Ҳалқаи фокусии рӯйпӯши CVD барои кандакорӣ дар плазма як ҷузъи муҳими истеъмолӣ мебошад, ки дар системаҳои пешрафтаи кандакорӣ дар нимноқилҳо истифода мешавад. Ин маҳсулот, ки бо сохтори мураккаби субстрат + рӯйпӯши CVD тарҳрезӣ шудааст, барои беҳтар кардани тақсимоти плазма, беҳтар кардани якрангии кандакорӣ ва дароз кардани мӯҳлати кори ҷузъи камера тарҳрезӣ шудааст.
Дар Vet Energy, мо аз таҷрибаи амиқ дар технологияи таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) ва маводҳои пешрафтаи керамикӣ истифода мебарем, то ҳалқаҳои фокусиро пешниҳод кунем, ки ба талаботи қатъии гиреҳҳои муосири нимноқил, аз ҷумла равандҳои FinFET ва 3D NAND, ҷавобгӯ бошанд.
Нақши ҳалқаи фокусӣ дар кандакории плазмавӣ
Дар системаҳои кандакории плазмавӣ (ба монанди реакторҳои ICP ва CCP), ҳалқаи фокусӣ дар атрофи канори вафли ҷойгир аст ва дар устувории раванд ва самаранокии ҳосилнокӣ нақши муҳим мебозад.
1. Назорати якрангии плазма
Ҳалқаи фокусӣ ҳамчун сарҳади электрикӣ ва физикӣ амал мекунад, ки ба танзими тақсимоти зичии плазма дар сатҳи пластина мусоидат мекунад.
Бартариҳои асосӣ:
● Якрангии суръати коркарди кандакорӣ беҳтар карда шуд
● Тағйирёбии аз марказ то канор камшуда
● Такрори беҳтаршудаи раванд
2. Ҷуброни таъсири канорӣ
Бе ҳалқаи фокусӣ, таҳрифи ғилофи плазмавӣ дар канори вафли метавонад ба кандакории нобаробар оварда расонад.
Ҳалқаи фокусӣ самаранок ҳамчун "тамдиди вафли виртуалӣ" амал мекунад ва аномалияҳои марбут ба канорро ба монанди: кам мекунад.
● Кандашавии аз ҳад зиёд дар канорҳои вафл
● Инҳирофи андозаи интиқодӣ (CD)
● Таҳрифи профил
3. Траекторияи ион ва идоракунии энергия
Бо таъсир расонидан ба майдони электрикии маҳаллӣ, ҳалқаи фокусӣ ба устувории кунҷҳои афтиши ионҳо ва тақсимоти энергия мусоидат мекунад, ки барои:
● Кандакорӣ бо таносуби баланд (HAR)
● Назорати профили анизотропӣ
● Кам кардани осеби девори паҳлӯӣ
4. Ҳифзи камера ва кам кардани ифлосшавӣ
Ҳамчун як ҷузъи қурбонӣ, ҳалқаи фокус таъсири мустақими плазма ва маҳсулоти иловагии таҳшиншавиро фурӯ мебарад.
Бартариҳои бадастомада:
● Кам шудани эрозияи девори камера
● Ифлосшавии камтари зарраҳо
● Давраҳои дарозшудаи нигоҳдорӣ (фосилаҳои PM)
