മെച്ചപ്പെടുത്തിയ പ്രക്രിയ ആവർത്തനക്ഷമത
2. എഡ്ജ് ഇഫക്റ്റ് നഷ്ടപരിഹാരം
ഫോക്കസ് റിംഗ് ഇല്ലാതെ, വേഫറിന്റെ അരികിലുള്ള പ്ലാസ്മ കവചത്തിന്റെ വികലത ഏകതാനമല്ലാത്ത എച്ചിംഗിന് കാരണമാകും.
ഫോക്കസ് റിംഗ് ഒരു "വെർച്വൽ വേഫർ എക്സ്റ്റൻഷൻ" ആയി ഫലപ്രദമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു, ഇത് എഡ്ജുമായി ബന്ധപ്പെട്ട അപാകതകൾ കുറയ്ക്കുന്നു:
● വേഫറിന്റെ അരികുകളിൽ അമിതമായി കൊത്തിവയ്ക്കൽ
● ക്രിട്ടിക്കൽ ഡൈമൻഷൻ (സിഡി) വ്യതിയാനം
● പ്രൊഫൈൽ വക്രീകരണം
3. അയോൺ ഭ്രമണപഥവും ഊർജ്ജ നിയന്ത്രണവും
പ്രാദേശിക വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തെ സ്വാധീനിക്കുന്നതിലൂടെ, ഫോക്കസ് റിംഗ് അയോൺ സംഭവ കോണുകളും ഊർജ്ജ വിതരണവും സ്ഥിരപ്പെടുത്താൻ സഹായിക്കുന്നു, ഇത് ഇവയ്ക്ക് നിർണായകമാണ്:
● ഉയർന്ന വീക്ഷണാനുപാതം (HAR) എച്ചിംഗ്
● അനിസോട്രോപിക് പ്രൊഫൈൽ നിയന്ത്രണം
● സൈഡ്വാളിന് കേടുപാടുകൾ കുറഞ്ഞു
4. ചേംബർ സംരക്ഷണവും മലിനീകരണം കുറയ്ക്കലും
ഒരു യാഗ ഘടകമെന്ന നിലയിൽ, ഫോക്കസ് റിംഗ് നേരിട്ടുള്ള പ്ലാസ്മ എക്സ്പോഷറും ഡിപ്പോസിഷൻ ഉപോൽപ്പന്നങ്ങളും ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു.
തത്ഫലമായുണ്ടാകുന്ന ഗുണങ്ങൾ:
● അറയുടെ ഭിത്തിയിലെ മണ്ണൊലിപ്പ് കുറയുന്നു
● കുറഞ്ഞ കണിക മലിനീകരണം
● വിപുലീകൃത അറ്റകുറ്റപ്പണി സൈക്കിളുകൾ (PM ഇടവേളകൾ)
